• 提供配置文件
  • PI miCos专注于微纳定位、光子学和激光技术领域的创新系统和组件。

    我们提供一整套标准产品以及用于教育和研究的实验套件。
产品组合

  • 真空和低温

  • 由于只能应用于真空和低温的技术，真空和低温应用变得越来越重要。14年来，PI miCos将其丰富的真空和低温技术应用于运动技术领域。我们提供10- 3mbar到10- 9mbar真空级别的组件和系统。我们的大多数标准产品在设计时考虑到真空应用，使我们能够轻松地将广泛的阶段转换为真空兼容。我们还将我们的真空专业知识应用于完整的交钥匙系统解决方案。

    真空:为了指定必要的真空水平，分析应用是很重要的。光学镀膜、外延镀膜或晶体镀膜在必要的真空水平上是不同的，质谱或其他方法也是不同的。通常重要的不是10-6或10-9毫巴的一般真空度，而是碳氢化合物的分压。由于使用了具有较高蒸汽压的错误润滑脂或使用了塑料，这些碳氢化合物可能成为表面污染的来源。特别是激光应用在紫外线范围是至关重要的，因为碳氢化合物可以分裂成碎片，这些碎片可以沉积在光学上。材料的选择和处理过程是最后获得正确真空阶段的最重要的一点

    • 低真空

    • 准备类别
      • 标准电机
      • 标准测量系统，如果需要测量系统
      • 标准的布线
      • 插头连接的标准连接器
      • 标准限位开关
      • 所有的Al部件都经过阳极氧化处理
      • 不锈钢螺丝
      • 所有导向和驱动元件均配有真空润滑脂
      • 出气温度马克斯。+ 50°C

    • 高真空

    • 准备类别
      • 特殊的真空马达
      • 改进的用于真空的测量系统
      • 电机和限位开关配备1米长的聚四氟乙烯编织线连接到测试插头
      • 塑料部分的标准限位开关
      • 所有铝部分未进行阳极氧化
      • 不锈钢螺丝
      • 所有导向和驱动元件均配有真空润滑脂
      • 没有使用CuZn合金
      • 所有的孔都通气孔

    • 超高真空

    • 准备类别
      • 特殊的真空马达
      • 改进的用于真空的测量系统
      • 电机和限位开关配备1米长的聚四氟乙烯编织线连接到测试插头
      • 没有限位开关，但可以提供特殊的特高压限位开关
      • 所有铝部分未进行阳极氧化
      • 不锈钢螺丝均为镀银脱气钻孔(M3螺纹除外)
      • 轴承和传动元件采用硬化不锈钢制造，并配有真空润滑脂
      • 没有使用CuZn合金
      • 不使用塑料，除非与客户协商后需要
      • 所有孔都要排气孔(如果可能的话)

    • 低温

    • 准备类别
      • 低温专用真空电机
      • 改进的用于真空的测量系统
      • 电机和限位开关配备1米长的聚四氟乙烯编织线连接到测试插头
      • 没有限位开关，但可以提供特殊的特高压限位开关
      • 所有铝部分未进行阳极氧化
      • 不锈钢螺丝均为镀银脱气钻孔(M3螺纹除外)
      • 轴承和传动元件采用硬化不锈钢制造，并配有真空润滑脂
      • 没有使用CuZn合金
      • 不使用塑料，除非与客户协商后需要
      • 所有孔都要排气孔(如果可能的话)

    • 空间应用

    • 准备类别
      • 在太空中操作的阶段
      • 高冲击和振动负荷
      • 真空可达10-11毫巴
      • 温度范围取决于应用程序
      • 抗辐射能力可达10- 6j /kg
      • 排出气体的洞，以避免被困气体的口袋

    • 极端的环境

    • 类别
      • 非磁性的
      • 气候应用程序
      • 洁净室应用程序
      • 户外应用由电池供电
      • 高湿度的应用程序
      • 在强磁场中工作

  • 运动控制

  • 为了更好地指导您在我们的网站上，我们将主要组运动控制分为以下几个子组。
    采购产品工程系统，控制器，机器人，线性阶段，旋转阶段，压电阶段，手动阶段，附件和附录

  • 工程系统-低温，特高压真空

    • 低温/绝对77 k

    • PRS-110特高压精密旋转工作台OEM应用
      PP-30, 3轴特殊的xyz PP-30级适用于开尔文工况。

    • 真空洁净室

    • 根据应用情况，零件不进行阳极氧化。对于10-7毫巴以下的真空度，所有空腔都进行排气，以消除排气，组件使用特殊的、洁净室兼容的螺钉(100级)组装。所有级都可以配备真空兼容编码器和限位开关。

    • 特高压真空/闭环

    • 线性级LS-1 0配备Heidenhain线性刻度在10-10毫巴真空。导轨和滚珠丝杠均由不锈钢制成，并加干润滑剂。

    • 低真空

    • 5轴系统使用3 VT-80线性阶段和电动AMA-45镜像安装在10 -3毫巴真空中使用。

    • 昆虫的真空

    • 该系统由一个HEXAPOD、一个线性平台和一个额外的倾斜平台组成。选择这种特殊的布置是为了在高真空室有限的空间内实现最大的行程范围。该应用是一个角度相关的表征超导高频探测器(远红外线，FIR)天文学。

    • 昆虫的高压

    • 研制了一种用于10 - 9mbar真空镜检测的六足镜。该HEXAPOD配备了线性编码器，使用户能够实现超精确定位。

  • 工程系统。纤维化

    • SpaceFAB SF-3000 PS(压电)部件。我

    • SpaceFAB SF-3000 PS是专为真空环境中的应用，探头必须在所有六个自由度对齐。我们已经把整体尺寸最小化了。SpaceFAB SF-3000 PS是基于LPS-30阶段，允许与压电惯性驱动和闭环比例系统的最高分辨率。

    • SpaceFAB SF-3000 PS(压电)部件。2

    • XY的最大行程范围为12.7 mm，垂直位移仅为2 mm;中心负荷可达0.5公斤。轴心点，即探头的中心，可以由客户设定，这对多种应用非常重要。该系统基于PI miCos Motion Server，包含了系统的所有功能。

    • SpaceFAB高压

    • 定制SpaceFAB真空10- 7mbar，温度范围- 0°C至+80°C。6个自由度。与SpaceFAB SF-3000 BS(真空)所有六个自由度可以移动，没有额外的定位元素。低重量的移动平台，允许高度动态定位。使用无预载，设计…

    • 高分辨率x射线/光谱仪

    • 5米长的软x射线光谱仪，用于同步辐射束流，用于00-1600 eV能量范围内的共振x射线发射光谱和共振非弹性x射线散射。5轴先进x射线发射光谱仪安装在旋转平台上，允许散射角。

    • 同步加速器用的空间fab高压

    • 该7轴定位系统由LS-110和定制的用于动态测量的Sp ceFA组成。为了达到所需的精度，需要高刚度和可重复性。枢轴点可以通过软件设置——在这种情况下，这对柏林BESSY II的x射线单反射透镜的调节非常重要。

    • 纤维排列

    • 图中所示的光纤对准系统是我们定制系统的一个例子。它被设计用来连接两个光纤阵列到一个中心波导组件。组件的对齐通过几个步骤来实现。

  • 工程系统空气轴承

    • 缩微胶片扫描仪

    • 作为夫琅和费物理测量技术研究所IPM组织的千年项目的项目合作伙伴，PI miCos的任务是开发一个非常快速和稳定的转换阶段。这个项目的目标是开发一种功能照排机，用于在单色胶片上存储模拟和数字数据。

    • 空气轴承

    • 测试和校准系统。空气轴承直线轴的行程范围为600毫米。该系统用于高精度线性比例尺的测量，需要一个精度优化的定位平台(最小俯仰、偏航和横摇角)。该系统由精密研磨花岗岩板和铝载体组成。

    • 长期稳定性-倾斜倾斜

    • 带NPE-200的倾斜升高系统。
      该三轴系统用于长期稳定性要求最高的光学零件的制造。

    • 纳米机器人

    • PI miCos是一家领先的定位供应商
      纳米技术应用系统。我们的组件和系统专门设计用于苛刻的用途，如激光技术，医疗应用，空间探索，精密传感器和许多其他具有挑战性的应用领域。

    • 昆虫

    • 六apod系统可以在六个位置运动
      自由度可以实现。由于采用了并联的运动学设计原则，该系统的刚度比传统的叠置式平台高得多。移动平台的低重量允许高度动态定位过程。

    • 薄膜分析

    • 高精度薄膜质量控制轴系。采用线性UPM-160工作台，实现了0.5 μ m/100 mm的直线度，两轴的重复性小于25 nm。

  • 工程系统晶圆检验

    • 电子检验

    • 采用MT-65线性级和SMC控制器的交钥匙系统，包括视觉系统来测量印刷电路板。

    • 多轴标准/组合

    • DT-80堆栈与一个共同的旋转中心实现机动万向架安装。虹膜隔膜用DT-80

    • 传感器校准

    • 左:两轴旋转系统安装在一个DT-120旋转台上的谐波传动。
      右:采用PLS- 5和DT-50的4自由度xyz定位系统。

    • Multiaxex标准/组合

    • 左:仰角阶段HT-90，两个测角仪WT-100和WT- 5加上一个ARS-65旋转阶段有一个共同的旋转中心。

      右:手动VT- 0级线性刻度。

    • 球扫描

    • LUCIA BalScan是一种弹道识别系统，可用于常规的子弹和弹壳扫描
      比较工作。它还可用于建立中央数据库和弹道实验室网络。

    • 检查传感器测量

    • 3轴检测系统。这个3轴定位系统是专门为检查小光学部件而开发的，非常适合反射和透射光学显微镜的任务。XY调整是使用MS-8扫描阶段与8“行程范围。安装在花岗岩支架上的MT- 5线性台，可以调节CCD的焦距。

  • 工程系统气候，紫外线应用

    • 定位在南极洲

    • 旋转阶段ADT-65适合垂直和水平使用。它可以与系统中的其他PI miCos组件一起配置。

    • 气候舱定位

    • 气候室6轴系统测量传感器-50°C至80°C在汽车工业。测试单元使用6轴系统进行定位。XYZ的行程范围是50毫米，旋转是360°或10°。线性轴提供小于0.1 μ m的分辨率，旋转轴小于0.0015°。对于这个任务，只有标准的定位…

    • 晶片检查

    • 3轴定位系统与UPS-150直线电机阶段XY和PLS- 5传感器定位。该系统使用了一个SMC-Pegasus控制器。

    • 精密光学部件生产

    • xyz系统由LMS-1 0级线性电机和dmc系列控制器组成。我们还设计了多达50个机动轴的系统，包括激光器、传感器和软件。

    • 阶段的自动对焦

    • 医学工程聚焦轴

    • x射线台用于紫外激光/应用

    • uv激光器OEM应用。微型微型MTS-70是为空间要求有限的真空应用而开发的。驱动器由一个特殊的微步无齿轮步进电机组成。如果需要较高的定位精度和重复性(0.1 μ m)， MTS-70。

  • 控制器

  • 为了更好的指导您在我们的网站上，我们将控制器组分为以下几个子组。
    控制器2011，微步，线性/力矩，伺服，压电和放大器

  • 控制器-控制器2012

    • mmc系列MMC-100 / 110

      • PI miCos粘滑压电集成控制器/驱动器
      • 紧凑,模块化设计
      • 可配置为独立单元或堆叠多达99
      • 开环/闭环操作
      • 开环分辨率小于1纳米
      • 闭环分辨率取决于编码器..
      • 四B差分编码器反馈

    • DeltaTau-series Geobrick /限幅器

      • 4或8轴同步控制(0.1 ms更新t。)
      • 80mhz CPU选配。240mhz
      • 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
      • 多任务多达256个运动和64个异步..
      • 易于使用的高级编程语言
      • 线性，圆形，快速，b样条，厄密样条interp。
      • 对抽动限制剖面的真实s曲线加速/减速

  • 控制器-微步

    • SMC
      技术信息

      • Kyfeatures描述SMC家族
      • 开环图形分辨率100nm, 25nm和10nm
      • 闭环图形分辨率100nm, 25nm和10nm
      • 开环，定位错误
      • 开环;定位修正

    • SMC-series
      SMC乌鸦座

      • 2轴或3轴微步控制系统
      • High-Resolution-Microstep
      • 48 vbus-voltage
      • 133 MHz RISC处理器，带闪存
      • 速度范围< 0.1µm / s…45 / s牧师(200步进电动机)
      • 正交编码器的闭环(RS-422)
      • 和sin-cos编码器(1Vpp)

    • SMC-series
      SMC乌鸦座生态

      • 2轴或3轴微步控制系统
      • High-Resolution-Microstep
      • 24 V母线电压
      • 133 MHz RISC处理器，带闪存
      • 速度-范围< 0.1µm/s…15 / s牧师(标准)
      • 25转/秒(带速度升级)(200步进电机)
      • 闭环(RS-422)和(1Vpp)

    • SMC-series
      SMC coruvs pci

      • 12 V的电脑
      • PCI插件板与板载微步p.amp。
      • 电机功率12v (PC电源)，或选择24v
      • COM通过PCI-Com-bridge，保证软件安全
      • SMC乌鸦与SMC乌鸦生态的相容性

    • SMC-series
      SMC铯榴石

      • 单轴Microstep-Controller系统
      • 独立系统，或与积分。2 ph值。步进m . .
      • High-Resolution-Microstep
      • 多达16个SMC污染可以结合…
      • DSP控制器类型
      • 串行接口RS-232 19200波特
      • 新的闭环1 Vpp接口，…

    • SMC-series
      SMC hydra厘米

      • 二轴微步控制系统
      • High-Resolution-Microstep
      • 24 V母线电压
      • 带有绝对编码器的闭环(多圈)
      • 闭环与增量编码器1Vpp
      • 串行接口RS-232 460 KBaud
      • 以太网10/100兆比特

    • SMC-series
      SMC hydra TT

      • 二轴微步控制系统
      • High-Resolution-Microstep
      • 24 V母线电压
      • 带有绝对编码器的闭环(多圈)
      • 闭环与增量编码器1Vpp
      • 串行接口RS-232 460 KBaud
      • 以太网10/100兆比特

    • SMC-series
      SMC金牛座

      • 模拟操纵杆端口
      • 手动手轮港口
      • SPS /输出
      • Limit-switch-inputs
      • 允许输入
      • 潜在自由紧急联系人
      • 闭环(RS-422)和(1Vpp)

    • SMC-series
      SMC珀加索斯

      • 模拟操纵杆端口
      • 手动手轮港口
      • SPS /输出
      • Limit-switch-inputs
      • 允许输入
      • 潜在自由紧急联系人
      • 闭环(RS-422)和(1Vpp)

    • SM-series
      SM 32

      • 三轴微步控制系统
      • 微步骤到1/64(软件配置)
      • PCI插件板与板载微步p.amp。
      • ast pci插槽的沟通
      • 36 W马克斯。功率，每轴1.8 A
      • 32位步进计数器
      • 点对点，梯形和三轴轮廓

    • DMC-series DMC以太网/ rs - 232

      • 外形因素:PCI-PC插槽和外部19”机架
      • 可在DMC PCI-eco & Accelera
      • 适用于DMC以太网/RS232
      • 轴的数量1…8
      • 闭环
      • 线性插值
      • 圆形的插值
      • 轮廓线独立

    • deltatau系列Geobrick / Clipper

      • 4或8轴同步控制(0.1 ms更新t。)
      • 80mhz CPU选配。240mhz
      • 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
      • 多任务多达256个运动和64个异步..
      • 易于使用的高级编程语言
      • 线性，圆形，快速，b样条，厄密样条interp。
      • 对抽动限制剖面的真实s曲线加速/减速

    • FlexMotion-series
      734 x

      • 步进/伺服四轴控制器(NI)
      • 实时CPU，机载多任务实时…
      • 闭环控制……
      • 62µs PID环路更新速率…
      • 正交编码器或模拟反馈
      • 32条数字I/O线，4条模拟输入/输出
      • 高速位置捕获输入

  • 控制器-线性/扭矩

    • SMC-series
      SMC hydra厘米

      • 二轴微步控制系统
      • High-Resolution-Microstep
      • 24 V母线电压
      • 带有绝对编码器的闭环(多圈)
      • 闭环与增量编码器1Vpp
      • 串行接口RS-232 460 KBaud
      • 以太网10/100兆比特

    • SMC-series
      SMC hydra TT

      • 二轴微步控制系统
      • High-Resolution-Microstep
      • 24 V母线电压
      • 带有绝对编码器的闭环(多圈)
      • 闭环与增量编码器1Vpp
      • 串行接口RS-232 460 KBaud
      • 以太网10/100兆比特

    • SMC-series
      SMC金牛座

      • 模拟操纵杆端口
      • 手动手轮港口
      • SPS /输出
      • Limit-switch-inputs
      • 允许输入
      • 潜在自由紧急联系人
      • 闭环(RS-422)和(1Vpp)

    • SMC-series
      SMC珀加索斯

      • 模拟操纵杆端口
      • 手动手轮港口
      • SPS /输出
      • Limit-switch-inputs
      • 允许输入
      • 潜在自由紧急联系人
      • 闭环(RS-422)和(1Vpp)

    • LMC-series
      lmc - 100

      • 两相电刷电机的单轴伺服控制
      • 2 & 3相无刷电机，线性和扭矩m。
      • rs - 232 interf。对于1轴，CANopen对于多轴
      • SimpllQ编程语言
      • 上编程
      • 单轴点对点
      • RS-232和1Vpp反馈

    • deltatau系列Geobrick / Clipper

      • 4或8轴同步控制(0.1 ms更新t。)
      • 80mhz CPU选配。240mhz
      • 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
      • 多任务多达256个运动和64个异步..
      • 易于使用的高级编程语言
      • 线性，圆形，快速，b样条，厄密样条interp。
      • 对抽动限制剖面的真实s曲线加速/减速

  • 控制器,伺服

    • LMC-series
      lmc - 100

      • 两相电刷电机的单轴伺服控制
      • 2 & 3相无刷电机，线性和扭矩m。
      • rs - 232 interf。对于1轴，CANopen对于多轴
      • SimpllQ编程语言
      • 上编程
      • 单轴点对点
      • RS-232和1Vpp反馈

    • MoCo-series
      墨客直流

      • 单轴DC-controller系统
      • 性价比高，独立控制器
      • 最多可组合16个MoCo DC
      • LM629同步伺服控制器
      • 位置比较输出(≤1 kHz)
      • 与PID过滤
      • LabVIEWTM活力

    • DMC-series
      DMC以太网/ rs - 232

      • 外形因素:PCI-PC插槽和外部19”机架
      • 可在DMC PCI-eco & Accelera
      • 适用于DMC以太网/RS232
      • 轴的数量1…8
      • 闭环
      • 线性插值
      • 圆形的插值
      • 轮廓线独立

    • DeltaTau-series
      Geobrick /限幅器

      • 4或8轴同步控制(0.1 ms更新t。)
      • 80mhz CPU选配。240mhz
      • 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
      • 多任务处理多达256个运动和64个异步。
      • 易于使用的高级编程语言
      • 线性，圆形，快速，b样条，厄密样条interp。
      • 对抽动限制剖面的真实s曲线加速/减速

    • FlexMotion-series
      734 x

      • 步进/伺服四轴控制器(NI)
      • 实时CPU，机载多任务实时…
      • 闭环控制……
      • 62µs PID环路更新速率…
      • 正交编码器或模拟反馈
      • 32条数字I/O线，4条模拟输入/输出
      • 高速位置捕获输入

  • 控制器-压电

    • mmc系列MMC-100 / 110

      • 集成控制器/驱动器
        PI miCos粘滑压电
      • 紧凑,模块化设计
      • 可配置为独立单元或堆叠多达99
      • 开环/闭环操作
      • 开环分辨率小于1纳米
      • 闭环分辨率取决于编码器。
      • 四B差分编码器反馈

    • 皮科33

      • 特殊的设计
        用于压电驱动步进电机
      • 手动控制键盘或RS-232
      • 使用电池或外部电源
      • 操作多达3个轴
      • 定制的设计
      • 可选usb接口(没有键盘)
      • USB闭环控制器(可选)

    • 皮科33 USB

      • 特殊的设计
        用于压电驱动步进电机
      • 操作多达3个轴
      • 定制的设计
      • usb接口(没有键盘)
      • USB闭环控制器

    • PMA-100压电马达放大器

      • 单轴压电电机
        (惯性或粘滑)驱动器
      • 接口直接与步进电机控制器
      • 标准脉冲和方向接口
      • 典型的开环步进分辨率
        1.5纳米
      • 典型的最大速度为3mm /s
      • 不需要设置或调整
      • 包括通用电源

  • 控制器-放大器

      • MPA功率放大器

        • DC-brush 2
        • DC-brush 5
        • 2SM微步24v 2a
        • 三相无刷24v 5a
        • 直流电刷12v 1a
        • 三相线性/力矩电机
        • Piezo-Motor司机(pma - 100)

  • 机器人

  • 为了更好地指导您在我们的网站上，我们将机器人组分为以下几个子组:
    真空，机器人2011,SpaceFAB和Hexapod

  • 机器人技术——真空

    • SpaceFAB sf - 3000bs高压

      • 六轴微型机器人系统
      • 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
      • 行程范围线性50 × 12.7 × 100毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
      • 承重能力3公斤中心安装
      • 轴心点可由客户自行设定
      • 包括软件、控制器和放大器

    • SpaceFAB sf - 3000bs特高压

      • 六轴微型机器人系统
      • 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
      • 行程范围线性50 × 12.7 × 100毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
      • 承重能力3公斤中心安装
      • 轴心点可由客户自行设定
      • 包括软件、控制器和放大器

    • 昆虫帕罗斯岛高压

      • 六轴并联机器人操作系统
      • 行程范围线性200 × 200 × 80毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry 30°，Rz 60°
      • 最大速度30毫米/秒(支腿速度)
      • 空间可重复性±30µm
      • 高刚度
      • 包括软件、控制器和放大器

  • 机器人-机器人2011

    • 昆虫hp - 550

      • 六轴并联运动系统
      • 行程范围线性(XYZ) 100x100x100毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry 40°，Rz 60°
      • 最大速度1毫米/秒
      • 高刚度
      • 旋转点的随机定义
      • 中心负载能力(垂直/ Fz) 50公斤

    • 昆虫hp - 140

      • 六轴并联运动系统
      • 行程范围线性32 × 32 × 12毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry 12°，Rz 20°
      • 最大速度1毫米/秒
      • 轴心点可由客户自行设定
      • 用户友好的软件
      • 负载能力中心(Fx;Fy) 2公斤/ (Fz) 5公斤

  • 机器人——SpaceFAB

    • SpaceFAB sf - 3000 b

      • 六轴微型机器人系统
      • 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
      • 行程范围线性50 × 12.7 × 100毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
      • 承重能力3公斤中心安装
      • 轴心点可由客户自行设定
      • 包括软件、控制器和放大器

    • SpaceFAB sf - 3000 LS

      • 六轴微型机器人系统
      • 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
      • 行程范围线性50 × 12.7 × 50毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
      • 承重能力1公斤中心安装
      • 轴心点可由客户自行设定
      • 包括软件、控制器和放大器

    • SpaceFAB sf - 2500 LS

      • 带有控制器和软件的SpaceFAB系统
      • 量程:5x5x3.5mm，各±5°
      • 计算分辨率:0.5µm和10µm
      • 负载0.3公斤
      • 可选:真空，其他尺寸
        会在10-2009年推出吗

  • 机器人——昆虫

    • 昆虫hp - 140

      • 六轴并联运动系统
      • 行程范围线性32 × 32 × 12毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry 12°，Rz 20°
      • 最大速度1毫米/秒
      • 轴心点可由客户自行设定
      • 用户友好的软件
      • 负载能力中心(Fx;Fy) 2公斤/ (Fz) 5公斤

    • 昆虫hp - 550

      • 六轴并联运动系统
      • 行程范围线性(XYZ) 100x100x100毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry 40°，Rz 60°
      • 最大速度1毫米/秒
      • 高刚度
      • 旋转点的随机定义
      • 中心负载能力(垂直/ Fz) 50公斤

    • 昆虫hp - 430

      • 六轴并联机器人操作系统
      • 行程范围线性50x50x30毫米
      • 行程范围旋转Rx, Ry 20°，Rz 40°
      • 最大速度30毫米/秒(legspeed)
      • 空间内可重复性±5µm
      • 高刚度
      • 高动态

    • 昆虫hp - 300

      • 六脚系统，带有控制器和软件
      • 量程:30x30x15mm，每个20°
      • 计算分辨率:1µm和10µm
      • 负载5公斤
      • 选择:真空,洁净室

  • 线性阶段

  • 为了您能更好地指导我们的网站，我们把小组分开了线性阶段在以下子组中。
    真空，超，直接，精密，生态，微，升降，推，扫描

  • 线性级-真空

      • 特高压参考型号pl -85

        • 行程可达155毫米(6“)
        • 单向重复性可达±0.05µm
        • 最大速度8[15]毫米/秒
        • 最大转速4毫米/秒[特高压-无润滑]
        • 载重可达6[7]公斤
        • 陶瓷金的极限和参考开关[特高压]
        • 塑料限位和参考开关[高压]
        • 可选光学线性编码器真空型
        • 配件d型连接器和引线

  • 线性阶段-超

    • 超精密直线电机级UPS-150

      • 直线电机
      • 行程范围高达305毫米(12“)
      • 单向重复性可达±0.015µm
      • 最大速度600毫米/秒
      • 载重可达15公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性刻度(中心安装)
      • 高长期稳定

    • 超精密直线工作台UPM-160

      • 行程范围可达205毫米(8“)
      • 单向度可达±0.02 μ m
      • 最大速度100毫米/秒
      • 载重可达35公斤
      • 载重可达35公斤
      • 集成线性刻度(中心安装)

    • 直线电机级LMS-230

      • 行程范围可达xx毫米(x”)
      • 单向重复性可达±0.0xµm
      • 最大速度x00毫米/秒
      • 载重量可达xx公斤
      • 载重量可达xx公斤
      • 集成线性刻度(中心安装)

    • 纳米精密升降台NPE-200

      • 行程13毫米(1/2”)
      • 单向重复性可达±0.025µm
      • 最大速度0.2毫米/秒
      • 载重可达30公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性刻度(中心安装)

    • 超精密升降台up -120

      • 行程13毫米(1/2”)
      • 单向重复性可达0.05µm
      • 最大速度6毫米/秒
      • 载重可达15公斤
      • 集成光限位开关
      • 可选:线性比例(中心安装)

  • 线性阶段-直接

    • 超精密工作台UPS-150

      • 直线电机
      • 行程范围高达305毫米(12“)
      • 单向重复性可达±0.015µm
      • 最大速度600毫米/秒
      • 载重可达15公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性刻度(中心安装)
      • 高长期稳定

    • 直线电机级LMS-230

      • 行程范围可达xx毫米(x”)
      • 单向重复性可达±0.0xµm
      • 最大速度x00毫米/秒
      • 载重量可达xx公斤
      • 载重量可达xx公斤
      • 集成线性刻度(中心安装)

    • 直线电机级LMS-180

      • 直线电机
      • 行程范围高达508毫米(20“)
      • 单向重复性可达±0.03µm
      • 最大速度500毫米/秒
      • 载重可达45公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性刻度(中心安装)

    • 直线电机级LMS-80

      • 直线电机
      • 行程范围120毫米
      • 单向重复性可达±0.03µm
      • 最大速度500毫米/秒
      • 载重可达5公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性范围

    • 直线电机级LMS-60

      • 直线电机
      • 行程范围可达65毫米
      • 单向重复性可达±0.03µm
      • 最大速度500毫米/秒
      • 载重可达3公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性范围

  • 线性工作台-精度

    • 高精度工作台HPS-170

      • 行程范围高达305毫米(12“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度90毫米/秒
      • 载重可达35公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)

    • 线性阶段ls - 270

      • 行程范围达1016毫米(40“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度150毫米/秒
      • 载重可达150公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)

    • 线性阶段ls - 180

      • 行程范围高达508毫米(20“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度200毫米/秒
      • 载重可达100公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)

    • 线性阶段ls - 120

      • 行程40毫米(1.5“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度90毫米/秒
      • 载重可达10公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)

    • 线性阶段ls - 110

      • 行程范围高达305毫米(12“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度90毫米/秒
      • 载重可达10公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)

    • 精密线性级pl -85

      • 行程可达155毫米(6“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度100毫米/秒
      • 载重可达10公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性范围

  • 线性阶段-生态

    • 线性阶段vt - 75

      • 行程范围可达600毫米
      • 单向重复性可达±0.4µm
      • 最大速度100毫米/秒
      • 载重可达5公斤
      • 集成的限位开关

    • 翻译阶段vt - 80

      • 行程范围可达300毫米
      • 单向可重复性可达±0.2µm
      • 最大速度20毫米/秒
      • 载重可达5公斤
      • 集成的限位开关

    • 线性阶段ls - 65

      • 行程范围达102毫米(4“)
      • 单向可重复性可达±0.2µm
      • 最大速度10毫米/秒
      • 载重可达2公斤
      • 集成的限位开关
      • 0.4 mm节距可选

  • 线性级-微级

    • 微阶段mts - 65

      • 行程可达52毫米(2“)
      • 单向可重复性可达±0.1µm
      • 最大速度8毫米/秒
      • 载重可达2公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性范围

    • 微阶段mts - 70

      • 行程范围8mm
      • 单向可重复性可达±0.1µm
      • 最大速度7毫米/秒
      • 载重可达2公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性范围

    • 线性阶段LS-40

      • 行程可达52毫米
      • 单向可重复性可达±0.1µm
      • 最大速度15毫米/秒
      • 集成的限位开关
      • 高分辨率

  • 线性级-提升

    • 纳米精密升降台NPE-200

      • 行程13毫米(1/2”)
      • 单向重复性可达±0.025µm
      • 最大速度0.2毫米/秒
      • 载重可达30公斤
      • 集成的限位开关
      • 集成线性刻度(中心安装)

    • 提升阶段
      es - 82

      • 行程13毫米(1/2”)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度0.1毫米/秒
      • 载重可达2公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性范围

    • 超精密升降台up -120

      • 行程13毫米(1/2”)
      • 单向重复性可达0.05µm
      • 最大速度6毫米/秒
      • 载重可达15公斤
      • 集成光限位开关
      • 可选:线性比例(中心安装)

    • 提升阶段
      es - 100

      • 行程范围可达26毫米(1“)
      • 单向重复性可达±0.05µm
      • 最大速度20毫米/秒
      • 载重可达5.5公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)
      • 请求时更高的负载

  • 线性级-推杆

    • 微致动器MA-35

      • 行程52毫米(2”)
      • 单向重复性可达±0.5µm
      • 最大速度100毫米/秒
      • 力最大。200牛
      • 集成的限位开关
      • 高分辨率

    • 微推杆mp - 20b

      • 行程范围可达76毫米(3”)
      • 单向重复性可达0.3µm
      • Max。10毫米/秒的速度
      • 力125牛
      • 集成限位开关(大厅)

    • 微推进器MP-20

      • 微型推杆与两相步进或直流电机
      • 旅行范围:
        13,26,52或76毫米
      • 分辨率100海里,
        最大速度。15毫米/秒
      • 力量:马克斯。120牛
      • 集成的限位开关
      • 高分辨率
      • 可选真空10-9mbar及其他材质

    • 微推进器MP-15

      • 行程范围可达12.7毫米
      • 单向可重复性可达±2µm
      • 最大速度0.16毫米/秒
      • 力最大。10 N
      • 集成的限位开关
      • 可以选择不同的接口，比如M6

  • 线性阶段-扫描

    • 交叉阶段cs - 430

      • 行程范围350x300毫米
      • 单向可重复性可达±0.1µm
      • 最大速度100毫米/秒
      • 载重可达30公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性刻度(中心安装)

    • 扫描表MS-8

      • 旅行范围
        205mm (8") x205mm (8")
      • 单向可重复性可达±0.25µm
      • 最大速度60毫米/秒
      • 载重可达4公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性范围
      • 透明孔径205 × 205毫米

    • 扫描表MS-4

      • 旅行范围
        102毫米(4")x76毫米(3")
      • 单向可重复性可达±0.25µm
      • 最大速度90毫米/秒
      • 载重可达3公斤
      • 集成的限位开关
      • 可选:线性范围
      • 光圈100mm

    • kt - 120扫描表

      • 旅行范围
        26毫米(1")x26毫米(1")
      • 单向可重复性可达±2µm
      • 最大速度3.5毫米/秒
      • 载重可达5公斤
      • 集成的限位开关
      • 光圈45mm

    • 跨级MCS

      • 行程范围102毫米x 102毫米(4“)
      • nav单向可重复性可降至0.1µm
      • 最大速度200毫米/秒
      • 装载能力可达20公斤
      • 集成光限位开关
      • navOption:线性范围

  • 旋转阶段

    • 超精密旋转台rp -270 AIR

      • 力矩马达
      • 单向度可降至0.00003°
      • 最大速度360°/秒
      • 载重可达40公斤
      • 综合参考开关
      • 集成的角度范围
      • 高精度空气轴承
      • 自由中心孔直径35mm
      • 离心率±0.07µm
      • 摆动±1.25µrad
      • 选择:洁净室

    • 超精密旋转工作台rp -270

      • 力矩马达
      • 单向可重复性可降至0.00007°
      • 最大速度360°/秒
      • 载重可达40公斤
      • 综合参考开关
      • 集成的角度范围
      • 高精度滚珠轴承
      • 自由中心孔直径60mm

    • 超精密旋转台rp -160 AIR

      • 力矩马达
      • 单向可重复性可降至0.00005°
      • 最大速度360°/秒
      • 载重可达20公斤
      • 综合参考开关
      • 集成的角度范围
      • 高精度空气轴承
      • 自由中心孔直径35mm
      • 平整度和偏心量±0.1µm
      • 摆动±1.25µrad
      • 选择:洁净室

    • 超精密旋转工作台pur -160

      • 力矩马达
      • 单向可重复性可降至0.00008°
      • 最大速度360°/秒
      • 载重可达20公斤
      • 综合参考开关
      • 集成的角度范围
      • 自由中心孔35mm
      • 高精度滚珠轴承

    • 超精密旋转St. rp -120 AIR

      • 高精度空气轴承
      • 力矩马达
      • 单向可重复性可降至0.00005°
      • 平整度&偏心距±0.1μm
      • 抖动±1.25 μrad
      • 最大速度360°/秒
      • 负载能力可达20公斤(顶部安装在中心)
      • 集成光学基准开关
      • 自由中心孔直径35mm
      • 集成的角度范围

    • 超精密旋转工作台rp -120

      • 高精密轴承
      • 力矩马达
      • 单向可重复性可降至0.00008°
      • 平整度和偏心度±3 μm
      • 摆动±25 μrad
      • 最大速度360°/秒
      • 负载能力可达20公斤(顶部安装在中心)
      • 集成光学基准开关
      • 自由中心孔直径35mm
      • 集成的角度范围

    • 超精密旋转工作台rp -100

      • 力矩马达
      • 单向可重复性可降至0.00008°
      • 最大速度360°/秒
      • 载重可达2公斤
      • 综合参考开关
      • 集成的角度范围
      • 自由中心孔直径20毫米

    • 精密旋转舞台
      prs - 200

      • 单向的可重复性
      • 下降到±7.627E-5°
      • 最大速度150°/秒
      • 载重可达50公斤
      • 综合参考开关
      • 可选:角范围
      • 透明孔径120 mm
      • 预加载蜗杆驱动器为零反弹

    • 精密旋转台PRS-110

      • 单向的可重复性
      • 降到±0.0002°
      • 最大速度200°/秒
      • 载重可达10公斤
      • 综合参考开关
      • 可选:角范围
      • 光圈35mm
      • 预加载蜗杆驱动器为零反弹

    • 旋转阶段dt - 65n

      • 单向可重复性可降至±0.002°
      • 最大速度60°/秒
      • 载重可达3公斤
      • 综合参考开关
      • 光圈25mm
      • 预加载蜗杆驱动器为零反弹

    • 旋转舞台RS-40

      • 单向可重复性可降至±0.005°
      • 最大速度7°/秒
      • 载重可达2公斤
      • 综合参考开关
      • 光圈20mm
      • 蜗轮传动
      • 精确、平滑
      • 连续360°运动

      • 旋转阶段dt - 80

        • 单向度可达±0.01°
        • 最高时速45°/秒
        • 载重可达2公斤
        • 综合参考开关
        • 透明孔径40mm
        • 旅行范围360°，无穷无尽

      • 旋转台dt - 80r

        • 单向度可达±0.01°
        • 最大速度1100°/秒
        • 载重可达2公斤
        • 综合参考开关
        • 透明孔径40mm
        • 旅行范围360°，无穷无尽

      • 旋转舞台DT-50

        • 单向度可达±0.015°
        • 最大速度4000°/秒
        • 载重可达1公斤
        • 综合参考开关
        • 光圈20mm
        • 旅行范围360°，无穷无尽

      • 旋转舞台DT-34

        • 最大速度24°/秒
        • 载重可达0.4 kg
        • 综合参考开关
        • 清光圈12.7 mm
        • 旋转范围360°，无止尽
        • 螺纹安装1/2英寸UNC
        • 紧凑的设计

      • 测角仪wt - 120

        • 单向可重复性可降至±0.0002174°
        • 最高时速60°/秒
        • 载重可达20公斤
        • 集成的限位开关
        • 可选:角范围
        • 硬化蜗轮传动
        • 精确、平稳连续的90°运动

      • 测角仪wt - 90

        • 单向度可达±0.0005°
        • 最大速度30°/秒
        • 载重可达8公斤
        • 集成的限位开关
        • 可选:角范围
        • 硬化蜗轮传动
        • 精确、平稳连续的90°运动
        • 和WT-120一起旋转一个中心

      • 测角仪wt - 100

        • 单向度可达±8.72E-5°
        • 最大速度15°/秒
        • 载重可达2公斤
        • 集成的限位开关
        • 可选:角范围
        • 透明孔径60 × 25毫米
        • 精密、平稳连续10°运动

      • 测角仪wt - 85

        • 单向度可达±0.0001208°
        • 最大速度15°/秒
        • 载重可达2公斤
        • 集成的限位开关
        • 可选:角范围
        • 透明孔径30mm
        • 精密、平稳连续10°运动
        • 和WT-100一起有一个旋转中心

      • 滤光轮afw - 65

        • 最大速度360°/秒。
        • 综合参考开关
        • 多达6个过滤器
        • 光圈25mm

    • 压电阶段

      • 线性压电阶段LPS-65

        • 压电驱动惯性电机
        • 行程可达52毫米(2“)
        • 单向重复性可达0.025µm
        • 最大速度10毫米/秒
        • 载重可达1公斤
        • 编码器分辨率5 nm
        • 集成线性范围

      • 线性压电阶段LPS-45

        • 压电驱动的步进电机与亚纳米。
        • 行程范围可达26毫米(1“)
        • 单向重复性可达0.050µm
        • 最大速度10毫米/秒
        • 载重可达1公斤
        • 编码器分辨率2nm
        • 集成线性范围

      • 线性压电阶段LPS-23

        • 压电驱动的亚纳米步进电机…
        • 行程范围可达26毫米(1“)
        • 单向重复性可达0.020µm
        • 最大速度10毫米/秒
        • 载重可达0.2公斤
        • 编码器分辨率2nm
        • 可选综合线性刻度

    • 手工阶段

      • 线性阶段apt - 65

        • 行程范围25mm
        • 载重30kg
        • 鸽尾滑
        • 模块组合

      • 线性阶段avt - 65

        • 行程范围5毫米
        • 30毫米光圈
        • 鸽尾滑
        • 模块组合

      • 交叉阶段akt - 65

        • 行程范围5毫米XY
        • 载重4kg
        • 鸽尾滑
        • 30毫米光圈
        • 模块组合

      • 线性阶段APT-38

        • 行程范围5毫米
        • 透明孔径30mm
        • 中心承重能力5公斤
        • 鸽尾滑
        • 模块组合

      • 交叉阶段akt - 120

        • 行程范围25毫米XY
        • 载重4kg
        • Cross-roller-bearings
        • 45毫米透明孔径
        • 螺旋测微计

      • 海拔阶段出去- 65

        • 行程范围25毫米
        • 25毫米光圈
        • 载重3kg
        • 线性轴承
        • 模块组合

      • 线性阶段amt - 120

        • 行程范围可达50毫米
        • 透明孔径56 mm
        • 中心承重20公斤
        • Crossed-roller轴承
        • 特别,钢化铝

      • 线性级AMT-65 C

        • 行程范围25mm
        • 载重16kg
        • Crossed-roller轴承
        • 模块组合

      • 线性级amt - 65s

        • 行程范围25mm
          载重16kg
        • Crossed-roller轴承
        • 模块组合

      • 线性阶段AVT-54

        • 行程范围25mm
        • 承重能力1公斤
        • 球引导系统
        • 千分尺间距，0.5毫米
        • 模块组合

      • 旋转阶段adt - 65

        • 光圈25mm
        • 预加载蠕虫驱动器为零反弹
        • 高精度四点轴承
        • 精确、平稳连续360°运动，无穷无尽
        • 重量可达3公斤
        • 模块组合

      • 旋转阶段adt - 80

        • EcoLine轻量化结构
        • 透明孔径40mm
        • 旅行范围360°，无穷无尽
        • 双列滚珠轴承
        • 重量可达1公斤
        • 模块组合

    • MAC PhotonX

      • Albatros®

      • 迄今为止，在光学和激光技术中使用光学机械结构系统是科学家和工程师实验室研究和开发的必要条件。
        Albatros®系统光学高度为65毫米，用于支持和简化科学实验室和工业中的光学系统和激光系统的布局。自1991年以来，世界各地的许多实验室建立了这个系统的精确和方便的组件。Albatros®组件的简单使用和适应性，甚至对其他系统解释了市场上的持续成功。

      • Moskito®

      • 该行业被迫缩小其产品的尺寸，以达到传统设备的极限。因此，PI miCos决定提供一个小型化的光机械系统，包括所有必要的组件，以支持科学家和工程师的工作。1“(25.4毫米)的光学高度和有用的高精度组件使小型系统布局在短时间内时间表和合理的价格成为可能。

      • 校园®

      • 激光在各种研究领域、工业、医学以及最终在许多日常生活产品中的使用，要求大学、技术高中和职业学校对激光技术学生进行合格的教育和培训。这些机构由PI miCos解决，由PI miCos开发的一系列教育激光套件，以支持和提高实用激光培训。在这个产品线的7个激光培训系统的主题光学基础，激光基础，激光计量，光纤和电信，激光材料加工，和激光应用。除了这些产品外，PI miCos还为制定合适的激光课程、设计实验室和设备选择提供支持，并为完整的激光培训设施提供概念。最后但并非最不重要的是，所有实验系统的培训课程都在你们所在的地方举行。