- 提供配置文件
- PI miCos专注于微纳米定位、光子学和激光技术领域的创新系统和组件。
我们提供一系列完整的标准产品以及用于教育和研究的实验套件。
产品组合
真空和冷冻
- 由于技术只能应用于真空和低温，真空和低温应用变得越来越重要。14年来，PI miCos已将其广泛的真空和低温经验应用于运动技术领域。我们提供真空水平从10-3毫巴到10-9毫巴的组件和系统。我们的大多数标准产品在设计时考虑了真空应用，使我们能够轻松地将我们广泛的工作台转换为真空兼容。我们还应用我们的真空专业知识来完成交钥匙系统解决方案。
真空:为了指定必要的真空水平，分析应用是很重要的。光学镀膜、外延镀膜或晶体镀膜在必要的真空水平和质谱等方面不同。通常重要的不是10-6或10-9毫巴的一般真空水平，而是碳氢化合物的分压。由于使用错误的具有较高蒸汽压的润滑脂或使用塑料，这些碳氢化合物可能成为表面污染的来源。特别是在紫外线范围内的激光应用是至关重要的，因为碳氢化合物可以分裂成碎片，这些碎片可以沉积在光学上。材料和处理工艺的选择是最终获得正确真空阶段的最重要的要点
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低真空
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- 准备类别
- 标准电机
- 标准测量系统，如果需要测量系统
- 标准的布线
- 标准插头连接
- 标准限位开关
- 所有铝部件都经过阳极氧化处理
- 不锈钢螺丝
- 所有导向和驱动元件均装有真空润滑脂
- 排气温度最高。+ 50°C
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高真空
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- 准备类别
- 专用真空电机
- 改进的真空测量系统
- 电机和限位开关配有1米长的聚四氟乙烯编织线连接到测试插头
- 带塑料部件的标准限位开关
- 所有铝部分未阳极化
- 不锈钢螺丝
- 所有导向和驱动元件均装有真空润滑脂
- 不使用CuZn合金
- 所有孔都有通风口
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超高真空
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- 准备类别
- 专用真空电机
- 改进的真空测量系统
- 电机和限位开关配有1米长的聚四氟乙烯编织线连接到测试插头
- 无限位开关，但可提供特殊的特高压限位开关
- 所有铝部分未阳极化
- 不锈钢螺丝表面镀银，除M3螺纹外
- 轴承和驱动元件采用硬化不锈钢制造，并配有真空润滑脂
- 不使用CuZn合金
- 不使用塑料，除非与客户协商后有此要求
- 所有的孔都排气(如果可能的话)
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低温
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- 准备类别
- 低温专用真空电机
- 改进的真空测量系统
- 电机和限位开关配有1米长的聚四氟乙烯编织线连接到测试插头
- 无限位开关，但可提供特殊的特高压限位开关
- 所有铝部分未阳极化
- 不锈钢螺丝表面镀银，除M3螺纹外
- 轴承和驱动元件采用硬化不锈钢制造，并配有真空润滑脂
- 不使用CuZn合金
- 不使用塑料，除非与客户协商后有此要求
- 所有的孔都排气(如果可能的话)
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空间应用
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- 准备类别
- 空间操作阶段
- 高冲击和振动载荷
- 真空至10-11毫巴
- 温度范围取决于应用
- 抗辐射能力可达10-6 J/kg
- 把洞里的气体排出，以避免被困气体的口袋
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极端的环境
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- 类别
- 非磁性的
- 气候应用程序
- 洁净室应用
- 户外应用，由电池供电
- 高湿度应用
- 在高磁场下工作
运动控制
- 为了更好地指导您在我们的网站上，我们将主要组运动控制分为以下子组。
采购产品工程系统，控制器，机器人，线性阶段，旋转阶段，压电阶段，手动阶段，附件和附录
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工程系统-低温，特高压真空
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低温/绝对77 k
- 特高压精密旋转台PRS-110的OEM应用
PP-30, 3轴特殊xyz PP-30工作台，适用于开尔文。
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真空洁净室
- 根据应用的不同，零件不进行阳极处理。对于低于10- 7mbar的真空度，所有空腔都进行排气，以消除放气，组件使用特殊的洁净室兼容螺钉(100级)组装。所有阶段都可以配备真空兼容编码器和限位开关。
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特高压真空/闭环
- 线性级ls -10配备Heidenhain线性秤真空在10-10毫巴。导轨和滚珠丝杆由不锈钢制成，使用干式润滑剂。
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低真空
- 5轴系统使用3个VT-80线性级和一个电动AMA-45镜像安装，用于10 -3毫巴真空。
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真空六足
- 该系统由一个HEXAPOD、一个线性平台和一个附加的倾斜平台组成。选择这种特殊的安排是为了在高真空室的有限空间内实现最大的行程范围。该应用是天文学超导高频探测器(远红外，FIR)的角度依赖特性。
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hv的六足
- 这种HEXAPOD是为检查真空10 -9毫巴中使用的镜子而开发的。这种HEXAPOD配备了线性编码器，使用户能够实现超精确定位。
工程系统-纤维
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SpaceFAB SF-3000 PS(压电)部件。我
- SpaceFAB SF-3000 PS专为真空环境中的应用而设计，其中探针必须在所有六个自由度上对齐。我们已经最小化了整体尺寸。SpaceFAB SF-3000 PS基于LPS-30级，可通过压电惯性驱动和闭环缩放系统实现最高分辨率。
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SpaceFAB SF-3000 PS(压电)部件。2
- XY方向的最大行程范围为12.7 mm，垂直位移仅为2mm;中心负荷可达0.5公斤。枢轴点，即探头的中心，可以由客户设置，这对多种应用非常重要。该系统是基于PI miCos运动服务器，包括所有的…
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SpaceFAB高压
- 定制SpaceFAB真空10-7毫巴，温度范围- 0°C至+80°C。6个自由度。使用SpaceFAB SF-3000 BS(真空)，所有六个自由度都可以移动，而无需额外的定位元件。移动平台的低重量允许高度动态定位。采用无预紧力，设计…
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高分辨率x射线/光谱仪
- 5米长的软x射线光谱仪，用于同步辐射束线，用于共振x射线发射光谱和共振非弹性x射线散射，在00-1600 eV能量范围内。5轴先进x射线发射光谱仪安装在旋转平台上，允许散射角度。
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SpaceFAB HV同步加速器
- 该7轴定位系统由LS-110和定制设计的Sp ceFA组成，用于动态测量。为了达到要求的精度，要求高刚度和重复性。枢轴点可以通过软件设置——在这种情况下，对于调节柏林BESSY II的x射线单反射透镜很重要。
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纤维排列
- 图中所示的光纤对准系统是我们定制系统的一个例子。它的设计目的是将两个光纤阵列连接到一个中央波导组件。组件的对齐分几个步骤实现。
工程系统空气轴承
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缩微胶片扫描仪
- 作为Fraunhofer物理测量技术IPM研究所组织的Millenium项目的项目合作伙伴，PI miCos获得了开发非常快速和恒定的转换阶段的任务。这个项目的目标是开发一种在单色胶片上存储模拟和数字数据的功能性照排机。
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空气轴承
- 测试和校准系统。空气轴承直线轴，行程范围600毫米。该系统用于高精度线性秤的测量，需要一个具有优化精度(最小俯仰、偏航和滚转角)的定位台。该系统由一块精密研磨的花岗岩板和一个铝载体组成。
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长期稳定-尖端倾斜
- 带有NPE-200的倾斜仰角系统。
这三轴系统用于制造光学零件，需要最高的长期稳定性。
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纳米机器人
- PI miCos是一家领先的定位供应商
用于纳米技术应用的系统。我们的组件和系统专为苛刻的应用而设计，如激光技术、医疗应用、空间探索、精密传感器和许多其他具有挑战性的应用领域。
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昆虫
- 六足系统的运动在所有六个
自由度是可以实现的。由于HEXAPODS的平行运动设计原则，比传统的堆叠级获得了更高的系统刚度。移动平台的低重量允许高度动态定位过程。
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薄膜分析
- 薄膜质量控制的高精度轴系。使用线性UPM-160工作台，该应用实现了0.5µm/100 mm的直线度，两个轴的重复性小于25 nm。
工程系统晶圆检查
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电子检验
- 交钥匙系统采用MT-65线性级和一个SMC控制器，包括一个视觉系统来测量印刷电路板。
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多轴标准/组合
- 具有共同旋转中心的DT-80堆栈，用于实现电动万向节安装。虹膜隔膜与DT-80
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传感器校准
- 左:两轴旋转系统安装在DT-120旋转台与谐波驱动。
右图:xyz定位系统，4个自由度，使用PLS- 5和DT-50。
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Multiaxex标准/组合
- 左图:HT-90仰角台，两个WT-100和WT- 5测角仪加上一个ARS-65旋转台，具有共同的旋转中心。
右:手动VT- 0级，线性刻度。
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球扫描
- LUCIA BalScan是一种弹道识别系统，可用于常规子弹和弹壳扫描和
比较工作。它也可以用于建立中央数据库和为弹道实验室联网。
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检测传感器测量
- 3轴检测系统。这3轴定位系统是为检查小光学部件定制开发的，非常适合于反射和透射光学显微镜的任务。XY调整使用MS-8扫描阶段与8“旅行范围。MT- 5线性舞台安装在花岗岩支架上，可以调整CCD的焦点。
工程系统气候，UV应用
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南极定位
- 旋转台ADT-65适合垂直和水平使用。它可以轻松地与系统中的其他PI miCos组件一起配置。
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气候室定位
- 气候室6轴系统，用于测量汽车工业中-50°C至80°C的传感器。测试单元使用6轴系统进行定位。在XYZ的行程范围是50毫米，旋转是360°或10°。线性轴提供小于0.1 μ m的分辨率，旋转轴小于0.0015°。对于这个任务，只有标准定位…
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晶片检查
- 3轴定位系统，UPS-150直线电机工作台用于XY和PLS- 5用于传感器定位。系统采用SMC-Pegasus控制器。
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精密光学生产
- xyz系统由lms - 10级采用直线电机和dmc系列控制器组成。我们还设计了多达50个机动轴的系统，包括激光器、传感器和软件。
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自动对焦台
- 医学工程聚焦轴
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用于uv激光/应用的xy级
- uv激光器OEM应用。微型MTS-70是为空间要求有限的真空应用而开发的。驱动由一个特殊的微步进无齿轮步进电机组成。如果需要高定位精度和重复性(0.1µm)， MTS-70。
控制器
- 为了更好地指导您浏览我们的网站，我们将控制组划分为以下子组。
控制器2011，微步，线性/扭矩，伺服，压电和放大器
-
控制器-控制器2012
-
MMC-100 / 110系列
-
-
- PI miCos粘滑压电集成控制器/驱动器
- 紧凑、模块化设计
- 可作为一个独立的单元或堆叠多达99
- 开环/闭环操作
- 开环分辨率小于1nm
- 闭环分辨率取决于编码器..
- A四B差分编码器反馈
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DeltaTau-series Geobrick /限幅器
-
-
- 4轴或8轴同时控制(0.1 ms更新t.)
- 80mhz CPU可选240mhz
- 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
- 多任务处理最多256个运动和64个异步..
- 易于使用的高级编程语言
- 线性，圆形，快速，b样条，厄米样条互插。
- 真正的s曲线加速/减速的颠簸限制剖面
控制器- Microstep
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SMC
技术信息
-
- Kyfeatures描述SMC家族
- 开环图分辨率100nm, 25nm和10nm
- 闭环图分辨率100nm, 25nm和10nm
- 开环，定位错误
- 开环;定位修正
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SMC-series
SMC乌鸦座
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- 2轴或3轴微步进控制系统
- High-Resolution-Microstep
- 48 vbus-voltage
- 133 MHz RISC处理器，带闪存
- 速度范围<0.1 μ m/s…45 / s牧师(200步进电动机)
- 正交编码器的闭环(RS-422)
- 和sin-cos编码器(1Vpp)
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SMC-series
SMC乌鸦生态
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- 2轴或3轴微步进控制系统
- High-Resolution-Microstep
- 24 V母线电压
- 133 MHz RISC处理器，带闪存
- 速度范围< 0.1 μ m/s…15 rev/s(标准)
- 25 rev/s(速度升级)(200步进电机)
- (RS-422)和(1Vpp)闭环
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SMC-series
SMC coruvs pci
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- 12v PC
- PCI插件板与机载微步p.a p。
- 电机电源12v (PC电源)，或其他选择24v
- 通过PCI-Com-bridge，保证软件
- 兼容SMC乌鸦和SMC乌鸦生态
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SMC-series
SMC铯榴石
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- 单轴微步进控制系统
- 独立系统，或与integ。2 ph值。步进m . .
- High-Resolution-Microstep
- 最多可组合16个SMC污染物…
- DSP控制器类型
- 串行接口RS-232 19200波特
- 新的闭环1 Vpp接口，…
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SMC-series
水螅CM
-
-
- 2轴微步进控制系统
- High-Resolution-Microstep
- 24 V母线电压
- 带绝对编码器的闭环(多圈)
- 闭环增量编码器1Vpp
- 串行接口RS-232 460 KBaud
- 以太网10/ 100mbit
-
SMC-series
SMC hydra TT
-
-
- 2轴微步进控制系统
- High-Resolution-Microstep
- 24 V母线电压
- 带绝对编码器的闭环(多圈)
- 闭环增量编码器1Vpp
- 串行接口RS-232 460 KBaud
- 以太网10/ 100mbit
-
SMC-series
SMC金牛座
-
-
- 模拟操纵杆端口
- 手动手轮口
- SPS /输出
- Limit-switch-inputs
- 允许输入
- 无潜在的紧急联系人
- 闭环(RS-422)和(1Vpp)
-
SMC-series
SMC珀加索斯
-
-
- 模拟操纵杆端口
- 手动手轮口
- SPS /输出
- Limit-switch-inputs
- 允许输入
- 无潜在的紧急联系人
- 闭环(RS-422)和(1Vpp)
-
SM-series
SM 32
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- 三轴微步控制系统
- Microsteps降至1/64(软件配置)
- PCI插件板与机载微步p.a p。
- ast pci插槽通信
- 最大36w。功率，每轴1.8 A
- 32位步进计数器
- 点对点，梯形和3轴轮廓
-
DMC系列DMC以太网/RS-232
-
-
- 外形:PCI-PC插槽和外部19英寸机架
- 在DMC PCI-eco和Accelera中可用
- 可用在DMC以太网/RS232
- 轴数1…8
- 闭环
- 线性插值
- 圆形的插值
- 轮廓线独立
-
deltatau系列土工砖/快刀
-
-
- 4轴或8轴同时控制(0.1 ms更新t.)
- 80mhz CPU可选240mhz
- 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
- 多任务处理最多256个运动和64个异步..
- 易于使用的高级编程语言
- 线性，圆形，快速，b样条，厄米样条互插。
- 真正的s曲线加速/减速的颠簸限制剖面
-
FlexMotion-series
734 x
-
-
- 步进伺服四轴控制器(NI)
- 实时CPU，机载多任务实时…
- 闭环控制…
- 62µs PID环路更新速率…
- 正交编码器或模拟反馈
- 32个数字I/O线，4个模拟输入/输出
- 高速位置捕获输入
控制器-线性/扭矩
-
SMC-series
水螅CM
-
-
- 2轴微步进控制系统
- High-Resolution-Microstep
- 24 V母线电压
- 带绝对编码器的闭环(多圈)
- 闭环增量编码器1Vpp
- 串行接口RS-232 460 KBaud
- 以太网10/ 100mbit
-
SMC-series
SMC hydra TT
-
-
- 2轴微步进控制系统
- High-Resolution-Microstep
- 24 V母线电压
- 带绝对编码器的闭环(多圈)
- 闭环增量编码器1Vpp
- 串行接口RS-232 460 KBaud
- 以太网10/ 100mbit
-
SMC-series
SMC金牛座
-
-
- 模拟操纵杆端口
- 手动手轮口
- SPS /输出
- Limit-switch-inputs
- 允许输入
- 无潜在的紧急联系人
- 闭环(RS-422)和(1Vpp)
-
SMC-series
SMC珀加索斯
-
-
- 模拟操纵杆端口
- 手动手轮口
- SPS /输出
- Limit-switch-inputs
- 允许输入
- 无潜在的紧急联系人
- 闭环(RS-422)和(1Vpp)
-
LMC-series
lmc - 100
-
-
- 单轴伺服控制2相电刷电机
- 2和3相无刷电机，线性和转矩m。
- rs - 232 interf。1轴CANopen，多轴CANopen
- SimpllQ编程语言
- 上编程
- 单轴点对点
- RS-232和1Vpp反馈
-
deltatau系列土工砖/快刀
-
-
- 4轴或8轴同时控制(0.1 ms更新t.)
- 80mhz CPU可选240mhz
- 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
- 多任务处理最多256个运动和64个异步..
- 易于使用的高级编程语言
- 线性，圆形，快速，b样条，厄米样条互插。
- 真正的s曲线加速/减速的颠簸限制剖面
控制器-伺服
-
LMC-series
lmc - 100
-
-
- 单轴伺服控制2相电刷电机
- 2和3相无刷电机，线性和转矩m。
- rs - 232 interf。1轴CANopen，多轴CANopen
- SimpllQ编程语言
- 上编程
- 单轴点对点
- RS-232和1Vpp反馈
-
MoCo-series
墨客直流
-
-
- 单轴直流控制系统
- 成本效益，独立控制器
- 最多可组合16个MoCo DC
- LM629同步伺服控制器
- 位置比较输出(≤1 kHz)
- 带PID滤波
- LabVIEWTM活力
-
DMC-series
DMC以太网/ rs - 232
-
-
- 外形:PCI-PC插槽和外部19英寸机架
- 在DMC PCI-eco和Accelera中可用
- 可用在DMC以太网/RS232
- 轴数1…8
- 闭环
- 线性插值
- 圆形的插值
- 轮廓线独立
-
DeltaTau-series
土工砖/剪刀
-
-
- 4轴或8轴同时控制(0.1 ms更新t.)
- 80mhz CPU可选240mhz
- 以太网TCP/IP, USB和RS-232通信接口。
- 多任务处理最多256个动作和64个异步。
- 易于使用的高级编程语言
- 线性，圆形，快速，b样条，厄米样条互插。
- 真正的s曲线加速/减速的颠簸限制剖面
-
FlexMotion-series
734 x
-
-
- 步进伺服四轴控制器(NI)
- 实时CPU，机载多任务实时…
- 闭环控制…
- 62µs PID环路更新速率…
- 正交编码器或模拟反馈
- 32个数字I/O线，4个模拟输入/输出
- 高速位置捕获输入
控制器-压电
-
MMC-100 / 110系列
-
-
- 集成控制器/驱动器
PI miCos粘滑压电
- 紧凑、模块化设计
- 可作为一个独立的单元或堆叠多达99
- 开环/闭环操作
- 开环分辨率小于1nm
- 闭环分辨率取决于编码器。
- 四B差分编码器反馈
-
皮科33
-
-
- 特殊的设计
用于压电驱动步进电机
- 键盘或RS-232手动控制
- 使用电池或外部电源
- 最多可操作3个轴
- 定制的设计
- usb接口可选(不带键盘)
- USB闭环控制器(可选)
-
PiCo 33 USB
-
-
- 特殊的设计
用于压电驱动步进电机
- 最多可操作3个轴
- 定制的设计
- usb接口(不带键盘)
- USB闭环控制器
-
PMA-100压电电机放大器
-
-
- 单轴压电电机
(惯性或粘滑)驾驶员
- 直接与步进电机控制器接口
- 标准脉冲和方向接口
- 典型的开环步长分辨率
1.5 nm
- 典型的最大速度为3毫米/秒
- 无需设置或调整
- 包括通用电源
控制器-放大器
-
-
MPA功率放大器
-
-
- 直流电刷2a
- 直流电刷5a
- 2SM微步24v 2a
- 三相无刷24v 5a
- 直流电刷12v 1a
- 三相直线/力矩电机
- 压电电机驱动器(PMA-100)
机器人
- 为了更好地指导我们的网站，我们将机器人组分为以下几个子组:
真空，机器人2011,SpaceFAB &六足
-
机器人-真空
-
SpaceFAB sf - 3000bs HV
-
-
- 六轴微型机器人系统
- 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
- 行程范围线性50 x 12.7 x 100毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
- 负载能力3公斤，中心安装
- 轴心点可由客户设定
- 包括软件、控制器和放大器
-
SpaceFAB SF-3000 BS特高压
-
-
- 六轴微型机器人系统
- 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
- 行程范围线性50 x 12.7 x 100毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
- 负载能力3公斤，中心安装
- 轴心点可由客户设定
- 包括软件、控制器和放大器
-
六足PAROS HV
-
-
- 六轴并联机器人操作系统
- 行程范围线性200 x 200 x 80毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry 30°，Rz 60°
- 最大速度30毫米/秒(腿速)
- 空间重复性±30µm
- 高刚度
- 包括软件、控制器和放大器
机器人-机器人2011
-
昆虫hp - 550
-
-
- 六轴并联运动系统
- 行程范围线性(XYZ) 100x100x100毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry 40°，Rz 60°
- 最大速度1毫米/秒
- 高刚度
- 轴心点的随机定义
- 中心负载能力(垂直/ Fz) 50公斤
-
昆虫hp - 140
-
-
- 六轴并联运动系统
- 行程范围线性32 × 32 × 12毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry 12°，Rz 20°
- 最大速度1毫米/秒
- 轴心点可由客户设定
- 用户友好的软件
- 负载能力中心(Fx;Fy) 2kg / (Fz) 5kg
机器人技术- SpaceFAB
-
SpaceFAB SF-3000 BS
-
-
- 六轴微型机器人系统
- 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
- 行程范围线性50 x 12.7 x 100毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
- 负载能力3公斤，中心安装
- 轴心点可由客户设定
- 包括软件、控制器和放大器
-
SpaceFAB SF-3000 LS
-
-
- 六轴微型机器人系统
- 紧凑，低轮廓系统，滚珠丝杠
- 行程范围线性50 x 12.7 x 50毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry, Rz 10°
- 负载能力1kg中心安装
- 轴心点可由客户设定
- 包括软件、控制器和放大器
-
SpaceFAB SF-2500 LS
-
-
- 带有控制器和软件的SpaceFAB系统
- 范围:5x5x3.5mm， +/- 5°各
- 计算分辨率:0.5µm和10µm
- 负载0.3公斤
- 选择:真空，其他尺寸
会在10-2009年上市吗
机器人技术-六足机器人
-
昆虫hp - 140
-
-
- 六轴并联运动系统
- 行程范围线性32 × 32 × 12毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry 12°，Rz 20°
- 最大速度1毫米/秒
- 轴心点可由客户设定
- 用户友好的软件
- 负载能力中心(Fx;Fy) 2kg / (Fz) 5kg
-
昆虫hp - 550
-
-
- 六轴并联运动系统
- 行程范围线性(XYZ) 100x100x100毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry 40°，Rz 60°
- 最大速度1毫米/秒
- 高刚度
- 轴心点的随机定义
- 中心负载能力(垂直/ Fz) 50公斤
-
昆虫hp - 430
-
-
- 六轴并联机器人操作系统
- 行程范围线性50x50x30毫米
- 行程范围旋转Rx, Ry 20°，Rz 40°
- 最大速度30毫米/秒(腿速)
- 空间重复性±5µm
- 高刚度
- 高动态
-
昆虫hp - 300
-
-
- 带有控制器和软件的六足系统
- 范围:30x30x15mm，每个20°
- 计算分辨率:1µm和10µm
- 负载5公斤
- 选择:真空、无尘室
线性阶段
- 为了让大家对我们的网站有更好的指导，我们进行了分组线性阶段在下面的子组中。
真空，超，直接，精密，生态，微，提升，推手，扫描
线性级-真空
-
-
特高压参考型号PLS-85
-
-
- 行程范围可达155毫米(6”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度8[15]毫米/秒
- 最高速度4毫米/秒[特高压-无润滑]
- 负载能力可达6[7]公斤
- 陶瓷金[特高压]限位和参考开关
- 塑料限位和参考开关[HV]
- 可选光学线性编码器真空类型
- d型连接器和引线
线性阶段-超
-
超精密直线电机级UPS-150
-
-
- 直线电机
- 行程范围可达305毫米(12”)
- 单向重复性可达±0.015µm
- 最高速度600毫米/秒
- 负载能力可达15公斤
- 集成限位开关
- 集成线性秤(中心安装)
- 长期稳定性高
-
超精密线性工作台UPM-160
-
-
- 行程范围可达205毫米(8”)
- 单向重复性可达±0.02µm
- 最高速度100毫米/秒
- 载重能力可达35公斤
- 载重能力可达35公斤
- 集成线性秤(中心安装)
-
直线电机级LMS-230
-
-
- 行程范围可达xx mm (x”)
- 单向重复性可达±0.0xµm
- 最大速度x00毫米/秒
- 载重能力可达xx公斤
- 载重能力可达xx公斤
- 集成线性秤(中心安装)
-
纳米精密仰角级NPE-200
-
-
- 行程范围13毫米(1/2”)
- 单向重复性可达±0.025µm
- 最大速度0.2毫米/秒
- 负载能力可达30公斤
- 集成限位开关
- 集成线性秤(中心安装)
-
超高精密仰角级upt -120
-
-
- 行程范围13毫米(1/2”)
- 单向重复性可达0.05 μ m
- 最大速度6毫米/秒
- 负载能力可达15公斤
- 集成光限位开关
- 可选:线性秤(中心安装)
线性阶段-直接
-
超精密级UPS-150
-
-
- 直线电机
- 行程范围可达305毫米(12”)
- 单向重复性可达±0.015µm
- 最高速度600毫米/秒
- 负载能力可达15公斤
- 集成限位开关
- 集成线性秤(中心安装)
- 长期稳定性高
-
直线电机级LMS-230
-
-
- 行程范围可达xx mm (x”)
- 单向重复性可达±0.0xµm
- 最大速度x00毫米/秒
- 载重能力可达xx公斤
- 载重能力可达xx公斤
- 集成线性秤(中心安装)
-
直线电机级LMS-180
-
-
- 直线电机
- 行程范围可达508毫米(20”)
- 单向重复性可达±0.03 μ m
- 最高速度500毫米/秒
- 负载能力可达45公斤
- 集成限位开关
- 集成线性秤(中心安装)
-
直线电机级LMS-80
-
-
- 直线电机
- 行程120毫米
- 单向重复性可达±0.03 μ m
- 最高速度500毫米/秒
- 负载能力可达5公斤
- 集成限位开关
- 综合线性标度
-
线性电机级LMS-60
-
-
- 直线电机
- 行程范围可达65毫米
- 单向重复性可达±0.03 μ m
- 最高速度500毫米/秒
- 负载能力可达3公斤
- 集成限位开关
- 综合线性标度
线性工作台-精度
-
高精度级HPS-170
-
-
- 行程范围可达305毫米(12”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度90毫米/秒
- 载重能力可达35公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
-
线性级LS-270
-
-
- 行程范围可达1016毫米(40”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度150毫米/秒
- 负载能力可达150公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
-
线性级LS-180
-
-
- 行程范围可达508毫米(20”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度200毫米/秒
- 负载能力可达100公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
-
线性级LS-120
-
-
- 行程范围40毫米(1.5“)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度90毫米/秒
- 负载能力可达10公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
-
线性级LS-110
-
-
- 行程范围可达305毫米(12”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度90毫米/秒
- 负载能力可达10公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
-
精密线性工作台PLS-85
-
-
- 行程范围可达155毫米(6”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最高速度100毫米/秒
- 负载能力可达10公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性比例
线性舞台-生态
-
线性VT-75级
-
-
- 行程范围可达600毫米
- 单向重复性可达±0.4 μ m
- 最高速度100毫米/秒
- 负载能力可达5公斤
- 集成限位开关
-
VT-80翻译阶段
-
-
- 行程范围可达300毫米
- 单向重复性可达±0.2µm
- 最大速度20毫米/秒
- 负载能力可达5公斤
- 集成限位开关
-
线性级LS-65
-
-
- 行程范围可达102毫米(4”)
- 单向重复性可达±0.2µm
- 最大速度10毫米/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成限位开关
- 可选0.4 mm节距
线性阶段-微观
-
微舞台MTS-65
-
-
- 行程范围可达52毫米(2”)
- 单向重复性可达±0.1 μ m
- 最大速度8毫米/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性比例
-
微舞台MTS-70
-
-
- 行程范围8毫米
- 单向重复性可达±0.1 μ m
- 最大速度7毫米/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性比例
-
线性级LS-40
-
-
- 行程范围可达52毫米
- 单向重复性可达±0.1 μ m
- 最大速度15毫米/秒
- 集成限位开关
- 高分辨率
线性阶段-提升
-
纳米精密仰角级NPE-200
-
-
- 行程范围13毫米(1/2”)
- 单向重复性可达±0.025µm
- 最大速度0.2毫米/秒
- 负载能力可达30公斤
- 集成限位开关
- 集成线性秤(中心安装)
-
提升阶段
es - 82
-
-
- 行程范围13毫米(1/2”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度0.1毫米/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性比例
-
超高精密仰角级upt -120
-
-
- 行程范围13毫米(1/2”)
- 单向重复性可达0.05 μ m
- 最大速度6毫米/秒
- 负载能力可达15公斤
- 集成光限位开关
- 可选:线性秤(中心安装)
-
提升阶段
es - 100
-
-
- 行程范围可达26毫米(1”)
- 单向重复性可达±0.05µm
- 最大速度20毫米/秒
- 负载能力可达5.5公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
- 请求负载更高
线性阶段-推动者
-
微驱动器MA-35
-
-
- 行程范围52毫米(2”)
- 单向重复性可达±0.5µm
- 最高速度100毫米/秒
- 力最大。200牛
- 集成限位开关
- 高分辨率
-
微型推手MP-20 B
-
-
- 行程范围可达76毫米(3”)
- 单向重复性可达0.3 μ m
- Max。速度10毫米/秒
- 力125 N
- 综合限位开关(大厅)
-
微型推手MP-20
-
-
- 微推器与两相步进或直流电机
- 旅行范围:
13,26,52或76mm
- 分辨率100nm和
最大速度。15毫米/秒
- 力量:马克斯。120牛
- 集成限位开关
- 高分辨率
- 可选:真空至10-9mbar及其他物料
-
Micro Pusher MP-15
-
-
- 行程范围可达12.7毫米
- 单向重复性可达±2µm
- 最大速度0.16毫米/秒
- 力最大。10 N
- 集成限位开关
- 选择不同的接口，如M6
线性阶段-扫描
-
交叉级CS-430
-
-
- 行程范围350x300毫米
- 单向重复性可达±0.1 μ m
- 最高速度100毫米/秒
- 负载能力可达30公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性刻度(中心安装)
-
扫描表MS-8
-
-
- 旅行范围
205毫米(8”)x 205毫米(8”)
- 单向重复性可达±0.25 μ m
- 最大速度60毫米/秒
- 负载能力可达4公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性比例
- 清晰孔径205 x 205毫米
-
扫描表MS-4
-
-
- 旅行范围
102毫米(4”)x 76毫米(3”)
- 单向重复性可达±0.25 μ m
- 最大速度90毫米/秒
- 负载能力可达3公斤
- 集成限位开关
- 可选:线性比例
- 透明孔径100mm
-
扫描表KT-120
-
-
- 旅行范围
26毫米(1”)x 26毫米(1”)
- 单向重复性可达±2µm
- 最大速度3.5毫米/秒
- 负载能力可达5公斤
- 集成限位开关
- 透明孔径45mm
-
计量跨级MCS
-
-
- 行程范围102毫米x 102毫米(4”)
- 单向重复性低至0.1 μ m
- nav最大速度200mm /秒
- 导航载重能力可达20公斤
- 导航集成光限位开关
- navOption:线性缩放
旋转阶段
-
超精密旋转台upr270 AIR
-
-
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00003°
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达40公斤
- 集成参考开关
- 积分角标度
- 高精度空气轴承
- 自由中心孔直径35mm
- 偏心距±0.07µm
- 摆动±1.25 μ rad
- 选择:洁净室
-
超精密旋转台upr270
-
-
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00007°
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达40公斤
- 集成参考开关
- 积分角标度
- 高精度滚珠轴承
- 自由中心孔直径60毫米
-
超高精密旋转台upr160 AIR
-
-
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00005°
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达20公斤
- 集成参考开关
- 积分角标度
- 高精度空气轴承
- 自由中心孔直径35mm
- 平面度及偏心距±0.1 μ m
- 摆动±1.25 μ rad
- 选择:洁净室
-
超精密旋转台UPR-160
-
-
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00008°
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达20公斤
- 集成参考开关
- 积分角标度
- 自由中心孔35mm
- 高精度滚珠轴承
-
超精密旋转St. UPR-120 AIR
-
-
- 高精度空气轴承
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00005°
- 平面度及偏心距±0.1μm
- 摆动±1.25 μrad
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达20公斤(中心安装，顶部)
- 集成光基准开关
- 自由中心孔直径35mm
- 积分角标度
-
超精密旋转台upr120
-
-
- 高精密轴承
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00008°
- 平面度及偏心距±3 μm
- 摆动±25 μrad
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达20公斤(中心安装，顶部)
- 集成光基准开关
- 自由中心孔直径35mm
- 积分角标度
-
超精密旋转台UPR-100
-
-
- 力矩马达
- 单向重复性可达0.00008°
- 最大速度360°/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成参考开关
- 积分角标度
- 自由中心孔直径20毫米
-
精密旋转台
prs - 200
-
-
- 单向的可重复性
- 下降到±7.627E-5°
- 最大速度150°/秒
- 负载能力可达50公斤
- 集成参考开关
- 可选:角尺度
- 透明孔径120mm
- 预装蜗杆驱动器为零间隙
-
精密旋转台PRS-110
-
-
- 单向的可重复性
- 低至±0.0002°
- 最大速度200°/秒
- 负载能力可达10公斤
- 集成参考开关
- 可选:角尺度
- 透明孔径35mm
- 预装蜗杆驱动器为零间隙
-
旋转级DT-65 N
-
-
- 单向重复性可达±0.002°
- 最大速度60°/秒
- 负载能力可达3公斤
- 集成基准开关
- 透明孔径25mm
- 预装蜗杆驱动器为零间隙
-
旋转级RS-40
-
-
- 单向重复性可达±0.005°
- 最大速度7°/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成基准开关
- 透明孔径20mm
- 蜗轮传动
- 精确、平滑
- 连续360°运动
-
旋转级DT-80
-
-
- 单向重复性可达±0.01°
- 最大速度45°/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成基准开关
- 透明孔径40mm
- 旅行范围360°，无穷无尽
-
旋转级DT-80 R
-
-
- 单向重复性可达±0.01°
- 最大速度1100°/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成参考开关
- 透明孔径40mm
- 旅行范围360°，无穷无尽
-
旋转级DT-50
-
-
- 单向重复性可达±0.015°
- 最高速度4000°/秒
- 负载能力可达1公斤
- 集成基准开关
- 透明孔径20mm
- 旅行范围360°，无穷无尽
-
旋转级DT-34
-
-
- 最大速度24°/秒
- 负载能力可达0.4公斤
- 集成基准开关
- 透明孔径12.7毫米
- 旋转范围360°，无穷无尽
- 螺纹安装1/2英寸UNC
- 紧凑的设计
-
测角仪wt - 120
-
-
- 单向重复性可达±0.0002174°
- 最大速度60°/秒
- 负载能力可达20公斤
- 集成限位开关
- 可选:角尺度
- 硬质蜗轮传动
- 精确，平稳连续90°运动
-
测角仪wt - 90
-
-
- 单向重复性可达±0.0005°
- 最大速度30°/秒
- 负载能力可达8公斤
- 集成限位开关
- 可选:角尺度
- 硬质蜗轮传动
- 精确，平稳连续90°运动
- 与WT-120一起一个旋转中心
-
测角仪wt - 100
-
-
- 单向重复性可达±8.72E-5°
- 最大速度15°/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成限位开关
- 可选:角尺度
- 清晰孔径60 x 25毫米
- 精确，平稳连续10°运动
-
测角仪wt - 85
-
-
- 单向重复性可达±0.0001208°
- 最大速度15°/秒
- 负载能力可达2公斤
- 集成限位开关
- 可选:角尺度
- 透明孔径30mm
- 精确，平稳连续10°运动
- 与WT-100一起一个旋转中心
-
滤轮AFW-65
-
-
- 最大速度360°/秒。
- 集成参考开关
- 多达6个过滤器
- 透明孔径25mm
压电阶段
-
线性压电级LPS-65
-
-
- 压电驱动惯性电机
- 行程范围可达52毫米(2”)
- 单向重复性可达0.025 μ m
- 最大速度10毫米/秒
- 负载能力可达1公斤
- 编码器分辨率5 nm
- 综合线性标度
-
线性压电级LPS-45
-
-
- 压电驱动步进电机与亚纳米..
- 行程范围可达26毫米(1”)
- 单向重复性可达0.050 μ m
- 最大速度10毫米/秒
- 负载能力可达1公斤
- 编码器分辨率2 nm
- 综合线性标度
-
线性压电级LPS-23
-
-
- 压电驱动步进电机与亚纳米…
- 行程范围可达26毫米(1”)
- 单向重复性可达0.020 μ m
- 最大速度10毫米/秒
- 负载能力可达0.2 kg
- 编码器分辨率2 nm
- 可选集成线性刻度
手工阶段
-
线性级APT-65
-
-
- 行程范围25毫米
- 载重30公斤
- 鸽尾滑梯
- 模块组合
-
线性级AVT-65
-
-
- 行程范围5毫米
- 30毫米透明孔径
- 鸽尾滑梯
- 模块组合
-
交叉阶段的AKT-65
-
-
- 行程范围5毫米XY
- 载重4kg
- 鸽尾滑梯
- 30毫米透明孔径
- 模块组合
-
线性级APT-38
-
-
- 行程范围5毫米
- 透明孔径30mm
- 中心负载能力5公斤
- 鸽尾滑梯
- 模块组合
-
交叉阶段的AKT-120
-
-
- 行程范围25毫米XY
- 载重4kg
- Cross-roller-bearings
- 45mm透明孔径
- 螺旋测微计
-
提升级AHT-65
-
-
- 行程范围25毫米
- 25毫米透明孔径
- 载重3kg
- 线性轴承
- 模块组合
-
线性级AMT-120
-
-
- 行程范围可达50毫米
- 透明孔径56毫米
- 中心负载能力20公斤
- Crossed-roller轴承
- 特殊的钢化铝
-
线性级amt - 65c
-
-
- 行程范围25毫米
- 载重16kg
- Crossed-roller轴承
- 模块组合
-
线性级AMT-65 S
-
-
- 行程范围25毫米
载重16kg
- Crossed-roller轴承
- 模块组合
-
线性级AVT-54
-
-
- 行程范围25毫米
- 载重1kg
- 球导系统
- 微米间距，0.5毫米
- 模块组合
-
旋转级ADT-65
-
-
- 透明孔径25mm
- 预装蜗杆驱动器为零反弹
- 高精度四点轴承
- 精确、流畅的连续360°运动，无穷无尽
- 载重可达3公斤
- 模块组合
-
旋转级ADT-80
-
-
- EcoLine轻量化结构
- 透明孔径40mm
- 旅行范围360°，无穷无尽
- 双列滚珠轴承
- 载重可达1公斤
- 模块组合
MAC PhotonX
-
-
Albatros®
-
- 到目前为止，光学和激光技术的光学机械结构系统在科学家和工程师的实验室中进行研究和开发是必要的。
Albatros®系统的光学高度为65毫米，旨在支持和简化科学实验室和工业中的光学系统和激光系统的布局。自1991年以来，世界各地的许多实验室都建立了该系统的精确和方便的组件。信天翁®组件的易于使用和适应性，甚至适用于其他系统，解释了在市场上的持续成功。
-
Moskito®
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- 该行业被迫将其产品缩小到传统设备达到极限的尺寸。因此，PI miCos决定提供一个具有所有必要组件的微型化光机械系统，以支持科学家和工程师的工作。1英寸(25.4毫米)的光学高度和有用的高精度组件使小系统布局在短时间内和实惠的价格成为可能。
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校园®
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- 激光在各种研究领域、工业、医学以及最终在日常生活中的许多产品中的使用，要求大学、技术高中和职业学校对学生进行合格的激光技术教育和培训。这些机构由PI miCos解决，PI miCos开发的教育激光套件系列支持和改进实际激光培训。在这个产品线中，7个激光培训系统的主题是光学基础、激光基础、激光计量、光纤和电信、激光材料加工和激光应用。除了这些产品外，PI miCos还为激光课程的制定、实验室的设计和设备选择提供建议，并提供完整的激光培训设施的概念。最后但并非最不重要的是，所有实验系统的培训课程都在“地点”和您的现场举行。
