SmarAct为微型和纳米范围内的处理和定位开发高性能解决方案。从单一定位器到复杂的并行运动学,微型机器人和易于使用的控制系统,广泛的产品组合是由基于强大的激光干涉仪的精密测量设备完成的。
在学术界和工业界的大多数应用需要一个以上的自由度,当涉及到样品、工具或设备的精确定位。
在学术研究和工业制造中,变化是永恒不变的。设备需要具有适应性,以满足新的要求,并保持投资可管理。
SmarAct的模块化系统是一种产品概念,基于线性、旋转和测角仪级之间严格的模块化和相互兼容性,客户可以在现场适应、修改和重新配置复杂的多轴定位系统。它允许CLS, SLC, CGO, DLS, MLS和SR产品系列的兼容驱动器组合,形成复杂和可重构的定位设置。标准化的角支架,适配器和附件提供了所需的灵活性,将SmarAct的单轴阶段转换成可转换的仪器,同时保证最高的精度和定位解决方案的质量,从而创建。由于高度模块化和大量的组件和附件,SmarAct模块化系统提供了几乎无限的可能性来构建您自己的设置。下面介绍的定位系统作为示例,展示了SmarAct模块化系统的可能性和现场可重构性。
在SmarAct的模块化系统范围内,完全预先构建和预先配置的定位系统是可用的。这些预定义的定位系统是受客户启发的,代表了客户最常要求的系统和平台。该系统是非常通用的,可以用于广泛的定位任务。下面将显示系统,包括一个面包板适配器。如果首选直接安装方法,所有系统也可以在没有面包板适配器的情况下使用。在这些预定义系统的基础上,结合定制的连接元件和定制的级,可以实现非常复杂的串行定位系统。其中一些将在以下几页中介绍。如果您的应用程序需要以下没有显示的特殊配置,请毫不犹豫地与我们的应用程序专家联系,讨论您的应用程序的需求。
SMARPOD提供了与经典六足机器人系统相同的自由度,同时保证高分辨率和可重复性。与六自由度串联运动系统相比,SMARPODs具有更高的刚度和更高的刚度。一个用户友好的软件包允许轻松集成到自己的控制环境,确保非常短的设置时间。像所有其他的SmarAct产品一样,SMARPODs是高度可定制的,可以集成到完全定制的设置中。无论您的应用程序是否只需要修改的基础或顶板或完全不同的配置,请随时与我们联系,讨论您的需求和最适合的解决方案。让我们帮助你实现你的想法。
TRIPOD产品系列由紧凑和模块化的多维定位系统组成,将串行和并行运动学结合在一起,采用混合设计。传统的六足机器人只能绕z轴旋转,与之相比,SmarAct公司的TRIPODs可以在整个工作范围内连续旋转并保持高刚度。
在科学和工业中选择定位设备时,最高的精度、鲁棒性和可靠性是最优先考虑的。SmarAct公司设计了一种六自由度机器人定位系统,可用于实验或微装配设置中的各种定位任务。其紧凑的设计减少了结果在一个纤细的轮廓,并允许大的旋转角度,即使在有限的空间。通过智能自动校准程序,它实现了在所有旋转轴的个位数千分尺范围内的混乱。
SMARGON是一个具有六个自由度的定位系统,基于串行和并行运动学的组合,安装在一个重型旋转平台上,定义了设备的?轴。这个旋转平台可以是一个直接驱动或一个压电驱动阶段。复杂的混合运动学方法允许末端执行器(也可以是一个组件或另一个载荷,最多50克)在X、Y和Z方向上放置,并在-、-和-方向上旋转。
SMARGON控制系统计算部分并行的运动学变换,允许末端执行器的直接定位,使摆位教学变得很容易。与MCS2模块化控制系统的兼容性保证了易于集成到现有的控制环境和直观的方式来指挥定位系统。
在生命科学中,精确的样品处理和操作是显微镜工作站日常操作中最重要的部分;因此,所使用的设备必须极其精确和可靠。
为了满足这些要求,SmarAct开发了显微镜台,不仅允许标本在二维上定位,而且可以安装微操作系统,用于原位样品操作。显微镜阶段本身是基于紧凑的线性阶段,并允许长行程范围与纳米精度和最高的闭环重复性。
除了标准的通用物体滑动支架外,还可提供统一的孔板支架和培养皿支架。在高通量实验中,为了方便和快速交换载玻片和盖玻片,也可以使用磁性支架。微操作系统是非常通用的设备,当涉及到处理移液器,微刀,微夹持器,微注射器或其他机械或电子探针。我们的组合包括几种不同的机械手,它们具有三到四个自由度,可用于最常见的任务。
更大的工作台支持不止一个,而是两个或更多的微操作器,为标本操作提供了更多的自由度。所有的机械手都可以完全独立移动,当然也可以配备不同的工具和轴配置。
由于其小型化、整体紧凑以及模块化,SmarAct定位系统是光学设置和光学领域实验的最佳解决方案。除了多轴定位系统,我们还开发了大量的专用光学机械组件,如机动倾斜镜支架,虹膜隔膜,滤光轮,矩形孔径和光束百叶窗。结合定位传感器,它们可以实现闭环位置控制,非常适合自动化或远程控制的实验设置。
为了解决真空光学装置的高需求,几乎所有的组件都可以作为高真空的变种。对于必须省略反射的设置,组件的黑色阳极氧化版本是可用的。所有呈现的光机械组件和设备在这个目录部分可以高度定制。我们的应用科学家渴望讨论定制的解决方案,以完全符合您的要求。
每一个成功的定位解决方案都至少依赖于两个支柱。第一个是由机械部分定义的解决方案,第二个是由电子和软件来控制它。我们精密易用的控制系统与我们直观的软件解决方案和软件开发工具包(sdk)是将我们的定位技术快速简便地集成到您的应用程序中的基础。SmarAct的控制系统组合包括各种各样的组件,为不同的应用程序和集成场景优化。从单通道手持式控制器到多达18个通道的机架式模块,我们能够为您配备正确的工具。
所有应用领域的小型化增加了对紧凑和高分辨率定位解决方案的需求和要求。
SmarAct的产品组合包括几行线性定位阶段。每条生产线的开发都考虑到了客户的要求。不同产品线的组件之间的完全兼容性允许选择具有特定关键功能的阶段,将它们组合成复杂的多轴系统。
SLC系列的线性级是基于交叉滚子轴承的线性滑轨。SmarAct的SLC工作台具有结构紧凑、刚度高、直线度高的特点。它们非常适合于稳定性和高精度是重中之重的定位系统。可选的,阶段可在特殊版本中使用高和超高真空或可以在不同的材料组合制造。SLC线性级有两种不同的系列,主要是宽度和高度的不同。
CLS系列的线性级是高可用性应用中多轴安装的最佳选择,因为它们配备了可交换的驱动单元,以确保快速和容易的现场维修。
其与SmarAct模块化系统的严格兼容性使其能够轻松集成到多轴系统中:其安装孔模式与旋转平台和测角仪的安装完全匹配。
CLL系列的线性级基于循环滚珠滑轨。他们提供99,179,259和379mm的标准行程范围。由于特殊的长度当然可以根据要求提供,这些长行程的阶段是在有限的空间中进行长距离精确定位的最佳解决方案。CLL级配备了SmarActs可交换驱动单元,确保轻松访问级的核心组件,即压电驱动器。这使得服务变得非常简单。CLL级可以由我们的任何控制系统的粘滑驱动器操作。
也可以在同一轨道上放置多个滑轨,并独立移动它们。这允许完全机动的光学工作台设置。
基于SmarAct压电驱动技术,可提供旋转平台和平台。它们可以很容易地相互结合,或与我们的线性定位平台结合,形成更复杂的装置,如万向架、可旋转的欧拉支架、多轴或多旋转定位系统。SmarAct旋转阶段允许连续和机械无限旋转。它们的区别在于阻挡力、速度和外部尺寸,以及集成位置传感器和真空兼容性的可用选项。
SR-1908是最小的标准旋转阶段。非常坚固的不锈钢轴承连同7毫米的孔径使广泛的可能的应用范围。
SR-1908是我们最紧凑和成本效益高的旋转阶段。由于其小的外部尺寸,舞台是一个完美的解决方案设置与空间限制。
SR-2013是我们最轻的闭环旋转台。集成陶瓷精密轴承是超高精度和极低径向跳动的原因。
它也有不同的选择,如超高真空兼容性或完全无磁版本。
SR-2812是一个小型闭环旋转平台,孔径为9毫米。
量身定制的,无背隙的陶瓷轴承导致非常高的精度和极低的径向跳动。这个阶段有不同的选择,如超高真空兼容性或完全无磁版本。
SR-3211旋转工作台被设计成易于安装在CLS-32或SLS-32系列的线性压电工作台上。
它也有不同的选择,如超高真空兼容性或完全无磁版本。
由于高负荷不锈钢轴承,SR-4011是非常稳健的。与占地面积相比,高度相对较低,这一阶段是集成到平面定位系统的绝佳选择。
SR-4011旋转台有一个方形底座,并展示了直径为9毫米的自由孔径开口。它也可在一个高真空兼容版本。
由于高负荷不锈钢轴承,SR-4513是非常稳健的。与占地面积相比,高度相对较低,这一阶段是集成到平面定位系统的绝佳选择。
SR-4513旋转台有一个方形底座,并展示了直径为8毫米的自由孔径。
集成微型传感器使得SR-5014旋转工作台成为我们产品线中最具成本效益的闭环旋转定位器。
SR-5014旋转工作台的设计与SmarAct的CLS和SLS系列兼容,使其可以轻松安装到该系列的线性工作台和SGO系列的测角仪台上。
这种坚固的旋转工作台也可用于恶劣环境下的应用,甚至超高真空环境。
SR-5714C配备了陶瓷轴承,同时展示了相同的孔径开放的SR-5714 25毫米。它具有超高真空兼容和非磁性版本,如果坚固性和在恶劣环境中的适用性是优先考虑的,那么它是正确的解决方案。
SR-7012旋转平台大,孔径大,是最通用的旋转平台之一
其方形底座,其旋转平台直径60毫米和自由孔径开放30毫米旋转阶段SR-7012是非常通用的。因为它只有12毫米的低高度和整体的坚固性,它可以用来携带更大和更重的定位装置。
SR-9219C阶段配备了陶瓷轴承提供完全超高真空兼容性
除了真空兼容性,非磁性材料制成的版本也是可能的。它的外形尺寸和安装孔型允许该旋转台直接安装在CLS-92、SLS-92和MLS-92系列线性级上。
SR-12012旋转工作台提供大孔径,主要用于孔径和最高精度是绝对必要的应用。
其120 x 120毫米的足迹SR-12012旋转阶段提供了82毫米的孔径开放,同时保持低姿态的高度只有12毫米。
CHS和SHL系列的线性级专门设计用于处理重型载荷。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的阶段的运动。单独的导轨保证沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器的直接位置反馈和闭环操作。一个自由度的级,用于纯粹的垂直升降运动,可以配备一个额外的恒力弹簧(CFS),将载荷增加到更高的值。CHS阶段配备了SmarAct的可交换驱动单元,便于维护。CHS级和SHL级还可以结合在一起,形成在所有三个维度上都具有高阻塞力的多轴系统。
一个非常紧凑的高负载阶段,配备了一个可交换的驱动单元,提供5毫米的垂直行程范围和能力,处理有效载荷高达5牛。
ch -3232- 1d -5是SmarAct最紧凑的高负载阶段。由于其的安装孔模式,它可以直接安装到CLS32系列的线性级和SR-3211旋转级。在服务的情况下,当设备仍然在定位设置时,完整的可交换驱动单元可以从舞台上移除。可交换的驱动单元很容易从舞台的一侧访问。沿负载方向的直线运动由单独的导轨保证。位置传感器的集成提供直接反馈和闭环操作。基于驱动楔的机械设计保证了最高的运动分辨率。CHS-3232-1D-5适用于科学和工业中的高可用性应用。该级可以配备一个额外的恒力弹簧来处理5牛的有效载荷。
高载荷级配备了可交换的驱动单元,提供10毫米的垂直行程和高达10牛的有效载荷处理
这种高负载阶段适用于科学和工业中的高可用性应用。它配备了SmarAct的可交换驱动单元,当需要维修时,可以将整个压电驱动从平台上卸下。由于驱动装置可从舞台的一侧进入,因此在维修过程中不需要从定位装置上拆卸该装置。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的阶段的运动。单独的导轨保证沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器的直接位置反馈和闭环操作。安装孔模式支持轻松的螺旋到cls52系列和SR-5014的线性阶段。可选的,不同的恒力弹簧可以添加处理有效载荷高达10牛。
高负荷垂直平台,安装平台大,行程范围10毫米。
SHL系列的线性级专门设计用于处理重负荷。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的阶段的运动。单独的导轨保证了沿负载方向的直线运动,并集成了用于直接位置反馈和闭环操作的位置传感器。用于提升组件或设备的纯垂直运动的级可以配备一个附加的恒力弹簧,以抵消更高的载荷值。因此,纳米编码级可以在几毫米内提升10公斤的重量,以及基于SHL系列线性级的多轴系统,可以在所有三个维度提供高阻挡力。
在提供高有效载荷的同时,SmarAct SHL级仍然非常紧凑,也适用于空间受限的安装。
高负载垂直级,能够在1毫米的行程范围内以纳米精度提升80牛。
SHL系列的线性级专门设计用于处理重载。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的阶段的运动。一个单独的导轨确保沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器的直接位置反馈和闭环操作。用于提升组件或设备的纯垂直运动的级可以配备一个附加的恒力弹簧,以抵消更高的载荷值。因此,纳米编码级可以在几毫米内提升10公斤的重量,以及基于SHL系列线性级的多轴系统可以在所有三个维度提供高阻挡力。
在提供高有效载荷的同时,SmarAct SHL级仍然非常紧凑,也适用于空间受限的安装
一种3DoF定位系统,可以在5毫米范围内举起高达5 N的高载荷,无论其安装方向如何
SHL系列的线性级专门设计用于处理重负荷。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的阶段的运动。一个单独的导轨确保沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器的直接位置反馈和闭环操作。用于提升组件或设备的纯垂直运动的级可以配备一个附加的恒力弹簧,以抵消更高的载荷值。因此,纳米编码级可以在几毫米内提升10公斤的重量,以及基于SHL系列线性级的多轴系统可以在所有三个维度提供高阻挡力。
SmarAct的可交换驱动单元(edu)是专门为工业和科学中的高可用性应用而设计的。粘滑压电驱动被安置在一个强大的驱动单元,你可以很容易地更换自己。要做到这一点,既不需要将有效载荷从舞台上移除,也不需要将舞台本身从定位系统的设置中移除。
通过SmarActs edu,可以规划压电执行器的服务间隔,并将更换压电电机的停机时间减少到几分钟。独特的专利驱动单元可用于CLS系列线性级,CGO测角级和CHS高负载级。完整的定位系统,从串行多轴系统到高度复杂的并行运动学,如六足机器人SMARPOD,也可以配备SmarActs edu。
CLS-32最小的线性级占地面积仅为32 × 32毫米,行程范围为21毫米。它能够处理高达30牛的有效载荷。
CLS系列的线性级一直被设计用于科学和工业中的高可用性应用。他们配备了SmarActs可交换的驱动单元,确保可以轻松访问舞台的核心组件,即压电驱动。这使得服务变得非常简单。驱动单元可以交换,而无需从周围的定位设置中移除完整的装置。此外,他们的安装孔模式完全匹配安装我们的旋转平台和测角仪。
CLS-32系列的中型阶段提供了31毫米的行程范围,同时保持只有32 x 52毫米的足迹。它能够处理高达30牛的有效载荷。
CLS系列的线性级一直被设计用于科学和工业中的高可用性应用。他们配备了SmarActs可交换的驱动单元,确保可以轻松访问舞台的核心组件,即压电驱动。这使得服务变得非常简单。驱动单元可以交换,而无需从周围的定位设置中移除完整的装置。此外,他们的安装孔模式完全匹配安装我们的旋转平台和测角仪。
CLS-32系列的最长阶段提供了51毫米的行程范围,同时保持只有32 × 82毫米的足迹。它能够处理高达30牛的有效载荷。
CLS系列的线性级一直被设计用于科学和工业中的高可用性应用。他们配备了SmarActs可交换的驱动单元,确保可以轻松访问舞台的核心组件,即压电驱动。这使得服务变得非常简单。驱动单元可以交换,而无需从周围的定位设置中移除完整的装置。此外,他们的安装孔模式完全匹配安装我们的旋转平台和测角仪。
CLS-52最小的线性级尺寸为52 × 52毫米,行程范围为31毫米,孔径直径为9毫米。此外,它能够处理高达20牛的有效载荷。
CLS系列的线性级一直被设计用于科学和工业中的高可用性应用。他们配备了SmarActs可交换的驱动单元,确保可以轻松访问舞台的核心组件,即压电驱动。这使得服务变得非常简单。驱动单元可以交换,而无需从周围的定位设置中移除完整的装置。此外,他们的安装孔模式完全匹配安装我们的旋转平台和测角仪。
其中较大的CLS-52型线性级占地面积为52 × 82毫米,行程范围为51毫米,孔径直径为9毫米。此外,它还能处理高达20牛的有效载荷。
CLS系列的线性级一直被设计用于科学和工业中的高可用性应用。他们配备了SmarActs可交换的驱动单元,确保可以轻松访问舞台的核心组件,即压电驱动。这使得服务变得非常简单。驱动单元可以交换,而无需从周围的定位设置中移除完整的装置。此外,他们的安装孔模式完全匹配安装我们的旋转平台和测角仪。
更大的CLS-92线性级占地面积为92 x 152毫米,行程范围为103毫米。此外,它还能处理高达20牛的有效载荷。
CLS系列的线性阶段是专门为科学和工业中的高可用性应用而设计的。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,确保容易访问阶段的核心组件,压电驱动,使维修工作简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的装置。当模块化和简单配置是顶级需求时,它们是完美的选择。
较小的CLS-92线性级占地面积为92 × 92毫米,行程范围为63毫米。此外,它还能处理高达20牛的有效载荷。
CLS系列的线性级一直被设计用于科学和工业中的高可用性应用。他们配备了SmarActs可交换的驱动单元,确保可以轻松访问舞台的核心组件,即压电驱动。这使得服务变得非常简单。驱动单元可以交换,而无需从周围的定位设置中移除完整的装置。此外,他们的安装孔模式完全匹配安装我们的旋转平台和测角仪。
SMARPOD CLS-32配备了可交换驱动单元,完全适合所有高可用性应用
SMARPOD CLS-32是一个中等大小的六足类定位系统。该装置配备了SmarAct的可交换驱动单元(edu),保证了压电驱动器的轻松和快速交换,而无需完全拆卸定位设置,也不会丢失校准和位置数据。
与其他SmarAct SMARPOD一样,SMARPOD CLS-32也有高真空和超高真空版本,或完全由非磁性材料制成。
所有基于压电的测角仪级都基于SmarAct的压电驱动技术,并配备了SmarAct的可交换驱动单元。测角台可提供不同的半径。除了紧凑之外,这些阶段是非常刚性的,因此非常适合微或纳米定位任务。
由于使用高精度交叉滚子轴承,它们的角精度非常高。测角台在其±5°的整个工作范围内提供最高的运动分辨率。
CGO-60.5测角台可以很容易地堆叠在CGO-77.5台的顶部,形成一个欧拉支架,在工作平台上方60.5 mm处有一个共同的旋转中心。
所有压电测角台均采用SmarAct压电驱动技术。测角台可提供不同的半径。除了紧凑之外,这些阶段是非常刚性的,因此非常适合微或纳米定位任务。由于使用高精度交叉滚子轴承,它们的角精度非常高。测角台提供最高的运动分辨率,并可直接堆叠。通过将两个具有适当半径的级联,可以建立一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉测角仪。它们的机械界面完全适合CLS-52系列阶段。因此,允许通过直接组合线性、旋转和测角台来创建多轴系统。SmarAct的测角台可以由我们的任何控制单元操作,也可以使用集成的定位传感器。此外,CGO系列测角台可用于不同的环境条件,如高真空和超高真空环境。
由于CGO-60.5配备了可更换的驱动单元,因此可以方便地接触到平台的核心组件,进行维修。
精密紧凑的测角仪CGO-77.5级可直接安装在CLS-52线性级的顶部,或与CGO-60.5级结合时作为欧拉支架的底座。
所有的压电测角器级都是基于SmarAct的压电驱动技术。测角台可提供不同的半径。除了紧凑之外,这些阶段是非常刚性的,因此非常适合微或纳米定位任务。由于使用高精度交叉滚子轴承,它们的角精度非常高。测角台提供最高的运动分辨率,并可直接堆叠。通过结合两个具有适当半径的阶段,可以建立一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉测角仪。它们的机械界面完全适合CLS-52系列阶段。因此,允许通过直接组合线性、旋转和测角台来创建多轴系统。SmarAct测角台可以由我们的任何控制单元操作,也可以使用集成的定位传感器。此外,CGO系列测角台可用于不同的环境条件,如高真空和超高真空环境。
由于CGO-77.5配备了可更换的驱动单元,因此可以很容易地接触到平台的核心组件进行维修。
在自动化装配线上的部件、零件和工具的精确搬运和生命科学中的样品处理和操作是最关键的定位任务。我们补充了我们的产品组合与多功能夹紧解决方案,以满足日益增长的需求,精确控制镊子,钳和夹具。模块化是SmarAct产品的关键特性之一。SmarActs的微型夹具由线性压电阶段和夹钳组成,可以很容易地交换和定制,如果需要。几种不同的和专门设计的爪钳可供选择。
当配备了位置传感器的夹具允许全闭环控制夹紧过程和颌开口。此外,集成在平行微夹钳SGP-17F中的力传感器不仅可以控制钳口张开,还可以控制处理易碎或高度脆弱物体时的夹持力。如果您的特定应用程序需要专门的设计,请毫不犹豫地联系我们的应用专家讨论可能的解决方案或完全定制的设计。
SG-06微夹持器是理想的空间有限的设置和应用,小型化是最优先考虑的。
SmatActs SG-06微型夹持器是空间有限的设置和应用程序,小型化是最优先考虑的理想选择。该产品系列的夹具钳口可以交换或永久连接到定位阶段。此外,它们可以适应各自的要求。可选的集成点击就地系统支持轻松交换的夹钳钳口,并遵循SmarAct的模块化和适应性产品的严格思想。由于SmarActs SG-06微夹持器是真空兼容的版本,它是在真空样品处理和转移任务的理想选择。结合SL-06和SLC-17系列产品的线性阶段,它也可以被认为是最紧凑的拾取和放置机器人之一。
基于一个SmarAct的最紧凑的线性阶段,这个夹具系统成为一个非常紧凑和通用的工具拾取和放置应用光学和电子。
SmarAct的SG-1730微型夹持器采用SLC- 1730作为核心部件。基于SmarAct的一个最紧凑的线性阶段,这个夹具系统成为一个非常紧凑和通用的工具,用于光学和电子的拾取和放置应用。它可以配备不同的位置传感器,允许控制和监控抓取过程。此外,可用的真空兼容变种扩大应用范围的压力范围下超高真空。各种专用颚的几何形状是可用的。由于夹具可以轻松交换,SG-1730夹持系统可以现场重新配置,以适应不同的夹持任务。一个快速交换系统的抓手爪可比点击到位系统的SG- 06系列是开发的,并可根据要求提供。定制颌骨的几何形状以解决特定的应用是可能的。欢迎与我们的应用科学家讨论您的要求,创造您自己的夹具颚设计。
SmarActs SGP-17F微夹持器是光电子领域应用的完美解决方案,如光学器件和子组件的主动对准或以恒定力平行夹持精致物体。由于集成的力传感器,它是一个敏感的力检测系统,可以用于各种应用,如监测紫外线固化过程。该微夹持器每个爪上装有一个双轴测力元件,可分别测量夹持力和正交接触力。在整个夹持范围内,夹持力方向是恒定的,下颌运动是完全平行的。钳口本身可以轻松交换,调整或完全定制,以满足特定应用的要求。
工业和医学研究以及基础研究中的许多应用都需要低温。此外,在许多情况下,不仅需要冷却样品,而且需要在低温恒温器中对其进行精确的机械操作。SmarAct公司开发的粘滑式压电致动器具有低热量剖面和超高真空兼容性,可以在温度低至mK范围内操作样品。电阻式电缆(基于磷青铜)是可选的,以减少定位阶段的热负荷。此外,它们可在高达330 K的温度下使用,可在+150°C的温度下烘烤。在低温的高磁场中使用,也有非磁性的版本。为了实现量子计算等低温条件下的高精度定位,SmarAct开发了具有无与伦比的闭环定位性能的低温定位级。
SmarAct的低温执行机构可以很容易地组装成完整的定位系统,包括热管理和定制您的特定应用程序。
SmarAct开发的低温定位平台具有无与伦比的闭环定位性能,分辨率低于0.5 nm,在1 mm行程范围内的单向重复性为5 nm。这使得SmarAct的闭环低温阶段非常适合,例如,在基础研究领域,包括二维材料科学或低温应用,如低温量子技术。高性能的阶段是专门设计的,以满足最苛刻的要求,改变世界的技术,如量子计算诱导。SmarAct的闭环低温定位阶段的材料选择符合所需的热性能,并在冷却和加热循环期间防止机械应力。这确保了在低温和超高真空条件下的长寿命。完全无磁版本可用于高磁场。
对于闭环低温执行器,SmarAct将粘滑压电驱动级与高性能PICOSCALE传感器头相结合,该传感器头基于全光学迈克尔逊干涉设计。SmarAct的闭环低温段宽度为28毫米,高度为14毫米。它们的长度从30毫米到75毫米,行程范围从16毫米到49毫米。为了满足客户的个性化需求,完全定制的设置也是可能的。
低温线性级是SLC级的专门版本,完全保留了室温版本的紧凑设计。因此,它们非常适合有限的空间,通常用于低温恒温器的热罩中。材料的选择要符合所需的热性能,并防止冷却和加热循环期间的机械应力。这确保了在低温和超高真空条件下的长寿命。
低温选项可用于SLC系列产品的许多线性阶段。请注意,以下更改适用于产品规格表中给出的规格。
工业和医学研究以及基础研究中的许多应用都需要远低于10开尔文的低温。此外,在许多情况下,不仅需要冷却样品,而且需要在低温恒温器中对其进行精确的机械操作。
SmarAct开发了具有低热剖面和超高真空兼容性的粘滑线性和旋转阶段,允许在温度低至millikelvin的环境下操作样品。
电阻式电缆(基于磷青铜)是可选的,以减少定位阶段的热负荷。它们也可以像我们的标准特高压级一样在高达330 K的温度下使用。此外,它们的烘烤温度可达+150°C。在低温的高磁场中使用,也有非磁性的版本。
低温阶段可以很容易地组装成完整的定位系统,包括热化管理和定制您的特定应用程序
许多科学和工业应用需要两个以上的自由度来定位样品或组件。即使在非常低的温度和有限的空间,有效载荷必须以最高的精度移动。SmarActs的低温定位系统是模块化的,精确的,可定制的,并在定位或扫描任务期间保持您的样品尽可能冷的热管理。
任何XYZ定位系统的中心部件都是一个线性平台。在本例中,是SLC-1720-CR。三个阶段可以很容易地与支架和适配器板结合,形成紧凑的多轴设置,它们通常连接到客户设置中的低温恒温器的冷指。
当设计需要在低温下精确操作的高分辨率定位系统时,重要的是要确保从级的热负载尽快转移到低温恒温器,以减少由于级和安装组件的热膨胀导致的定位系统的温度蠕变。
最重要的任务是将热量从有效载荷传递到安装底板,以确保动作点的恒定和低温。
对于应用领域,在磁场或其他需要非磁性材料的环境中,SmarAct提供完全非磁性的定位平台和系统。这些阶段的典型材料是铜铍,钛,陶瓷,铜导线特氟龙®或Kapton®绝缘。
SLC-17和SLC-24系列的非磁性级包括陶瓷导轨。我们建议您也选择u型底座,以增加舞台的整体刚度。
u型底座有通常的安装孔模式,但比标准台阶宽6毫米。因此,SLC-17系列的u型底座级为23毫米宽,SLC-24系列为30毫米宽。只有在紧凑性最重要的情况下,才建议放弃u型底板。
SmarAct的级和系统不仅完全适用于大气条件下的应用,而且在某些情况下还适用于更极端的环境,如高真空(HV, 10-6 mbar)和超高真空(UHV, 1E-11 mbar)。
本网站提供的大多数阶段都有专门为真空条件下操作准备的版本。特高压版本可在150°C烘烤,并有两种不同的电缆类型:
由于SmarAct是一个完整的解决方案提供商,高压和特高压定位系统提供匹配的电力引线。作为标准,SmarAct使用:
SmarAct的MLS产品系列为工业应用、实验室自动化和紧凑的定位解决方案提供电磁直线电机,高速、力和纳米级精密运动必须与高占空比和耐用性配对。该平台配备了SmarAct的非接触和无磨损直线电机,开辟了一个应用领域,高度动态过程需要高速和纳米精度的同时。电磁驱动使速度达到1米/秒。此外,它们是持久的,几乎无需维护。它们紧凑的尺寸确保了与现有系统的无缝集成。
小型电磁直驱,行程25毫米。
MLS-3252是一种小型化的电磁直接驱动器,兼容CLS-32模块化系统。它可以很容易地与CLS-32线性和旋转级结合。该级可由可靠的MCS2系列控制器供电。
电磁直接驱动,行程38毫米。
MLS-5282是一种中型电磁直接驱动器,兼容CLS-52模块化系统。它可以很容易地与CLS-52线性、旋转和测角级结合。该级可由可靠的MCS2系列控制器供电。
大型高性能电磁直接驱动,行程范围65毫米。
MLS-92122是一种大尺寸电磁直接驱动器,兼容CLS-92模块化系统。它可以很容易地与CLS-92线性、旋转和测角台相结合。该级可由可靠的MCS2系列控制器供电。
SmarAct的混合驱动器结合了粘滑驱动器和压电扫描仪的优势在一个单一的,紧凑的设备。混合驱动由两个驱动单元组成粘滑单元,它驱动舞台的中心部分,从而驱动整个盖板,和扫描单元,它驱动盖板的相对于中心部分的外框部分。粘滑驱动器和扫描仪可以使用相同的反馈信号进行闭环定位。
基于SmarAct混合驱动技术的小型化线性级,完全兼容CLS-32模块化系统。
DLS-3232完全兼容SmarAct模块化系统,包括CLS-32线性级,等效旋转级,以及所有连接元件和适配器板。虽然DLS阶段包括两个驱动器的概念,但它们只使用MCS2控制器的一个通道。这样,利用“SmarAct”的新型混合动力驱动技术,在现有的定位系统中增加阶段,就可以很容易地扩展功能。
混合驱动级结合了长行程粘滑级和高分辨率压电扫描仪的优点。
像所有的SmarAct的混合驱动阶段,DLS-5252结合了长行程不滑阶段与高分辨率压电扫描仪的优势。DLS-5252兼容SmarAct模块化系统,这意味着该平台可以轻松安装到CLS-52级、等效旋转级和所有适配器板和连接元件上。该级由两个不同的驱动单元组成,但只需要MCS2的一个通道。
每一个成功的定位解决方案都至少依赖于两个支柱。第一个是由机械部分定义的解决方案,第二个是由电子和软件来控制它。我们精密易用的控制系统与我们直观的软件解决方案和软件开发工具包(sdk)是将我们的定位技术快速简便地集成到您的应用程序中的基础。SmarAct的控制系统组合包括各种各样的组件,为不同的应用程序和集成场景优化。从单通道手持式控制器到多达18个通道的机架式模块,我们能够为您配备正确的工具。
SmarAct提供多种控制系统。从简单的OEM板级控制器到高度模块化的多轴控制器,具有直观的用户界面
SmarAct的控制系统捆绑了不同的软件工具,支持您在安装,配置和控制您的定位系统。
SmarAct提供一系列测量解决方案,广泛应用于工业和学术环境。
对于高精度位移测量,SmarAct提供PICOSCALE干涉仪,这是一种具有PICOSCALE分辨率的强大传感器。基于一种非常紧凑的迈克尔逊干涉仪,可以非常高效地实现对目标反射率限制较低的无创位移测量。
传感器头可用于一般用途或优化的特定任务,如角度或微分测量。此外,我们还提供用于真空、低温或其他恶劣环境的传感器头。由于它们的紧凑性,它们几乎适用于每一种设置。强大的固件模块和通用配件补充PICOSCALE组合,强调其作为与其他设备同步的实验室设备,信号产生,实时计算和许多更多的应用。
PICOSCALE振动计是测量微机械结构振动的全面解决方案,其尺寸范围从几个μ m到多个cm。应用包括MEMS,传感器,微型扬声器,轴承和驱动器的测试。由于该仪器配备了集成显微镜,可测量高达100万像素,它非常适合在高空间和时间分辨率下可视化振动模式。
半导体器件的电特性。
一些项目的性质并不证明在专门的仪器和知识上的投资是合理的。为了满足这种情况,SmarAct提供测量和租赁服务,使您能够在您的项目中添加最先进的测量方法。
能为这么多满意的顾客服务,我们感到很自豪。看看他们的成就和建议。
我们的客户怎么说
Bruker公司生产用于能量色散x射线光谱分析的分析仪。借助PicoScale干涉仪,我们能够快速准确地确定定位精度和运动学同步等特性。我们对支持也非常满意。”
Fabian Schuller,电子开发,Bruker Nano GmbH,柏林
“PICOSCALE干涉仪被用于鉴定我们集成在纳米压痕产品中的阶段。自动化分析非常快速和准确,因此我们可以强烈推荐该产品。”
Felix Beyeler博士,FemtoTools AG,瑞士
“我们使用PICOSCALE线聚焦传感器头来跟踪同步加速器光束中抛光圆柱的运动。这使得我们能够关闭反馈回路,并在无偏心的情况下旋转气缸,或者(由于传感器头的大公差)带有一小段偏移。”
国家同步辐射研究中心,新竹,台湾
“纳米尺度样品的多模态研究对于扫描电子显微镜(SEM)等研究领域具有重要意义。在一个新的实验中,PICOSCALE干涉仪被用来收集样品的形貌信息,通过传感原子力显微镜悬臂梁的动力学。同时,探针可以分析与SEM分辨率,因此,两种显微镜方法的融合。SmarAct提供了定制的解决方案,将紧凑型传感器头集成到安装中,并使在SEM中创建微波显微镜成为世界首创。”
德国奥尔登堡大学+++ O. Haenssler