Zygo公司是设计和制造先进光学计量系统和超精密光学元件和组件的全球领导者。
我们的使命是通过提供超越预期的创新精密光学和计量解决方案，使客户取得成功。
ZYGO由以下几组组成:
光学计量是一种非常通用的实验室检测工具，在质量和设计意图的验证中发挥着重要作用。今天，它已成为“去”计量解决方案，受益于这一事实，它是非接触的，非破坏性的，快速，高灵敏度，并具有卓越的分辨率和精度。
ZYGO的3D光学分析器仪器能够精确，定量，符合iso标准，非接触式表面测量和表征微纳米级表面特征，在短短几秒钟内捕获多达200万个数据点。应用范围从地形和波浪形到样品的粗糙度和微观结构表征，从超光滑的亚埃光学表面到极其粗糙和漫射的3D打印表面。
选择正确的光学剖面仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度，精度，垂直范围，自动化和灵活性。
ZeGage™Pro和ZeGage™Pro HR 3D光学分析器提供多种类型表面的微纳米尺度特征的非接触式测量和表征，确保制造环境中的质量控制和过程监控。
我们行业领先的ZeGage pro系列设定了性能，易用性，灵活性和台式工业非接触式表面轮廓仪的精度标准。基于ZYGO专有的CSI技术，ZeGage Pro提供创新技术，实现精确，可靠，简单和自信的表面计量。
独家功能包括用于振动稳健测量的SureScan™技术，部件查找器和用于简化部件设置和优化测量的智能设置。测量各种各样的表面和零件从未如此简单，快速，轻松。
主要特点:
NewView™9000 3D光学表面剖析仪在非接触式光学表面剖析方面提供了强大的多功能性。使用该系统，可以轻松快速地测量各种表面类型，包括光滑，粗糙，平坦，倾斜和阶梯。所有的测量都是非破坏性的，快速的，不需要样品制备。
该系统的核心是ZYGO的相干扫描干涉测量(CSI)技术，该技术可在所有放大倍率下提供亚纳米精度，并且比其他商用技术更快，更精确地测量更广泛的表面，从而优化您的投资回报。
主要特点:
Nexview™NX2 3D光学剖面仪专为最苛刻的应用而设计，将卓越的精度，先进的算法，应用灵活性和自动化集成到一个封装中，代表了ZYGO最先进的相干扫描干涉(CSI)剖面仪。
完全非接触式技术通过在所有放大倍率下提供亚纳米精度，并且比其他商业上可用的类似技术更快，更精确地测量更大范围的表面，从而优化了投资回报。随着各种各样的应用，如平面，粗糙度和波浪形，薄膜，台阶高度和更多的几乎任何表面和材料，Nexview NX2真正是不妥协的分析器。
作为最新一代旗舰产品，Nexview NX2提供了广泛的差异化功能，旨在使用户的计量更好、更快、更可靠:
您是否需要精密、高速、非接触式的表面计量和检验?您是OEM制造商或系统集成商，希望与经验丰富的领先公司合作，以确保您的成功吗?ZYGO的3D光学分析器现在可以作为一个完全可集成的解决方案，具有悠久的成功生产集成历史。
我们拥有数十年与OEM制造商合作的经验，为先进制造应用提供关键的在线计量，检测和过程控制服务。服务的主要行业包括:
现在，您可以在具有挑战性的环境条件下满足最严格的精密计量标准。我们的Guardian™外壳将计量核心与周围环境隔离开来，因此您可以随时随地获得最佳性能。由ZYGO专门为我们的光学分析器设计和制造，Guardian™外壳的性能和耐用性。
该系统被设计成一个独立的单元，可以从站立或坐姿操作。所有用户界面外设都可以定位和调整。一个大的前端开口，使装卸试验零件和夹具的任务简单而高效。该单元的内部照明也方便地照亮了工作区域。为了便于维修，在设备周围还提供了访问面板。
Nexview™650计量系统是一种检测工具，用于自动测量注塑模具，pcb，玻璃板和其他样品，需要扩展的工作体积高达650 x 650 mm。它提供各种表面特征的二维和三维测量，垂直精度为亚纳米级，横向精度为亚微米级。
强大的性能
相干扫描干涉测量(CSI)是Nexview™650系统的核心测量技术。
这种非接触式技术提供了高精度和高价值的表面测量优势，包括:
ZYGO的Compass™计量系统为离散微透镜和模具的自动化，非接触式3D表面计量和过程控制设定了基准，这对紧凑型成像系统(如汽车视觉系统和智能手机和平板电脑的相机)至关重要。
有两种型号的Compass™系统可用，这取决于您的计量需求…
ZYGO激光干涉仪支持并实现从半导体和光刻到星载成像系统，尖端消费电子，国防相关红外和热成像系统以及眼科等行业中最苛刻的计量应用。
在选择干涉仪时，有许多因素需要考虑-主要是它将被用来测量什么和它将在其中工作的环境。ZYGO提供一系列干涉仪，从具有成本效益的生产水平到针对困难环境优化的仪器，以及用于中空间频率表征的最高分辨率商用干涉仪。请参阅下面的最新仪器，技术和功能，以及我们服务的应用和行业。
Verifire™干涉仪系统提供快速可靠的表面形状误差测量，以及光学元件，系统和组件的透射波前。
作为真正的激光菲索设计，Verifire™系统扩展了ZYGO在表面形状计量方面无与伦比的经验。ZYGO制造的HeNe激光源结合了ZYGO的专利采集算法和全功能的Mx™计量软件，实现了高精度的计量和易于使用的分析能力
近年来，光学计量技术取得了长足的进步。在过去，需要仔细控制环境影响以获得可靠的测量结果。如今，ZYGO提供的技术可以在振动和空气湍流使传统光学计量变得困难或不可能的恶劣环境中进行可靠的测量。
动态计量…自信:最高水平的表现。即使在极端振动和空气湍流中也能进行可靠的测量。
新的ZYGO DynaFiz®动态激光干涉仪是一种高度优化的光学仪器，专为在空气湍流和极端振动的存在下执行精确的光学计量而设计。
DynaFiz®干涉仪光学系统的高光效率，加上其长寿命，高功率，HeNe激光源，可以在高相机快门速度下“冻结”振动。这种动态能力为传统的时间移相技术在过于剧烈的环境中提供了可靠的计量。
DynaFiz®动态干涉仪的低噪声、高分辨率相机和光学放大率使测试工件表面的中空间频率特性清晰可见。
光学系统测试也可以受益于DynaFiz®干涉仪的独特功能及其捕获实时数据的能力。LivePhase™采集提供实时泽尼克反馈，用于主动监测光学系统的对准。这种能力是电影模式的基础，它将许多动态图像组合成一个电影剪辑，提供了一个光学或系统如何随时间变化的历史。
新!QPSI™耐振采集现已成为DynaFiz干涉仪的标准配置。控制您的计量与任何水平的振动。QPSI允许比动态采集更快的振动鲁棒测量，无需校准或腔体变化。
利用DynaFiz®干涉仪的独特功能和无与伦比的多功能性，充分利用您的计量投资。可靠性，你可以信任，只有从ZYGO。
主要特点:
ZYGO的Verifire™HD干涉仪系统提供平面或球面的快速高分辨率测量，以及光学元件和组件的透射波前测量。干涉空腔长度被精确调制，同时高速摄像机捕获几个边缘图像，这些图像由软件分析，以创建被测试部件的高度详细的测量。
中空间频率特征无法再隐藏。Verifire HD系统拥有高分辨率相机和优化的光学设计，可以可靠地测量过去难以识别的表面特征。此外，Mx™软件包提供了强大的功率谱密度(PSD)和衍射模拟工具来量化中空间频率内容的设施。
QPSI技术消除了常见振动源(如研磨和抛光设备、电机、泵、鼓风机和人员)引起的纹波和相位噪声，这意味着您可以在生产车间使用Verifire HD系统，而无需使用隔振台的麻烦和费用。
QPSI是由一个强大的新的专有激光器和一个高帧率相机。不需要校准或特殊设置。一个简单的菜单选项更改启用/禁用QPSI技术。
Verifire™MST采用波长移动激光器和专利数据采集方法，可以同时测量透明光学元件的前后表面，厚度变化(包括楔形)和简单的两步均匀性计量，而无需困难的零件制备或杂乱的涂层。
Verifire™MST多重表面测试激光干涉仪系统提供光学元件和透镜系统的表面形式和透射波前的高精度测量。这是唯一的商业干涉仪系统，可以测量多个表面-与单一的测量。
其他重要的功能包括测量光学材料均匀性和总厚度变化(TTV)，以及测量厚度小于1mm的平板玻璃。除了标准的633 nm波长外，该系统还提供1.064µm, 1.053µm和1.55µm波长，用于近红外和短波红外材料和系统的鉴定。
Verifire™MST干涉仪采用创新和差异化技术，包括ZYGO的专利傅立叶变换相移干涉(FTPSI)和移波长技术。这些技术使其与其他技术区别开来，使其非常适合最具挑战性的应用，例如测量平面平行光学元件，其中多次反射通常会使传统的移相干涉仪困惑。
Verifire MST系统的差异化技术使您能够自信地测量光学元件的前后表面，内部腔和厚度变化-所有这些都在一次测量中。不需要特殊的校准，部件设置或表面准备。所有数据均由ZYGO的用户友好型Mx™软件自动收集和分析，该软件可对测量的任何或所有表面进行详细分析。
在系统的设计波长上进行测试对于最终校准和鉴定至关重要。ZYGO提供一系列干涉仪，用于测试光学系统和材料的工作波长，从近红外到SWIR, MWIR和LWIR -包括光学参考文献和附件。
光学成像的应用是广泛而多样的。在系统的设计波长上进行测试对于最终的校准和鉴定是至关重要的，夜视、红外和热成像系统用于航空航天和国防、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定代表了广泛变化的波长要求，所有这些都受益于红外干涉仪系统在设计波长上的测试。
ZYGO，长期以来被公认为干涉测量仪器的全球领导者，设计和制造了许多专用的干涉仪系统，包括NIR, SWIR, MWIR和LWIR波长。ZYGO还为这些波长设计和制造一系列参考光学元件(传输球体和传输平面)。
除了特定的波长要求外，许多光学测试应用必须在振动和空气湍流极端的困难环境中进行。这些环境影响可能使精确计量变得困难或不可能。ZYGO开发了独特的采集技术，可在这些苛刻的环境中实现自信的计量，并可用于所有近红外，SWIR和MWIR干涉仪。
Verifire™XL干涉仪是一个独立的工作站，设计用于直径达12英寸(300毫米)的大型平面的简单可靠的计量。例子包括前表面反射器、窗口和半导体晶圆片或晶圆卡盘。
这种完全集成的系统易于使用，具有重型尖端/倾斜阶段，提供可重复的零件放置，而无需定制夹具。紧凑的占地面积，内置隔振，需要最小的生产空间。
Verifire XL系统包括ZYGO的专利QPSI™采集技术，可以在振动存在的情况下进行可靠的高精度测量。QPSI能够实现真正的轴上表面测量，而不会因典型的生产振动而退化。
Verifire XL系统中的高性能传输平台对重力凹陷的灵敏度最低，并包括一个全区域校准文件，以实现最佳的系统精度。
ZYGO的水平轴大孔径系统提供了独特的能力，以保持两个独立的计量腔;其中一个标称干涉仪孔径(4”)和另一个选择的四个光束扩展直径之一(12”，18”24”和32”)。当配置了适当的附件时，大孔径系统可以用来测量表面形状和透射波前质量。
大孔径系统由…
大孔径系统组件可以从干涉仪主机单独购买。请与您当地的ZYGO代表联系，协助配置系统以满足您的计量需求。
ZYGO的verfire VTS是一个专用的球面光学干涉仪工作站。垂直向上的工作站通过重力将测试部件固定在适当位置，实现快速拾取和放置测量。集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能达到峰值性能。1米行程的电动z级平台可以快速自动放置测试部件，以及点对点的曲率半径。
VTS与一系列干涉仪主机兼容，可根据您的生产或开发需要选择性能级别。紧凑的足迹可与或不安全外壳光幕运动联锁，满足CE机器的安全要求。
立式工作站套件使垂直定向干涉仪的灵活性在一个没有多余的成本效益的包装。查看激光干涉仪附件指南，了解有关配置和可用选项的更多信息。
ZYGO位置传感器广泛应用于闭环运动控制系统，主要用于光刻和检测工具分期系统。30多年来，我们在位移位置传感器领域开创了创新，并与需要最高精度和可靠性的应用密切合作。我们的应用专家团队已经准备好并能够帮助您解决您的位置计量需求。
激光
ZMI™激光器提供高度稳定的双频输出，为高精度位置测量提供了坚实的基础。这些激光器基于强大的氦氖技术，具有高可靠性，并被用作仪表的标准定义。
干涉仪
ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量场景。大多数干涉仪可以支持直通式或直角测量方向，并可以在真空中制造操作。
测量电子
测量电子学利用激光源驱动的干涉仪发出的光信号计算位移。我们的专利循环纠错选项自动无缝地消除DMI系统固有的常见非线性误差。
ZYGO的新型ZPS™系统使用超紧凑型光学传感器测量绝对位置，该传感器可轻松集成到高精度应用中，如可变形反射镜和镜头定位。
光学传感器系统提供多达64个同步通道，高精度，非接触式，绝对位置测量范围为1.2 mm。测量分辨率为0.01 nm，测量稳定性≤1 nm/天。
光学传感器不产生热量，对电磁干扰不敏感，使ZPS系统非常适合可能受这些因素影响的高精度应用。超紧凑型传感器通过光纤电缆连接到紧凑的集中式外壳。ZYGO的免费ZPS™软件在ZPS系统和您的计算机之间提供了即插即用的连接，使您能够快速轻松地启动和运行系统。
ZPS系统通常用于闭环反馈系统，这些系统需要来自多个传感器的高精度连续位置数据流来补偿漂移，并保持精确的定位和对准。该系统还可以用作研发和制造环境中的工具，用于测试夹具的校准或量化动态机械性能。
单击下面的每个缩略图以查看示例应用程序的插图。
凭借超过30年的经验，ZYGO的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一，提供持续运行的卓越性能。ZYGO是位移传感器的市场领导者，为OEM提供闭环伺服控制反馈。今天生产中的半导体和平板制造和过程控制工具依赖于ZYGO传感器来提供大批量制造环境所需的精度和可靠性。
我们的ZMI™位移测量干涉仪传感器用于测量这些系统中光栅/掩膜和晶圆级的相对运动到纳米级。我们的模块化组件可以配置为提供您的特定应用所需的所有自由度，以实现成功的纳米级运动控制。单个ZMI激光头能够测量2到22个测量轴，允许在所有轴上进行完全同步测量。
作为您的运动控制合作伙伴，您可以期望ZYGO在那里支持您的持续系统改进，并为您的下一代要求提供前进的道路。
ZPS™提供了多达64个小尺寸传感器的大规模平行排列，可直接测量镜子或其他光学元件的前后表面，使您能够重建表面变形，以获得最佳的像差校正。这使得光学元件的实时原位监测与闭环控制一起可以确定地保持形状或变形。
镜形可以改变无意与热负荷，致动器漂移，或机械蠕变。某些自适应光学应用不能在不中断操作或影响光学系统性能的情况下监测光学性能。其他可能的解决方案要么不实际，要么测量速度不够快，无法发挥作用。输入它™。
ZPS的高可重复绝对位置意味着您能够存储已知的良好变形状态并动态驱动到这些状态，从而实现光学配置的快速调整，避免了通常涉及的缓慢迭代过程。
应用实例
随着技术的进步，表面的制造受到严格的控制，高精度和准确性测量表面纹理的需求变得更加关键。当涉及到粗糙度测量时，有3个重要因素:测量表面，处理数据和报告结果。
测量表面
以足够的精度测量表面是确保粗糙度值准确的关键。ZYGO的3D光学剖面仪系统通过SmartSetup™技术等易于使用的功能，可以快速简单地收集精确的数据，该功能可以找到焦点，调整测量参数，并在一个按钮点击中进行测量。
数据分析
对于任何粗糙度测量，都需要对原始数据进行处理或过滤，以将粗糙度从表面的波浪度和形状中分离出来。ZYGO的Mx™软件可以轻松过滤您的表面与iso兼容的过滤。
光学系统如望远镜、相机镜头和激光系统的性能取决于系统内光学元件的质量。从侧面看，许多平面光学元件看起来完全平行，但是在侧面之间通常有一些楔形。在极其精确的系统中，知道窗口的楔度是至关重要的。
有多种非接触的方法来测量楔形或平行度。自准直器是光学工业中用于此目的的常用设备。当光穿过光楔时，光束会发生一定角度的偏转，δ这是由玻璃的折射率决定的，n，以及玻璃的机械楔角，α。其计算公式为:δ = 2(n-1)·α。
虽然这种方法是有用的，但结果的准确性和可重复性依赖于熟练的操作人员。它也有必要有一个目标镜，是平坦的λ/4或更好，以确保返回图像是充分聚焦。除了干涉仪具有的所有测量功能外，它还可用于测量在某些条件下窗口的楔形。
ZYGO激光干涉仪是强大而精确的仪器，用于测量和表征光学元件和系统。最常见的应用之一包括曲率半径的测量。曲率半径是球面光学表面的基本功能参数，在制造过程中需要进行质量控制。
干涉仪通常是光学制造商的首选解决方案，因为它们具有关键属性和优势，包括:
球面的曲率半径通常是用相位测量干涉仪来确定在最佳拟合的球面(共焦)和曲率中心(猫眼)的零点位置。直线导轨提供这些位置之间的运动，一个或多个位移传感器用于记录猫眼与共聚焦位置之间的距离，从而记录曲率半径。
透射波前误差(TWE)用来衡量光通过时光学元件的性能。
与表面形式测量不同，透射波前测量包括来自前后表面、楔形和材料均匀性的误差。这种整体性能指标可以更好地理解光学器件的实际性能。
虽然许多光学元件都是根据表面形状或TWE规格单独测试的，但这些元件不可避免地会被内置到具有自身性能要求的更复杂的光学组件中。在某些应用中，依靠组件测量和公差来预测最终性能是可以接受的，但对于要求更高的应用，重要的是要测量组装。
TWE测量用于确认光学系统是否符合规格并将按预期运行。此外，TWE测量可用于主动校准系统，减少装配时间，同时确保达到预期性能。
在许多应用中，薄膜和涂层的沉积和控制对于实现设备的功能或效率至关重要，包括消费电子、半导体、光学等。这种先进的设备通常需要精确表征薄膜的形貌和层厚，以确保高质量和性能。
基于非破坏性，非接触式面基光学技术(CSI -相干扫描干涉测量)，我们的多功能和精确的3D计量仪器和传感器可以测量不同范围的透明表面，具有不同的地形和层厚度，从50纳米到150微米，在微米到毫米的面积。
制造出来的表面可以有许多形状和大小。对于形状表征是功能关键的表面，ZYGO激光干涉仪和3D光学剖面仪以亚纳米级非接触式表面数据的可重复性脱颖而出。将形状和平面度的行业标准整合到Mx™分析软件中，可创建用于表面检查的单一停止测量工具。下面探讨您在表面形状和平面测量方面应用的解决方案。
形状计量学可以概括为一个表面相对于一个基本形状的绝对或相对测量。ZYGO产品涵盖球体和圆柱体等一般应用，可使用标准产品进行随时测量，以及用于更复杂形式(如球体或薄玻璃)的专门应用和工具。
ZYGO在形式计量方面的应用空间同样广泛，我们的工具也很灵活。斜面上的半径，棱柱或表面之间的角度，或表面曲率只是几个例子。笛卡尔和旋转对称拟合函数伴随着数百万个数据点跨越给定的表面，以确保我们的形式计量的信心。
平面度测量在ZYGO产品线中以各种方式进行。高质量的传输平面(高达λ/50)允许ZYGO激光干涉仪测量空间望远镜的平面到地面钢表面。Mx™软件通过掠入射测量的方式扩展了超大(大于4至6英寸)矩形表面的平面测量应用空间。
具有机动化分期的光学剖面仪克服了使用拼接和图案移动的小视场测量，以探索和呈现表面的平面结果。同样，我们显微镜物镜的工作距离范围允许测量凹腔中的平座和密封件。
凭借众多解决方案和强大的应用空间，ZYGO以成为表面形状和平面测量的领导者而自豪。了解ZYGO如何满足表面规格，同时超出您的期望。
非球面和自由曲面光学的应用正在增长，通常用于需要改进成像性能和减少光学元件的地方。这些复杂光学元件的设计及其精密制造方法已经成为各种应用中使用的先进光学系统商业化的推手，例如LED照明，激光束整形，消费电子设备，成像传感器，望远镜，头戴式显示器，相机和光刻步进镜头。
不像传统的曲面光学，表面形状名义上是球形的，非球面和自由曲面表现出不对称的光学表面，通常具有复杂的、高纵横比的、倾斜的表面。一种自由形状的光学设计，包括球面，非球面和环面成一个单一的部分，从而使他们具有挑战性的设计，测量和制造。
对于这些类型的复杂表面，精确的计量在制造过程中提供必要的质量控制和反馈方面起着关键作用。ZYGO激光干涉仪和3D光学剖面仪通过表征和量化关键表面参数，如形状误差，波浪度，缺陷和表面粗糙度，确保制造过程中的质量和过程监控。
与测量光学表面的触觉方法相比，ZYGO干涉仪提供了更有效的质量控制和良率优化的几个关键优势:
光学元件的一个重要特性是制造它的材料的折射率的变化，广义上称为均匀性。材料的不均匀性会导致玻璃折射率的变化，这种变化可以以称为条纹的尖锐绳状区域的形式出现，也可以以折射率的梯度通过更大的样品区域出现。材料折射率变化必须经过认证，以确保其影响在使用材料的特定光学设计的公差范围内。
ZYGO激光干涉仪产品在我们全面的Mx数据采集和分析软件中提供了一系列合格光学材料均匀性以及内置分析的功能。
Verifire MST -多重表面测试干涉仪非常适合通过同时测量窗口的透射波前和消除表面变形的影响来确定平面平行窗口的材料均匀性(需要实现精确的材料测量)。使用MST测量的同时性减少了最精确结果的测量不确定性，并保持了同质性的重要线性成分，信息丢失与其他计量方法。
Verifire和Dynafiz干涉仪通过专门为材料均匀性测量设计的采集和分析软件包，使楔形光学具有类似的测量能力。
测量表面的体积特性最常用于润滑表面的磨损分析，但也用于许多其他应用，如附着力、孔隙率和颗粒分布。
当涉及到摩擦学研究时，理解和量化磨损疤痕对于理解整体情况至关重要。ZYGO的3D光学剖面系统可以快速从未磨损区域分割磨损疤痕，从而提供定量指标。一些常用的指标包括:
无效
材料俯卧撑
ZYGO的高精度，多功能，非接触式3D计量系统应用于广泛的行业。我们为许多计量应用提供标准和定制的解决方案，包括表面形状和粗糙度的测量和表征，零件几何形状和尺寸，透射波前和光学性能，透明薄膜和涂层，磨损和体积分析，缺陷和图像分析，仅举几例。
ZYGO在全球范围内为高精度、先进的应用提供值得信赖的光学窗口。45年来，我们专注于将最具挑战性的光学设计变为现实。ZYGO作为您的设计合作伙伴，确保您收到符合您最严格规格的窗户。
光学窗口是一种抛光的材料，它在电磁波谱的某些部分是透明的，它允许所需的波谱部分不加改变地进入光学仪器。
ZYGO使用严格控制的制造工艺制造精密光学反射镜，使其能够在各种极端环境中可靠地工作。我们的镜子可以在水下、沙漠、高海拔地区和绕地球运行的地方找到。我们定制每一面镜子，以满足或超越您的要求。
镜子也可以是轻量化的应用在重量是至关重要的，如常见的航空航天应用。轻量化是一种通过机械加工或其他方法从光学部件中去除材料，同时仍然保持镜子的光学性能的过程。
ZYGO的光学业务部门生产精密球体和透镜，直径从50毫米到700毫米，半径从12.7毫米到8米。
我们的标准产品线的传输球有100和150毫米的清晰光圈，从f/到f数不等。65至f/11，波前误差为λ/10或λ/20。我们的新系列Ultrasphere™透射球可在λ/40。各种汇聚器和分流器也是我们标准产品线的一部分。我们是一家合格的高激光能量透镜供应商。
现代国防、航空航天和新空间客户需要在最大限度地提高光学性能的同时最小化尺寸、重量和功率(SWaP)的高性能光学系统。实现苛刻的SWaP要求的一种经过验证的技术是要求轻量级光学器件。
轻量化是通过机械加工或其他方法从光学元件中去除材料，同时保持光学性能的过程。这通常是用低膨胀陶瓷和玻璃来完成的，必须仔细注意轻量化结构，以确保光学性能和刚性。ZYGO专家可以帮助我们的合作伙伴设计这些组件的可制造性。
ZYGO通过提供非传统的玻璃和低膨胀组件和系统来服务于我们的半导体，工业和研究客户，这些组件和系统不属于传统的“光学”定义。例子包括用于半导体光刻的轻型晶圆台，用于精确定位控制的零膨胀计量参考框架，以及传统的直边反射镜和参考。我们通常以1.25米的尺寸制造这些产品，具有纳米精度(如有需要!)。
在精密光学领域，ZYGO制造世界一流的平面、非球面和球面，以及精密加工结构。
我们的精密光学团队拥有20多名具有杰出传统的工程师。他们的项目经验范围从用于修复哈勃太空望远镜的非球面光学，到用于当今最苛刻的光刻系统的亚纳米精度EUV光学的开发。无论您是需要我们开发工作范围，构建原型系统，还是重新设计以提高性能，ZYGO都准备好接受您最苛刻的光学挑战。