我们的执行器的设计是基于微加工扭转谐振器。它们由两根作为扭转弹簧的杆悬挂的矩形网格组成。它们是用SCREAM工艺(单晶硅反应腐蚀和金属化)制造的。当在电网和相邻电极之间施加交流电压时，电网在高kHz范围内的共振频率振荡。网格的边缘在基板平面外达到数微米的挠度。

通过在谐振器网格中引入不对称(例如将扭转杆置于网格的中心之外，或在网格的一侧添加极点)，产生各向异性的横向力，从而实现执行器顶部物体的运动偏置。

每个执行器如果被激活，可以在一个特定的方向上产生运动;否则，它充当被动摩擦接触。几个运动偏置不同的执行器的组合和选择性激活使我们可以在平面上产生各种运动。