我们的高精度定位器被用于许多化学实验中。通过多相驱动DSP 50,它们实现了最高的定位精度,最高可达一些纳米的范围,以及极其均匀的运动。光学传感器可选择性地检测运动,并允许在一些纳米范围内的重复性。
因此,压电惯性驱动器是微/纳米压痕应用以及纳米摩擦学实验的理想部件。
例如,我们最小的定位器MS15是在各种压头中使用的xyz组合。
用于化学的产品:
CH30电机控制器
CU30电机控制器
我们的高精度定位器和演员用于许多光学,非接触的物理实验,以及在应用
纳米计量。他们提供了所有技术改进的定位精度在亚纳米范围内,以及非常均匀的运动与多相驱动DSP50。光学传感器可选择性地检测运动,并允许在一些纳米范围内的重复性。
压电驱动器和纳米测量传感器从力学是理想的定位器,为各种物理实验。
例如,与线性测量系统PS30连接的精密定位器MS30允许在延迟线中以最高的精度和可重复性进行光学定位。
物理学用产品:
CH30控制器
CU30控制器
微缩翻译阶段MS30
这些压电惯性驱动器用于许多工业领域,其中部件必须定位在亚微米范围内。
例如,micropositionerms30用于许多工业激光器的光学定位-甚至在激光器的腔中。
集成计量系统具有纳米和亚纳米范围的分辨率,用于带usb控制器的闭环操作,用于半导体行业。
此外,超紧凑的微定位器MS15用于扫描电镜显微镜的探针运动和探针尖端的粗略定位。
生物技术和相关科学的最新进展增加了对高速、高精度定位系统的需求。请继续阅读一些例子。
我们的压电驱动器用于长途旅行,可用于精确聚焦显微镜物镜超过30毫米,他们也可以帮助快速分类细胞。药物筛选应用需要纳米升的分配能力,这是机械压电驱动器精度和极限寿命的另一个应用。
扫描光学显微镜——DNA研究的尖端工具之一——没有压电定位系统是不可行的。
特别是我们的微定位平台MS30与线性测量系统PS30的组合,为您提供了优于50 nm的重复性。
摩尔定律不断压缩IC线宽和特征尺寸。为了跟上这一趋势,前端生产和测量工具中嵌入的纳米定位机构和精密运动控制系统必须提供比特征尺寸高10到1000倍的精度。传统的定位系统不能提供所需的稳定性和精度。
mechOnics提供了各种各样的基于压电的解决方案:从非常紧凑的微型定位器MS15到超高性能的长途纳米定位压电舞台MS30。
其他精密运动产品包括用于光束稳定/校正的压电倾斜平台MT25。
PS30系列的光学纳米传感器以非常高的带宽测量纳米范围内的运动。
压电定位系统是纳米技术应用的基本工具。其极高的精度使其成为纳米压印、纳米组装、纳米数据存储和纳米制造等应用中的重要组成部分。
除了具有长行程的微定位器外,力学还设计了先进的压电控制器,提供非常高的带宽来驱动DSP50等多相驱动器。
压电力学作动器在准静态应用中提供非常长的行程范围,几乎不需要功率。这执行这些致动器在真空中工作-这种情况可以在空间应用或许多新的物理实验中找到。
我们所有的阶段都可以从106Mbar到109mbar。在与我们客户的合作中,定位器也被设计成最多可工作10个-11年mbar。
压电力学作动器在准静态应用中提供非常长的行程范围,几乎不需要功率。这执行这些执行机构的工作
在非常低的温度下-在空间应用中可以找到的条件。
此外,我们使用微定位器的许多新的物理实验可以在氦温度(4K)下进行,以避免布朗运动。
在光学实验中,我们的压电惯性驱动器可用于以下应用。
一方面,您可以调整光学元件与线性定位平台MS38,它为您提供了一个10毫米的自由孔径在8毫米的完整行程范围内。
另一方面,您可以使用压电倾斜平台MT25在光路中调整光束在两个正交轴上非常精确。MT25的收费光学孔径为您提供了使用发射光学的可能性。