SmarAct为微纳米范围内的搬运和定位开发高性能解决方案。广泛的产品组合-从单一定位器到复杂的并联运动学,微型机器人和易于使用的控制系统-由基于强大的激光干涉仪的精密测量设备完成。
当涉及到样品、工具或设备的精确定位时,学术界和工业界的大多数应用都需要不止一个自由度。
在学术研究和工业制造中,变化都是恒定的。设备需要具有适应性,以满足新的要求并保持投资可控。
SmarAct的模块化系统是一种产品概念,客户可以根据线性、旋转和测角仪级之间严格的模块化和互兼容性,在现场调整、修改和重新配置复杂的多轴定位系统。它允许将CLS、SLC、CGO、DLS、MLS和SR产品系列的兼容执行器组合在一起,形成复杂的和可重构的定位设置。标准化的角支架、适配器和附件提供了将SmarAct单轴工作台组合成可转换仪器所需的灵活性,同时保证了由此创建的定位解决方案的最高精度和质量。由于高模块化和大量的组件和附件,SmarAct模块化系统提供了几乎无限的可能性来构建您自己的设置。下面介绍的定位系统作为例子来展示SmarAct模块化系统的可能性和现场可重构性。
在SmarAct的模块化系统范围内,完全预构建和预配置的定位系统是可用的。这些预定义的定位系统是客户启发的,代表了我们的客户最常要求的系统和平台。该系统非常通用,可以用于广泛的定位任务。下面显示的系统包括一个面包板适配器。如果首选直接安装方法,所有系统也可以不带面包板适配器。在这些预定义系统的基础上,结合定制的连接元件和定制的级,可以实现非常复杂的串行定位系统。以下几页列出了其中一些。如果您的应用程序需要以下没有显示的特殊配置,请不要犹豫与我们的应用程序专家联系,讨论您的应用程序的需求。
SMARPOD提供与经典六足系统相同的自由度,同时保证高分辨率和可重复性。与六自由度串行运动系统相比,SMARPODs具有更高的刚度和刚度。一个用户友好的软件包允许轻松集成到您自己的控制环境,确保非常短的安装时间。与所有其他SmarAct产品一样,SMARPODs是高度可定制的,可以集成到完全定制的设置中。无论您的应用程序是否只需要修改底座或顶板或完全不同的配置,不要犹豫与我们联系,讨论您的需求和最适合的解决方案。让我们帮助你实现你的想法。
TRIPOD产品系列由紧凑和模块化的多维定位系统组成,在混合设计中结合了串行和并行运动学。与经典的六足支架相比,SmarAct的TRIPODs在整个工作范围内都能连续旋转,且具有较高的刚度。
当选择科学和工业中使用的定位设备时,最高的精度、鲁棒性和可靠性是最优先考虑的属性。SmarAct设计了一种具有6个自由度的机器人定位系统,可用于实验或微装配设置中的各种定位任务。其紧凑的设计减少了结果在苗条的轮廓和允许大的旋转角度,即使在有限的空间。通过智能自动校准程序,它实现了所有旋转轴在单位数微米范围内的混淆球。
SMARGON是一个六自由度的定位系统,基于安装在重型旋转平台上的串行和并行运动学组合,定义了设备的?-轴。这个旋转平台可以是一个直接驱动或压电驱动的阶段。复杂的混合运动学方法允许末端执行器,它也可以是一个组件或另一个负载,最高可达50克,定位在X, Y和Z方向,并在?,?和?方向旋转。
SMARGON控制系统计算部分平行的运动学变换,可以直接定位末端执行器,使姿态的教学成为一个简单的任务。与MCS2模块化控制系统的兼容性保证了与现有控制环境的轻松集成,并以直观的方式指挥定位系统。
在生命科学中,精确的样品处理和操作是显微工作站日常操作中最重要的部分;因此,所使用的设备必须极其精确和可靠。
为了满足这些要求,SmarAct开发了显微镜工作台,不仅可以将样品定位在二维空间,还可以安装用于原位样品操作的微操作系统。显微镜工作台本身是基于紧凑的线性工作台,并允许具有纳米精度的长行程范围和最高的闭环重复性。
除了标准通用的物体滑动支架,统一的井板支架和培养皿支架都是可用的。在高通量实验中,为了方便和快速交换载玻片和盖玻片,磁性支架也是可用的。当涉及到处理移液管,微刀,微钳,微注射器或其他机械或电子探针时,微操作系统是非常多功能的设备。我们的产品组合包括几种不同的三自由度和四自由度的操纵器,用于最常见的任务。
更大的平台不仅支持一个,而是两个或更多的微操纵器,为标本操纵提供更多的自由度。所有的机械手都可以完全独立地移动,当然也可以配备不同的工具和轴配置。
由于SmarAct定位系统的小型化和整体紧凑性以及模块化,它是光学领域光学设置和实验的最佳解决方案。除了多轴定位系统,我们还开发了大量专用的光学机械组件,如电动倾斜镜安装,虹膜膜片,滤光轮,矩形孔径和光束百叶窗。结合定位传感器,它们可以实现闭环位置控制,非常适合自动化或远程控制的实验设置。
为了解决真空光学装置的高需求,几乎所有组件都可作为高真空变体。对于必须省略反射的设置,组件的黑色阳极氧化版本是可用的。在本目录部分中所介绍的所有光学机械组件和设备都可以高度定制。我们的应用科学家渴望讨论定制的解决方案,以完全满足您的需求。
每一个成功的定位方案都至少依赖于两个支柱。第一个是由解决方案的机械部分确定的,第二个是由控制它的电子和软件确定的。我们复杂和易于使用的控制系统,以及我们直观的软件解决方案和软件开发工具包(sdk)是快速和容易地将我们的定位技术集成到您的应用程序的基础。SmarAct的控制系统组合由多种针对不同应用和集成场景优化的组件组成。从单通道手持控制器到多达18个通道的机架安装模块,我们能够为您配备正确的工具。
所有应用领域的小型化增加了对紧凑和高分辨率定位解决方案的需求和要求。
SmarAct的产品组合包括几种线性定位级。每条生产线的开发都考虑到了客户的要求。不同产品线组件之间的完全兼容性允许选择具有特定关键功能的阶段,将它们组合成复杂的多轴系统。
线性阶段的SLC系列是基于线性滑动与交叉滚子轴承。SmarAct的SLC工作台的特点是紧凑,高刚性和直线度。它们非常适合稳定性和高精度是首要任务的定位系统。可选的是,该级可在高和超高真空中使用的专门版本,或可在不同的材料组合中制造。SLC线性级有两个不同的系列,主要在宽度和高度上不同。
CLS系列线性级是高可用性应用中多轴安装的最佳选择,因为它们配备了可交换驱动单元,以确保快速和简单的现场维修。
它们与SmarAct模块化系统的严格兼容性使它们能够轻松集成到多轴系统中:它们的安装孔模式与我们的旋转工作台和测角仪的安装完美匹配。
CLL系列的线性级是基于再循环球滑梯。他们提供标准旅行范围99,179,259和379毫米。由于特殊的长度当然可以根据要求提供,这些长行程阶段是在有限的空间中长距离精确定位的最佳解决方案。CLL舞台配备了SmarActs可交换驱动单元,这保证了容易访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。CLL级可以由我们的任何粘滑驱动器控制系统操作。
还可以将多个幻灯片放在同一条导轨上,并独立移动它们。这允许全电动光学工作台设置。
基于SmarAct压电驱动技术的旋转工作台和平台是可用的。它们可以很容易地相互结合或与我们的线性定位台,形成更复杂的设置,如框架,可旋转欧拉摇篮,多轴或多旋转定位系统。SmarAct旋转阶段允许连续和机械无限旋转。它们因阻塞力、速度和外部尺寸以及集成位置传感器和真空兼容性的可用选项而不同。
SR-1908是我们最小的标准旋转级。非常坚固的不锈钢轴承与孔径7毫米,使广泛的应用可能。
SR-1908是我们最紧凑和最具成本效益的旋转舞台。由于其较小的外部尺寸,舞台是空间限制的一个完美解决方案。
SR-2013是我们最轻的闭环旋转台。集成陶瓷精密轴承是超高精度和极低径向跳动的原因。
它也有不同的选择,如超高真空兼容或作为一个完全非磁性版本。
SR-2812是一个小型闭环旋转台,孔径开口为9毫米。
定制的,无隙陶瓷轴承导致非常高的精度和极低的径向跳动。这个阶段有不同的选择,如超高真空兼容或作为一个完全非磁性版本。
SR-3211旋转平台设计为容易安装到线性压电阶段的CLS-32或SLS-32系列。
它也有不同的选择,如超高真空兼容或作为一个完全非磁性版本。
由于高负荷不锈钢轴承,SR-4011非常坚固。与占地面积相比,高度相对较低,使该级成为集成到平面定位系统的绝佳选择。
SR-4011旋转台有一个方形底座,并显示一个直径9毫米的自由孔径开口。它也有一个高真空兼容版本。
由于高负荷不锈钢轴承,SR-4513非常坚固。与占地面积相比,高度相对较低,使该级成为集成到平面定位系统的绝佳选择。
SR-4513旋转台有一个方形底座,并显示一个直径为8毫米的自由孔径开口。
微传感器的集成使旋转台SR-5014在我们的产品线中是最具成本效益的闭环旋转定位器。
SR-5014旋转台在设计时考虑了与SmarAct的CLS和SLS系列的兼容性,使其能够轻松安装到该系列的线性级和SGO系列的测角仪级。
这种稳健的旋转工作台也可用于恶劣环境的应用,低至超高真空环境。
SR-5714C配备陶瓷轴承,同时显示出与SR-5714相同的25毫米孔径开口。它具有超高真空兼容和非磁性版本,如果鲁棒性和在恶劣环境中的适用性是最优先考虑的,那么它是正确的解决方案。
由于其大平台和孔径开放的SR-7012旋转台是最多功能的旋转台之一
其方形底座,旋转平台直径为60毫米,自由孔径为30毫米,旋转台SR-7012是非常通用的。因为它只有12毫米的低高度和整体的坚固性,它可以用来携带更大更重的定位装置。
SR-9219C级配备陶瓷轴承,提供完全超高真空兼容性
除了真空兼容,非磁性材料的版本也是可能的。它的外部尺寸和安装孔的图案允许这个旋转工作台直接安装在CLS-92, SLS-92和MLS-92系列线性工作台上。
SR-12012旋转工作台提供了大光圈,主要用于光圈和最高精度是绝对必要的应用。
SR-12012旋转工作台的直径为120 × 120毫米,开口为82毫米,同时高度仅为12毫米。
CHS和SHL系列的线性级专门设计用于处理重型有效载荷。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的台阶运动。单独的导轨确保沿负载方向直线运动,并允许集成位置传感器直接位置反馈和闭环操作。具有一个自由度的平台,用于纯粹的垂直提升运动,可以配备额外的恒力弹簧(CFS),以增加负载到更高的值。CHS级配备了SmarAct的可交换驱动单元,便于维护。CHS和SHL级也可以组合形成多轴系统,在所有三个维度都具有高的阻塞力。
一个非常紧凑的高负载平台,配备了一个可交换的驱动单元,垂直移动范围为5毫米,能够处理高达5n的有效载荷。
ch -3232- 1d -5是SmarAct最紧凑的高负载级。由于它的安装孔模式,它可以直接安装到CLS32系列的线性级和SR-3211旋转级。在使用的情况下,整个可交换驱动单元可以从平台上拆卸下来,而设备仍处于定位设置中。可交换驱动单元很容易从舞台的一侧访问。沿着负载方向的直线运动由单独的导轨保证。位置传感器的集成提供了直接反馈和闭环操作。最高的运动分辨率由基于驱动楔的机械设计保证。ch -3232- 1d -5适用于科学和工业领域的高可用性应用。该级可以配备一个额外的恒力弹簧,以处理5牛的有效载荷。
配有可更换驱动单元的高负载工作台,可提供10毫米的垂直行程,并可处理高达10牛的有效载荷
这种高负载阶段适用于科学和工业中的高可用性应用。它配备了SmarAct的可交换驱动单元,当需要维修时,可以将整个压电驱动器从舞台上拆卸下来。由于驱动单元可以从工作台的一侧进入,因此在维修过程中不需要将设备从定位装置中拆卸下来。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的台阶运动。单独的导轨确保沿负载方向直线运动,并允许集成位置传感器直接位置反馈和闭环操作。安装孔模式支持容易拧到cls52系列和SR-5014的线性阶段。可选地,可以添加不同的恒力弹簧来处理高达10 N的有效载荷。
具有大安装平台的高负载垂直工作台,行程范围为10毫米。
SHL系列的线性级是专门设计来处理重负载的。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的台阶运动。一个单独的导轨确保沿负载方向的直线运动和一个位置传感器的集成直接位置反馈和闭环操作。用于纯垂直运动提升部件或设备的级可以配备一个额外的恒力弹簧,以抵消有效载荷到更高的值。因此,纳米编码级可以在几毫米的范围内提升10公斤,以及基于SHL系列线性级的多轴系统都是可能的,该系列在所有三维空间都提供高阻塞力。
在提供高有效载荷的同时,SmarAct SHL级仍然非常紧凑,也适用于空间受限的安装。
高负载垂直工作台,能够在1毫米的行程范围内提升80牛,精度为纳米级。
SHL系列的线性级是专门设计来处理重负载的。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的台阶运动。单独的导轨确保沿负载方向直线运动,并允许集成位置传感器直接位置反馈和闭环操作。用于纯垂直运动提升部件或设备的级可以配备一个额外的恒力弹簧,以抵消有效载荷到更高的值。因此,纳米编码级可以在几毫米的范围内提升10公斤,以及基于SHL系列线性级的多轴系统都是可能的,该系列在所有三维空间都提供高阻塞力。
在提供高有效载荷的同时,SmarAct SHL级仍然非常紧凑,也适用于空间受限的安装
3DoF定位系统,无论安装方向如何,都能在5mm范围内提升高达5n的高有效载荷
SHL系列的线性级是专门设计来处理重负载的。机械设计是基于一个驱动楔,以保证最高分辨率的台阶运动。单独的导轨确保沿负载方向直线运动,并允许集成位置传感器直接位置反馈和闭环操作。用于纯垂直运动提升部件或设备的级可以配备一个额外的恒力弹簧,以抵消有效载荷到更高的值。因此,纳米编码级可以在几毫米的范围内提升10公斤,以及基于SHL系列线性级的多轴系统都是可能的,该系列在所有三维空间都提供高阻塞力。
SmarAct的交换驱动单元(edu)是专门为工业和科学领域的高可用性应用而设计的。粘滑压电驱动器被安置在一个坚固的驱动单元,你可以很容易地更换自己。要做到这一点,既不需要将有效载荷从平台上移除,也不需要将平台本身从定位系统的设置中移除。
使用SmarAct的edu,可以规划压电执行器的服务间隔,并将压电电机更换的停机时间减少到几分钟。独特的专利驱动单元可用于线性阶段的CLS系列,CGO测角仪阶段和CHS高负荷阶段。完整的定位系统,从串行多轴系统到高度复杂的并联运动学,如六足型SMARPOD也可以配备SmarAct的edu。
最小的CLS-32线性级的占地面积仅为32 x 32毫米,行程范围为21毫米。它能够处理高达30牛的有效载荷。
线性级的CLS系列一贯为科学和工业的高可用性应用而设计。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,以确保轻松访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。此外,他们的安装孔的模式是完美匹配安装我们的旋转阶段和角度计。
CLS-32系列的中型级提供31毫米的行程范围,同时保持仅32 x 52毫米的占地面积。它能够处理高达30牛的有效载荷。
线性级的CLS系列一贯为科学和工业的高可用性应用而设计。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,以确保轻松访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。此外,他们的安装孔的模式是完美匹配安装我们的旋转阶段和角度计。
CLS-32系列的最长级提供51毫米的行程范围,同时保持仅32 x 82毫米的占地面积。它能够处理高达30牛的有效载荷。
线性级的CLS系列一贯为科学和工业的高可用性应用而设计。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,以确保轻松访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。此外,他们的安装孔的模式是完美匹配安装我们的旋转阶段和角度计。
CLS-52线性级中最小的一个占地面积为52 x 52毫米,行程范围为31毫米,孔径为9毫米。此外,它能够处理高达20牛的有效载荷。
线性级的CLS系列一贯为科学和工业的高可用性应用而设计。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,以确保轻松访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。此外,他们的安装孔的模式是完美匹配安装我们的旋转阶段和角度计。
较大的CLS-52线性级占地面积为52 x 82毫米,行程范围为51毫米,孔径为9毫米。此外,它能够处理高达20牛的有效载荷。
线性级的CLS系列一贯为科学和工业的高可用性应用而设计。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,以确保轻松访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。此外,他们的安装孔的模式是完美匹配安装我们的旋转阶段和角度计。
较大的CLS-92线性级占地面积为92 × 152毫米,行程范围为103毫米。此外,它能够处理高达20牛的有效载荷。
线性级的CLS系列已经专门为科学和工业的高可用性应用而设计。它们配备了SmarActs可交换驱动单元,保证了容易访问舞台的核心组件,压电驱动器,使维修工作变得简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。当模块化和易于配置是顶级需求时,它们是完美的选择。
较小的一个CLS-92线性级提供了92 × 92毫米的占地面积和63毫米的行程范围。此外,它能够处理高达20牛的有效载荷。
线性级的CLS系列一贯为科学和工业的高可用性应用而设计。他们配备了SmarActs可交换驱动单元,以确保轻松访问舞台的核心组件,压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。驱动单元可以交换,而不需要从周围的定位设置中移除完整的设备。此外,他们的安装孔的模式是完美匹配安装我们的旋转阶段和角度计。
SMARPOD CLS-32配备了可交换驱动单元,完全适用于所有高可用性应用
SMARPOD CLS-32是一种中型六足式定位系统。该装置配备了SmarAct的可交换驱动单元(edu),保证了压电驱动器的简单和快速交换,无需完全拆卸定位设置,也不会丢失校准和位置数据。
与其他SmarAct SMARPOD一样,SMARPOD CLS-32也有高真空和超高真空版本,或由完全无磁性材料制成。
所有基于压电的测角仪级都基于SmarAct的压电驱动技术,并配备了SmarAct的可交换驱动单元。测角仪级可提供不同的半径。除了它们的紧凑,这些阶段是非常严格的,因此非常适合微或纳米定位任务。
由于使用高精度交叉滚子轴承,它们的角度精度非常高。测角仪阶段提供最高分辨率的运动在其整个工作范围的±5°。
CGO-60.5测角仪工作台可以很容易地堆叠在CGO-77.5工作台的顶部,形成一个欧拉摇篮,其共同旋转中心位于工作平台上方60.5毫米。
所有压电测角仪级均基于SmarAct压电驱动技术。测角仪级可提供不同的半径。除了它们的紧凑,这些阶段是非常严格的,因此非常适合微或纳米定位任务。由于使用高精度交叉滚子轴承,它们的角度精度非常高。测角仪阶段提供最高分辨率的运动,并直接堆叠。通过将具有适当半径的两级相结合,有可能建立一个具有共同旋转中心的紧凑欧拉测角仪。它们的机械界面非常适合CLS-52系列级。因此,通过直接组合线性、旋转和测角仪级,可以创建多轴系统。SmarAct的测角仪级可以由我们的任何控制单元操作,还可以使用集成的定位传感器。此外,CGO系列测角仪级可用于不同的环境条件,如高真空和超高真空环境。
由于CGO-60.5配备了一个可交换的驱动单元,因此可以方便地使用舞台的核心组件进行维修。
精确而紧凑的测角仪级CGO-77.5可以直接安装在CLS-52线性级的顶部,或与CGO-60.5级结合时作为欧拉支架的基座。
所有压电测角仪级均基于SmarAct的压电驱动技术。测角仪级可提供不同的半径。除了它们的紧凑,这些阶段是非常严格的,因此非常适合微或纳米定位任务。由于使用高精度交叉滚子轴承,它们的角度精度非常高。测角仪阶段提供最高分辨率的运动,并直接堆叠。通过将具有适当半径的两级相结合,可以建立一个具有共同旋转中心的紧凑欧拉测角仪。它们的机械界面完全适合CLS-52系列级。因此,通过直接组合线性、旋转和测角仪级,可以创建多轴系统。SmarAct测角仪级可以由我们的任何控制单元操作,还可以使用集成定位传感器。此外,CGO系列测角仪级可用于不同的环境条件,如高真空和超高真空环境。
由于CGO-77.5配备了一个可交换的驱动单元,因此可以方便地使用舞台的核心组件进行维修。
自动化装配线上的部件、零件和工具的精确处理和生命科学中的样品处理和操作是最关键的定位任务。我们为产品组合提供了多功能夹持解决方案,以满足不断增长的精确控制镊子、钳子和夹持器的需求。模块化是SmarAct产品的关键特性之一。SmarActs的微型抓手由线性压电支架和抓手爪组成,如果需要,可以很容易地交换和定制。几种不同的和专门设计的夹持钳爪是可用的。
当配备位置传感器时,夹持器允许关于夹持过程和颌骨的开口的全闭环控制。此外,力传感器集成到我们的并行微夹持SGP-17F允许不仅控制颚开口,而且在处理脆弱或高度脆弱的物体时,夹持力。如果您的特定应用程序需要专门的设计,请联系我们的应用程序专家,讨论可能的解决方案或完全定制的设计。
SG-06微型夹持器是空间受限的设置和应用的理想选择,其中小型化是最优先考虑的。
SmatAct的SG-06微型夹持器非常适合空间受限的安装和小型化应用。该产品线的夹持钳爪可以交换或永久连接到定位台。此外,它们可以适应各自的需求。可选的集成点击到位系统支持轻松交换夹持钳口,并遵循SmarAct的模块化和适应性产品的严格理念。由于SmarAct的SG-06微夹持器是真空兼容版本,它是在真空样品处理和转移任务的理想选择。结合SL-06和SLC-17系列产品的线性工作台,它也可以被认为是最紧凑的取放机器人之一。
基于SmarAct最紧凑的线性级之一,该夹持系统成为一种非常紧凑和通用的工具,用于光学和电子设备的取放应用。
SmarAct的SG-1730微夹持器采用SLC- 1730作为其核心组件。基于SmarAct最紧凑的线性级之一,该夹持器系统成为光学和电子产品中非常紧凑和通用的取放工具。它可以配备不同的位置传感器,允许控制和监视抓取过程。此外,可用的真空兼容变体扩展了应用范围,压力范围下至超高真空。有多种专用的颚形几何形状可供选择。由于钳口可以很容易地交换,SG-1730夹持系统可以在现场重新配置,以适应不同的夹持任务。一个快速交换系统的夹爪,可与SG- 06系列的点击到位系统相媲美,已开发并可根据要求提供。定制的颚几何结构,以解决特定的应用是可能的。欢迎与我们的应用科学家讨论您的要求,以创建您自己的夹爪设计。
SmarAct的SGP-17F微夹持器是光电子领域应用的完美解决方案,如光学和子组件的主动对准或用恒定的力平行夹持精致物体。由于集成了力传感器,它可以作为一个敏感的力检测系统,可用于各种应用,如紫外线固化过程的监测。微夹持器配有一个双轴测力元件,可以分别测量夹持力和正交接触力。夹持力的方向是恒定的,下巴的运动在整个夹持范围内完全平行。钳口本身可以很容易地交换、调整或完全定制,以满足特定应用的要求。
工业和医学研究以及基础研究中的许多应用都需要低温。此外,在许多情况下,不仅需要对样品进行冷却,而且还需要在低温器中对其进行精确的机械操作。SmarAct开发了粘滑压电驱动器,具有低热剖面和超高真空兼容性,允许在低至mK的温度下操作样品。电阻性电缆(基于磷青铜)是可选的,以减少定位级的热负荷。此外,它们可在高达330 K的温度下使用,可在+150°C的温度下烘烤。对于在低温高磁场中使用,有非磁性版本可用。对于低温条件下的高精度定位,如量子计算,SmarAct开发了具有无与伦比的闭环定位性能的低温定位台。
SmarAct的低温执行器可以很容易地组装成完整的定位系统,包括加热管理和定制您的特定应用。
SmarAct开发的低温定位台具有无与伦比的闭环定位性能,分辨率低于0.5 nm,在1mm的行程范围内具有5 nm的单向重复性。这使得SmarAct的闭环低温级非常适合于包括二维材料科学在内的基础研究领域,或低温量子技术等低温应用领域。高性能级是专门为满足量子计算等改变世界的技术带来的最苛刻的要求而设计的。SmarAct的闭环低温定位工作台选用的材料符合所需的热性能,并在冷却和加热循环过程中防止机械应力。这确保了低温和超高真空条件下的长寿命。完全非磁性版本可在高磁场中使用。
对于闭环低温执行器,SmarAct将其粘性滑动压电驱动级与高性能PICOSCALE传感器头相结合,PICOSCALE传感器头基于全光学迈克尔逊干涉设计。SmarAct的闭环低温级宽28毫米,高14毫米。它们的长度从30毫米到75毫米,行程范围从16毫米到49毫米。为了满足客户的个性化要求,完全定制的设置也是可能的。
低温线性级是SLC级的专门版本,完全保留了室温版本的紧凑设计。因此,它们非常适合有限的空间,通常在低温器的隔热罩中发现。材料的选择要符合所需的热性能,并在冷却和加热循环中防止机械应力。这确保了低温和超高真空条件下的长寿命。
低温选项可用于SLC产品系列的许多线性阶段。请注意以下更改适用于产品规格表中的规格。
工业和医学研究以及基础研究中的许多应用需要远低于10开尔文的低温。此外,在许多情况下,不仅需要冷却样品,而且还需要在低温器中对其进行精确的机械操作。
SmarAct开发了粘滑线性和旋转级,具有低热剖面和超高真空兼容性,允许在低至毫米尔文的温度下操作样品。
电阻性电缆(基于磷青铜)是可选的,以减少定位级的热负荷。它们也可以在高达330k的温度下使用,就像我们的标准特高压阶段。此外,它们可以在+150°C的温度下烘烤。对于在低温高磁场中使用,有非磁性版本可用。
低温级可以很容易地组装成完整的定位系统,包括加热管理和定制您的特定应用
科学和工业上的许多应用需要两个以上的自由度来定位样品或组件。即使在非常低的温度和有限的空间,有效载荷也必须以最高的精度移动。SmarActs的低温定位系统是模块化的,精确的,可定制的和热管理,使您的样品在定位或扫描任务中尽可能的冷。
任何XYZ定位系统的中心部件都是一个线性工作台。在本例中,使用SLC-1720-CR。三个阶段可以很容易地与支架和适配器板组合,形成紧凑的多轴安装,通常连接到客户安装中的低温恒温器的冷指。
当设计需要在低温下精确工作的高分辨率定位系统时,重要的是要确保来自级的热负荷尽快转移到低温制冷机,以减少由于级和安装组件的热膨胀造成的定位系统的温度蠕变。
最重要的任务是将热量从有效载荷转移到安装底座,以确保在动作点保持恒定和低温。
对于在磁场或其他需要非磁性材料的环境中的应用,SmarAct提供了完全非磁性的定位工作台和系统。这些台阶的典型材料是铜、铍、钛、陶瓷和带特氟龙®或Kapton®绝缘的铜线。
SLC-17和SLC-24系列的非磁性级包括陶瓷导轨。我们建议您也选择u形底座,以增加舞台的整体刚度。
u型底座有通常的安装孔模式,但比标准台阶宽6毫米。因此,SLC-17系列的u型底座底座为23mm, SLC-24系列的u型底座为30mm。只有在密实性最重要的情况下,才建议使用u形底座。
SmarAct的级和系统不仅完全适用于大气条件下的应用,在某些情况下也适用于更极端的环境,如高真空(高压,10-6毫巴)和超高真空(特高压,1E-11毫巴)。
本网站提供的大多数级都有专门为在真空条件下操作准备的版本。特高压版本可在150°C烘烤,可与两种不同的电缆类型:
由于SmarAct是一个完整的解决方案提供商,高压和特高压定位系统提供了匹配的电气引线。作为标准,SmarAct使用:
SmarAct的MLS产品系列为工业应用、实验室自动化和紧凑的定位解决方案提供电磁直线电机,在这些应用中,高速、力和纳米精度的运动必须与高占空比和耐用性相匹配。该工作台配备了SmarAct的非接触和无磨损直线电机,开辟了一个高动态过程同时需要高速和纳米精度的应用领域。电磁驱动器的速度可达1米/秒。此外,它们经久耐用,几乎无需维护。它们小巧的尺寸确保了与现有系统的无缝集成。
小型化电磁直驱,25毫米行程范围。
MLS-3252是一种小型化电磁直接驱动,与CLS-32模块化系统兼容。它可以很容易地与CLS-32线性和旋转级组合。该级可由可靠的MCS2系列控制器供电。
电磁直接驱动,38毫米的行程范围。
MLS-5282是一种中型电磁直接驱动,与CLS-52模块化系统兼容。它可以很容易地与CLS-52线性、旋转和测角仪级结合。该级可由可靠的MCS2系列控制器供电。
一个大的高性能电磁直接驱动与65毫米的行程范围。
MLS-92122是一种大尺寸电磁直接驱动,它与CLS-92模块化系统兼容。它可以很容易地与CLS-92线性,旋转和测角仪级结合。该级可由可靠的MCS2系列控制器供电。
SmarAct的混合驱动器结合了粘滑驱动器和压电扫描仪的优点在一个单一的,紧凑的设备。混合驱动由两个驱动单元组成:粘滑单元,驱动舞台的中心部分,从而驱动整个盖板,和扫描单元,驱动盖板的外部框架部分相对于中心部分。粘滑驱动器和扫描仪都可以使用相同的反馈信号进行闭环定位。
基于SmarAct混合驱动技术的小型化线性工作台,完全兼容CLS-32模块化系统。
ls -3232完全兼容SmarAct模块化系统,包括CLS-32线性级、等效旋转级、所有连接元件和适配器板。虽然DLS级包含两个驱动器概念,但它们只使用MCS2控制器的一个通道。这样,现有定位系统的功能可以通过添加SmarAct新混合驱动技术的级来轻松扩展。
混合驱动阶段结合了长行程粘滑阶段和高分辨率压电扫描仪的优点。
像所有SmarAct的混合驱动级一样,DLS-5252结合了长行程粘滑级和高分辨率压电扫描仪的优点。DLS-5252与SmarAct模块化系统兼容,这意味着该平台可以轻松安装到CLS-52平台、等效旋转平台和所有适配器板和连接元件上。该级只需要MCS2的一个通道,尽管它由两个不同的驱动单元组成。
每一个成功的定位方案都至少依赖于两个支柱。第一个是由解决方案的机械部分确定的,第二个是由控制它的电子和软件确定的。我们复杂和易于使用的控制系统,以及我们直观的软件解决方案和软件开发工具包(sdk)是快速和容易地将我们的定位技术集成到您的应用程序的基础。SmarAct的控制系统组合由多种针对不同应用和集成场景优化的组件组成。从单通道手持控制器到多达18个通道的机架安装模块,我们能够为您配备正确的工具。
SmarAct提供多种控制系统。从简单的OEM板级控制器到具有直观用户界面的高度模块化多轴控制器
SmarAct的控制系统与不同的软件工具捆绑在一起,支持您在设置、配置和控制定位系统过程中使用。
SmarAct提供了一系列广泛应用于工业和学术环境的测量解决方案。
对于高精度位移测量,SmarAct提供PICOSCALE干涉仪,一个强大的传感器与图像计分辨率。基于非常紧凑的迈克尔逊干涉仪,可以非常有效地实现对目标反射率限制低的无创位移测量。
传感器头可用于一般用途,或针对特定任务进行优化,如角度或微分测量。此外,我们还提供用于真空、低温或其他恶劣环境的传感器头。由于它们的紧凑,它们适合几乎所有的设置。强大的固件模块和多功能附件补充PICOSCALE产品组合,强调其作为与其他设备同步、信号生成、实时计算和许多其他应用的实验室设备的用途。
PICOSCALE振动计是一种交钥匙解决方案,用于测量微观机械结构的振动,其尺寸从几μ m到数cm不等。应用包括MEMS,传感器,微型扬声器,以及轴承和执行器的测试。由于该仪器配备了一个集成显微镜,可以测量高达100万像素,它非常适合在高空间和时间分辨率下可视化振动模式。
半导体器件的电特性。
一些项目的性质并不证明在专业仪器和知识方面的投资是合理的。为了满足这种情况,SmarAct提供了测量和租赁服务,使您能够在项目中添加最先进的测量方法。
我们为能服务这么多满意的客户感到自豪。看看他们的成就和建议。
客户的意见
Bruker制造能量色散x射线光谱分析仪。在PicoScale干涉仪的帮助下,我们能够快速和精确地确定诸如定位精度和运动学同步等特性。我们对他们的支持也非常满意。”
Fabian Schuller,电子开发,Bruker Nano GmbH,柏林
PICOSCALE干涉仪用于检测我们集成在纳米压痕产品中的阶段。自动分析非常快速和准确,因此我们可以强烈推荐该产品。”
+++ Felix Beyeler博士,FemtoTools AG,瑞士
“我们正在使用PICOSCALE线聚焦传感器头来跟踪同步加速器波束线上抛光圆柱体的运动。这使我们能够关闭反馈回路,旋转气缸时没有偏心,或者——由于传感器头的较大公差——有短偏移。”
国家同步辐射研究中心,台湾新竹
纳米尺度样品的多模态研究对扫描电子显微镜(SEM)等研究领域具有重要意义。在一项新的实验中,PICOSCALE干涉仪被用来通过传感原子力显微镜悬臂的动力学来收集样品的地形信息。同时利用扫描电镜分辨率对探头进行分析,从而实现了两种显微镜方法的融合。SmarAct提供定制的解决方案,将紧凑的传感器头集成到设置中,并在SEM中创建微波显微镜,这在世界上是首创的。”
+++ O. Haenssler,奥尔登堡大学,德国