业务概况
自2003年夏天加入英飞凌科技公司后,sensor于2009年3月1日以独立公司的身份回归挪威。该公司专注于使用MEMS技术的产品,但用于高精度应用,在工业传感器社区中发挥了真正的作用。
sensor总部位于挪威奥斯陆以南约100公里的Horten,在超过25年的时间里,sensor在全球MEMS行业的发展中发挥了重要作用。多年来,超过2.5亿个压力传感器,超过2.5亿个加速度计,以及超过200万个陀螺仪已经交付给客户,用于各种类型的应用。这一成功的最重要原因可能是客户依赖sensor产品所经历的极低的故障率;出货的1000万个零件中只有不到1个出现故障。
在sensor公司,硅基传感器的传统可以追溯到更远的过去。早在60年代中期,母公司AME就开始生产基于压阻式微机械硅应变计的压力传感器和加速度计,并从70年代后期开始使用蚀刻膜片硅传感器。
令人印象深刻的世界“第一”名单清楚地显示了我们为全球客户提供创新解决方案的奉献和能力:
第一台用于飞机发动机控制的MEMS压力传感器(AE880 - 1985)
首个用于气囊系统的MEMS加速度计(S64A - 1987)
第一台用于井下油井监测的光学压力传感器(PP05 - 1990)
首款低成本气囊加速度计(SA20 - 1992)
第一个用于轮胎压力测量的集成微系统(SP13 - 1998)
第一台低成本汽车陀螺(SAR10 - 2003)
在过去的十年中,MEMS技术在汽车和消费领域的应用中扮演着越来越重要的角色。原因很明显,MEMS与传统技术相比具有更优越的优势:
成本更低-体积更小-重量更轻-功率更小-更坚固
与MEMS在汽车和消费领域的成功相反,MEMS在高精度传感应用中发挥重要作用的例子很少。传感器已经采取了挑战,带来相同的能力和可靠的利益,以客户操作的高精度产品。
在九十年代早期,sensor开发了三叠密封晶圆键合技术,显示了非常好的长期性能。简而言之,该技术是基于微加工单晶硅和微加工玻璃晶圆的组合。然后,这些晶圆通过阳极键合和可控的气体压力连接在一起,利用埋设在外延硅层下的半导体扩散,形成电气连接到键合腔。