Zygo公司是全球领先的先进光学计量系统和超精密光学元件和组件的设计和制造公司。
我们的使命是通过提供超出预期的创新精密光学和计量解决方案，帮助客户取得成功。
ZYGO由以下几个组组成:
光学计量是一种极其通用的实验室检测工具，在质量和设计意图的验证中发挥着重要的作用。今天，它已经成为“走到”的计量解决方案，得益于这一事实，它是非接触，无损，快速，高灵敏度，并具有卓越的分辨率和精度。
ZYGO的3D光学轮廓仪能够实现精确、定量、符合iso标准的非接触式表面测量和微米和纳米尺度表面特征表征，在短短几秒内捕获多达200万个数据点。应用范围从形貌和波浪度，粗糙度和微观结构表征样品，从超光滑亚埃光学表面，到极其粗糙和扩散的3D打印表面。
选择合适的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
ZeGage™Pro和ZeGage™Pro HR 3D光学轮廓仪为许多类型的表面提供非接触测量和微米和纳米尺度特征表征，确保您的制造环境中的质量控制和过程监控。
我们行业领先的ZeGage pro系列为台式工业非接触式表面轮廓仪的性能、易用性、灵活性和精度设定了标准。基于ZYGO专有的CSI技术，ZeGage Pro提供创新技术，实现精确、可靠、简单和自信的表面测量。
独有的功能包括SureScan™技术的振动鲁棒计量，零件查找器，和智能设置简化零件设置和优化的测量。现在测量各种各样的表面和零件比以往任何时候都要简单，而且快捷方便。
主要特点:
NewView™9000 3D光学表面轮廓分析器在非接触式光学表面轮廓中提供强大的通用性。通过该系统，可以方便快捷地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的，快速的，不需要样品制备。
该系统的核心是ZYGO的相干扫描干涉测量(CSI)技术，该技术可在所有放大倍数下提供亚纳米精度，并比其他商业可用技术更快、更精确地测量更广泛的表面，从而优化您的投资回报。
主要特点:
Nexview™NX2 3D光学轮廓仪专为最苛刻的应用而设计，将卓越的精度、先进的算法、应用灵活性和自动化集成到一个包中，代表了ZYGO最先进的相干扫描干涉(CSI)轮廓仪。
这种完全非接触的技术通过在所有放大倍数下提供亚纳米精度，并比其他商业上可用的可比技术更快、更精确地测量更广泛的表面，优化了投资回报。Nexview NX2的应用范围包括平整度、粗糙度和波浪度、薄膜、台阶高度等，几乎可以应用于任何表面和材料，Nexview NX2是真正的不妥协剖面仪。
作为最新一代旗舰产品，Nexview NX2提供了广泛的差异化功能，旨在让用户的计量更好、更快、更可靠:
您是否需要精密、高速、非接触式的表面计量和检验?您是OEM制造商或系统集成商，希望与有经验的领先公司合作以确保您的成功吗?ZYGO的3D光学轮廓仪现在已经成为一种完全可集成的解决方案，具有长期成功的生产集成历史。
我们拥有数十年与OEM制造商合作的经验，为先进制造应用提供关键的在线计量、检验和过程控制服务。服务的主要行业包括:
现在您可以在具有挑战性的环境条件下满足最严格的精密计量标准。我们的Guardian™外壳将计量核心与周围环境隔离，因此您可以随时随地获得最佳性能。由ZYGO专门为我们的光学轮廓仪设计和制造，Guardian™外壳的性能和耐用性。
该系统被设计成一个独立的单元，可以从站立或坐立位置操作。所有用户界面外设都可以定位和调整。一个大的正面开口使加载和卸载测试部件和夹具的任务简单和高效。该装置的内部照明也方便地照亮了工作区域。为了可服务性，访问面板也提供了周围的单位。
Nexview™650计量系统是一种自动测量注塑模具，pcb，玻璃板和其他需要延长工作体积高达650 x 650毫米的样品的检测工具。它提供了亚纳米垂直精度和亚微米横向精度的各种表面特征的2D和3D测量。
强大的性能
相干扫描干涉测量(CSI)是Nexview™650系统的核心测量技术。
这种非接触技术提供高精度、高价值的表面测量好处包括:
ZYGO的Compass™计量系统为离散微透镜和模具的自动化非接触式3D表面计量和过程控制设定了基准，这些微透镜和模具对于紧凑成像系统(如汽车视觉系统和智能手机和平板电脑的摄像头)至关重要。
有两种型号的Compass™系统可用，取决于您的计量需求..
ZYGO激光干涉仪支持并实现了从半导体和光刻到星载成像系统、尖端消费电子、国防相关红外和热成像系统以及眼科等行业中最苛刻的测量应用。
在选择干涉仪时，有许多因素要考虑——主要是它将被用来测量什么以及它将在何种环境下运行。ZYGO提供范围干涉仪，从高成本效益的生产水平到为困难环境优化的仪器，以及用于中空间频率表征的最高分辨率商业干涉仪。请参阅下面的最新仪器、技术和功能，以及我们服务的应用和行业。
该Verifire™干涉仪系统提供快速和可靠的表面形状误差测量，以及光学组件、系统和组件的传输波前。
Verifire™系统是一种真正的激光菲索设计，扩展了ZYGO在表面形状测量方面无与伦比的经验。ZYGO生产的HeNe激光源结合ZYGO专利采集算法和全功能Mx™计量软件，实现高精度计量和易于使用的分析功能
近年来，光学计量技术有了长足的发展。在过去，需要仔细控制环境影响，以实现可靠的测量。如今，ZYGO提供的技术能够在恶劣的环境中进行可靠的测量，在这种环境中，振动和空气湍流会使传统的光学计量变得困难或不可能。
动态计量…自信:最高水平的表现。可靠的计量，即使在极端振动和空气湍流。
新型ZYGO DynaFiz®动态激光干涉仪是一种高度优化的光学仪器，专门用于在空气湍流和极端振动的存在下进行精确的光学测量。
DynaFiz®干涉仪的光学系统的高光效率，结合其长寿命，高功率，HeNe激光源，使操作在高相机快门速度，“冻结”振动。这种动态能力提供了可靠的测量环境，太暴力的传统时间相移技术。
DynaFiz®动态干涉仪的低噪声、高分辨率相机和光学放大能清晰地显示测试工件表面的中空间频率特性。
光学系统测试也可以受益于DynaFiz®干涉仪的独特能力及其捕获实时数据的能力。LivePhase™采集提供实时泽尼克反馈，用于光学系统对准的主动监测。这种功能是电影模式的基础，它将大量动态图像组合成一个电影剪辑，提供了一个光学或系统如何随时间变化的历史。
新!QPSI™耐振动采集现在是DynaFiz干涉仪的标准。控制您的计量与任何水平的振动。QPSI允许比动态采集更快的振动鲁棒测量，不需要校准或腔变化。
通过DynaFiz®干涉仪的独特功能和无与伦比的多功能性，从您的计量投资中获得最大收益。你可以信任的可靠性，只有ZYGO。
主要特点:
ZYGO的Verifire™HD干涉仪系统可提供平面或球面的快速高分辨率测量，以及光学元件和组件的传输波前测量。当高速摄像机捕捉到一些条纹图像时，干涉腔长度被精确地调制，这些条纹图像被软件分析，以创建被测试零件的高度详细的测量。
中空间频率特征不能再隐藏了。verilfire HD系统拥有高分辨率的摄像头和优化的光学设计，可以可靠地测量过去难以识别的地表特征。此外，Mx™软件包提供了利用强大的功率谱密度(PSD)和衍射模拟工具来量化中空间频率含量的设施。
QPSI技术消除了由常见的振动源(如研磨和抛光设备、电机、泵、风机和人员)引起的波纹和相位噪声，这意味着您可以在生产车间直接使用Verifire HD系统，而无需振动隔离台的麻烦和费用。
QPSI是由一个强大的新的专利激光器和高帧率相机启用。无需校准或特殊设置。对菜单选项的简单更改可以启用/禁用QPSI技术。
verilfire MST利用波长移动激光和专利数据采集方法，可以同时测量透明光学器件的前后表面，厚度变化(包括楔形)和简单的2步均匀性计量，无需困难的部件制备或凌乱的涂层。
verilfire™MST多重表面测试激光干涉仪系统提供光学元件和透镜系统的表面形状和传输波前的高精度测量。它是唯一的商业干涉仪系统，可以测量多个表面-与单一的测量。
其他重要的功能包括光学材料均匀性和总厚度变化(TTV)的测量，以及厚度小于1毫米的平板玻璃的测量。该系统波长为1.064 μ m、1.053 μ m和1.55 μ m，标准波长为633 nm，用于近红外和短波红外材料和系统的鉴定。
verilfire™MST干涉仪采用了创新和差分技术，包括ZYGO专利的傅立叶变换移相干涉仪(FTPSI)和波长移动技术。这些技术使它区别于其他所有的技术，使它非常适合最具挑战性的应用，例如平面平行光学元件的测量，在这种情况下，多次反射经常会混淆传统的移相干涉仪。
verilfire MST系统的差分技术使您能够自信地测量光学元件的前后表面、内部腔体和厚度变化-所有这些都在一次测量中完成。不需要特殊的校准，部件设置，或表面准备。所有数据均由ZYGO的Mx™软件自动收集和分析，该软件对任何或所有被测表面进行详细分析。
在一个系统的设计波长的测试是至关重要的最终校准和确认。ZYGO提供一系列干涉仪，用于测试光学系统和材料的工作波长，从近红外到SWIR, MWIR和LWIR -包括光学基准和附件。
光学成像的应用广泛而多样。在系统的设计波长上进行测试对于最终的校准和鉴定是至关重要的，夜视、航空航天和国防的红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和奇特的材料鉴定代表了广泛变化的波长要求，所有这些都可以通过红外干涉仪系统在设计波长上进行测试。
ZYGO一直是干涉测量仪器的世界领导者，设计和制造了包括近红外、SWIR、MWIR和LWIR波长的专用干涉测量系统。ZYGO还设计和制造用于这些波长的参考光学器件(传输球和传输平面)阵列。
除了特定的波长要求，许多光学测试应用必须在困难的环境中进行，振动和空气湍流是极端的。这些环境影响使得精确计量变得困难或不可能。ZYGO开发了独特的采集技术，能够在这些苛刻的环境中进行可靠的测量，适用于所有近红外、SWIR和MWIR干涉仪。
该Verifire™XL干涉仪是一个独立的工作站，旨在简化和可靠的大型平面测量直径达12英寸(300毫米)。示例包括前表面反射器、窗口和半导体晶圆或晶圆夹。
这种完全集成的系统易于使用，具有重型尖端/倾斜平台，可重复放置部件，不需要定制夹具。紧凑的占地面积，内置的隔振，需要最小的生产地板空间。
verilfire XL系统包含ZYGO专利的QPSI™采集技术，能够在振动情况下进行可靠的高精度测量。QPSI实现了真正的轴上表面形状测量，不会因典型的生产振动而退化。
verilfire XL系统中的高性能传动平台被设计为对重力凹陷的敏感度最低，并包括一个全区域校准文件，以实现最佳的系统精度。
ZYGO的水平轴大孔径系统提供了保持两个独立测量腔的独特能力;其中一个名义干涉仪孔径(4”)和另一个选择四个光束扩展器直径(12”，18”24”和32”)。当配置适当的附件时，大孔径系统可以用来测量表面形状和传输波前质量。
大孔径系统包括……
大孔径系统组件可以从干涉仪主机单独购买。联系您当地的ZYGO代表，寻求配置系统的帮助，以满足您的计量需求。
ZYGO的Verifire VTS是一种专门建造的球形光学干涉仪工作站。垂直向上的工作站能够快速拾取和放置测量，通过重力保持测试部件在适当的位置。集成的被动隔振系统和花岗岩基座确保了坚固的计量平台，即使在生产环境中也能达到峰值性能。电动z型工作台行程为1米，能够快速自动放置测试部件，以及点对点的曲率半径。
该VTS兼容一系列干涉仪主机，选择适合您的生产或开发需要的性能水平。紧凑的足迹可提供或没有安全外壳与光幕运动联锁，满足CE机器的安全要求。
垂直工作站包使垂直定向干涉仪的灵活性在一个简单的成本效益包。请参阅激光干涉仪附件指南，了解更多有关配置和选项的信息。
ZYGO位置传感器广泛应用于闭环运动控制系统，主要用于光刻和检测工具分级系统。30多年来，我们一直在位移位置传感器领域进行创新，并与要求最高精度和可靠性的应用程序密切合作。我们的应用专家团队随时准备并能够帮助您解决您的位置测量需求。
激光
ZMI™激光器提供高度稳定，双频输出，为高精度位置测量提供了坚实的基础。这些激光器基于强大的氦氖技术，具有高可靠性，并被用作仪表的标准定义。
干涉仪
ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量场景。大多数干涉仪可以支持直通式或直角测量方向，并且可以在真空中工作。
测量电子
测量电子学利用激光光源驱动干涉仪产生的光信号来计算位移。我们专利的循环纠错选项可以自动无缝地消除DMI系统固有的常见非线性误差。
ZYGO的新型ZPS™系统使用超紧凑型光学传感器测量绝对位置，可轻松集成到高精度应用中，如可变形镜和透镜定位。
光学传感器系统提供多达64个同步通道的高精度，非接触式，1.2毫米范围内的绝对位置测量。测量分辨率为0.01 nm，测量稳定性≤1 nm/day。
光学传感器不会产生热量，对电磁干扰不敏感，使ZPS系统成为可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑的传感器通过光纤电缆连接到紧凑的集中外壳。ZYGO免费提供的ZPS™软件在ZPS系统和您的计算机之间提供即插即用的连接，允许您快速轻松地启动和运行您的系统。
ZPS系统通常用于闭环反馈系统，该系统需要来自多个传感器的连续的高精度位置数据流，以补偿漂移，保持精确的定位和对准。该系统还可以作为RD&E和制造环境中的工具，用于校准测试夹具或量化动态机械性能。
单击下面的每个缩略图，查看示例应用程序的示例。
经过30多年的经验积累，ZYGO的纳米位置传感产品已成为最受信赖的产品之一，以卓越的性能提供连续的运行。ZYGO是位移传感器市场的领导者，为OEM提供闭环伺服控制反馈。如今，生产中的半导体、平板制造和过程控制工具都依赖于ZYGO传感器，为大批量制造环境提供所需的精度和可靠性。
我们的ZMI™位移测量干涉仪传感器用于测量这些系统中十字线/掩模和晶圆级的相对运动到纳米级别。我们模块化的组件可以配置为您的特定应用提供所需的所有自由度，从而实现成功的纳米级运动控制。一个ZMI激光头能够测量2到22轴之间的测量，允许在所有轴的完全同步测量。
作为您在运动控制领域的合作伙伴，ZYGO将支持您的持续系统改进，并为您的下一代需求提供解决方案。
ZPS™提供了多达64个小型传感器的大规模并行安排，直接测量镜子或其他光学的前或后表面，允许您重建表面变形，以获得最佳的像差校正。这使得实时的现场监测的光学与闭环控制，可以保持形状或变形确定性。
镜的形状可以在无意中改变热负荷，驱动器漂移，或机械蠕变。某些自适应光学应用不能在不中断操作或影响光学系统性能的情况下监测光学的性能。其他可能的解决方案要么不实际，要么测量速度不够快，无法产生效果。输入它™。
ZPS的高可重复绝对位置意味着您能够存储已知的良好变形状态，并动态驱动到这些状态，从而能够快速调整光学配置，并避免通常涉及的缓慢迭代过程。
应用实例
随着技术的进步，表面的制造需要严格的控制，对表面纹理的高精度和精度测量的需求变得更加关键。在粗糙度测量方面，有3个重要因素:表面测量、数据处理和结果报告。
测量表面
测量表面的足够精度是确保你的粗糙度值是准确的关键。ZYGO的3D光学轮廓仪系统可以快速简单地收集精确的数据，使用SmartSetup™技术，可以找到焦点，调整测量参数，并在一个单一的按钮点击进行测量。
分析数据
对于任何粗糙度测量，都需要对原始数据进行处理或滤波，将粗糙度与表面的波浪度和形状分开。ZYGO的Mx™软件可以轻松过滤您的表面与iso兼容的过滤。
光学系统，如望远镜、相机镜头和激光系统的性能依赖于系统内光学组件的质量。从侧面看，许多平面光学元件看起来是完全平行的，但通常在两侧之间有一些楔形。在极其精确的系统中，知道窗户楔入的程度是至关重要的。
测量楔形或平行度有多种非接触方法。自准直器是光学工业中用于实现这一目的的常见设备。当光穿过光楔时，光束会发生一定角度的偏转，δ，这是由玻璃的折射率决定的，n玻璃的机械楔角，α．计算公式如下:δ = 2(n-1)·α．
虽然这种方法是有用的，结果的准确性和再现性依赖于熟练的操作人员。还有必要有一个目标镜是平的λ/4或更好，以确保返回的图像是充分聚焦。除了干涉仪所具有的所有测量能力之外，干涉仪在某些条件下也可用于测量窗口的楔形。
ZYGO激光干涉仪是用于光学元件和系统测量和表征的强大而精密的仪器。最常见的应用之一包括曲率半径的测量。曲率半径是球形光学表面的基本参数和功能参数，在制造过程中需要对其进行质量控制。
干涉仪通常是光学制造商的首选解决方案，因为它们具有关键属性和优势，包括:
球面的曲率半径通常是用相位测量干涉仪确定的，以确定在最佳拟合球面(共焦)和测试光学的曲率中心(猫眼)的零位置。一个线性导轨提供了这些位置之间的运动，一个或多个位移传感器被用来记录猫眼和共焦位置之间的距离，因此，曲率半径。
通过透射波前误差(TWE)来确定光学元件在光通过时的性能。
与表面形状测量不同，透射波前测量包括来自前后表面、楔形和材料均匀性的误差。这种整体性能指标可以更好地理解光学设备在现实世界中的性能。
虽然许多光学组件都是单独测试表面形状或TWE规格，但这些组件不可避免地内置到更复杂的光学组件中，具有自己的性能要求。在某些应用中，可以通过部件测量和公差来预测最终性能，但对于要求更高的应用，重要的是在构建时测量组件。
TWE测量是用来确认光学系统是建立在规格和功能预期。此外，TWE测量可用于主动校准系统，减少装配时间，同时确保达到预期性能。
在许多应用中，薄膜和涂层的沉积和控制对实现设备的功能或效率至关重要，包括消费电子、半导体、光学等。这种先进的设备往往需要准确的表征薄膜形貌和层厚，以确保高质量和性能。
基于非破坏性，非接触式面基光学技术(CSI -相干扫描干涉测量)，我们多功能和精确的3D测量仪器和传感器可以测量不同范围的透明表面，不同的地形和层厚度，从50纳米到150微米，超过微米到毫米的面积。
人造表面可以有多种形状和尺寸。对于形状表征对功能至关重要的表面，ZYGO激光干涉仪和3D光学轮廓仪凭借亚纳米级的非接触式表面数据重复性脱颖而出。将行业标准的形状和平整度整合到Mx™分析软件中，形成了一种用于表面检测的单止点测量工具。下面为您在表面形状和平面度测量方面的应用探索解决方案。
形式计量可以概括为表面相对于基础形状的绝对或相对测量。ZYGO产品适用于一般应用，如球体和圆柱体，使用标准产品进行测量，以及特殊应用和工具，用于更复杂的形状，如非球面或薄玻璃。
ZYGO在表格计量方面的应用空间非常广泛，我们的工具非常灵活。斜面的半径，棱柱的角度或表面之间的角度，或表面曲率只是几个例子。笛卡尔和旋转对称拟合函数伴随数百万数据点在给定的表面，以确保我们的形式计量的信心。
在ZYGO产品线中，可以通过各种方式进行平整度测量。高质量的传输平面(λ/50)允许ZYGO激光干涉仪测量空间望远镜到地面钢表面的平面。Mx™软件通过掠入射测量的方式扩展了超大(大于4到6”)矩形表面的平面度测量应用空间。
光学轮廓仪与机动分期克服小视野测量拼接和模式的移动，探索和渲染您的表面平坦的结果。同样，我们的显微镜物镜的工作距离范围允许测量凹腔中的平面座椅和密封件。
拥有众多的解决方案和强大的应用空间，ZYGO是表面形状和平面度测量领域的领导者。了解ZYGO如何满足表面规格，同时超越您的期望。
非球面和自由曲面光学的应用正在增长，通常用于改善成像性能和更少的光学元件是理想的。这些复杂光学器件的设计及其精密制造方法已经成为先进光学系统商业化的推手，这些系统应用于各种应用领域，如LED照明、激光束整形、消费电子设备、成像传感器、望远镜、头戴显示器、相机和光刻步进透镜。
不像传统的曲面光学，表面形状是名义上的球形，非球面和自由曲面展示了一个不对称的光学表面，典型的复杂，高展弦比，倾斜的表面。一种自由光学设计，包括球面、非球面和环面到一个单一的部分，从而使他们具有挑战性的设计，测量和制造。
对于这些类型的复杂表面，精确的计量在制造过程中提供必要的质量控制和反馈起着关键作用。ZYGO激光干涉仪和3D光学轮廓仪通过表征和量化关键表面参数，如形状误差、波纹度、缺陷和表面粗糙度，确保制造过程中的质量和过程监控。
与光学表面的触觉测量方法相比，ZYGO干涉仪在更高效的质量控制和良率优化方面具有以下几个关键优势:
光学元件的一个重要性质是其材料折射率的变化，广义上称为均匀性。材料的不均匀性导致玻璃折射率的变化，这种变化可以是尖锐的、被称为条纹的索状区域的形式，也可以是折射率通过样品的较大区域的梯度。材料指数的变化必须是合格的，以确保它们的影响是在一个特定的光学设计的公差范围内的材料使用。
ZYGO激光干涉仪产品提供一系列的能力，以确定光学材料的均匀性，以及内置的分析，在我们的综合Mx数据采集和分析软件。
Verifire MST -多重表面测试干涉仪非常适合通过同时测量窗口的透射波前和消除表面变形的影响(需要实现精确的材料测量)来确定平面平行窗口的材料均匀性。MST测量的同时性降低了测量结果的不确定度，并保持了与其他测量方法的同质性和信息丢失的重要线性成分。
Verifire和Dynafiz干涉仪通过专门为材料均匀性测量设计的采集和分析软件包，使楔形光学具有类似的测量能力。
测量表面的体积特性最常用于润滑表面的磨损分析，但也可用于许多其他应用，如附着力、孔隙率和颗粒分布。
当涉及到摩擦学研究时，理解和量化磨损疤痕是理解完整情况的关键。ZYGO的3D光学轮廓仪系统可以快速将磨损疤痕与未磨损区域分割，从而提供定量指标。常见的指标包括:
无效
材料俯卧撑
ZYGO的高精度、多功能、非接触式3D计量系统被广泛应用于各个行业。我们为许多计量应用提供标准和定制的解决方案，包括表面形状和粗糙度的测量和表征，零件几何形状和尺寸，透射波前和光学性能，透明薄膜和涂层，磨损和体积分析，缺陷和图像分析，等等。
ZYGO是全球最受信赖的光学窗口，为高精度，先进的应用。45年来，我们专注于将最具挑战性的光学设计带入生活。ZYGO作为您的设计合作伙伴，确保您收到的窗口符合您最严格的规格。
光学窗口是一种经过抛光的材料，它在电磁光谱的某些部分是透明的，它可以让所需的光谱部分不受改变地通过光学仪器。
ZYGO采用严格控制的制造工艺制造精密光学反射镜，使其能够在各种极端环境下可靠地工作。我们的镜子在水下、沙漠中、高海拔地区和绕地球运行。我们定制每一面镜子，以满足或超过您的要求。
镜子也可以是轻重量的应用，重量是关键，这是常见的航空航天应用。轻量化是指通过机械加工或其他方法将材料从光学元件中去除，同时仍然保留反射镜的光学性能。
ZYGO的光学业务部门生产精密球体和透镜，直径从50毫米到700毫米，半径从12.7毫米到8米。
我们的标准产品系列的传输球体可在100和150毫米透明孔径范围内的f数字f/。65到f/11，波前误差为λ/10或λ/20。我们的新生产线的Ultrasphere™传输球是可用的λ/40。各种汇流器和分流器也是我们的标准产品线的一部分。我们是一个合格的供应商高激光fluence透镜。
现代国防、航空航天和NewSpace客户需要高性能的光学系统，在最大限度地提高光学性能的同时最小化尺寸、重量和功率(SWaP)。实现SWaP要求的一种行之有效的技术是使用轻型光学器件。
轻量化是通过机械加工或其他方法将材料从光学元件中去除，同时保留光学性能的过程。这通常用低膨胀的陶瓷和玻璃来完成，必须仔细注意轻量结构，以确保光学性能和刚性。ZYGO的专家可以帮助我们的合作伙伴设计这些部件的可制造性。
ZYGO为我们的半导体、工业和研究客户提供非传统玻璃和低膨胀组件和系统，这些组件和系统不属于传统的“光学”定义。例如，用于半导体光刻的轻型晶圆台，用于精密定位控制的零膨胀计量参考框架，以及传统的直边反射镜和参考镜。我们经常生产尺寸高达1.25米的纳米精度(当需要时!)
在精密光学领域，ZYGO制造世界一流的平面、非球面和球面，以及精密加工结构。
我们的精密光学团队拥有超过20名工程师，具有杰出的传统。他们的项目经验包括用于修复哈勃太空望远镜的非球面光学，以及用于当今最苛刻的光刻系统的亚纳米精度EUV光学的开发。无论您是需要我们开发一个工作范围，建立一个原型系统，还是为了改进性能而重新设计，ZYGO都准备好迎接您最苛刻的光学挑战。