Zygo公司是设计和制造先进光学测量系统和超精密光学元件和组件的全球领导者。
我们的使命是通过提供超越预期的创新精密光学和计量解决方案，使客户获得成功。
ZYGO由以下小组组成:
光学计量是一种非常通用的实验室检查工具，在质量和设计意图的验证中发挥着重要作用。今天，它已经成为计量解决方案的“首选”，得益于它是非接触的，非破坏性的，快速的，高灵敏度的，并具有特殊的分辨率和准确性。
ZYGO的3D光学剖面仪能够实现精确的、定量的、符合iso标准的非接触式表面测量和微观和纳米尺度表面特征的表征，在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。应用范围从地形和波纹到样品的粗糙度和微结构表征，从超光滑的亚埃光学表面，到极其粗糙和弥漫的3D打印表面。
选择合适的光学剖面仪系统取决于您的应用需求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
ZeGage™Pro和ZeGage™Pro HR 3D光学轮廓仪提供多种类型表面的微纳米尺度特征的非接触式测量和表征，确保您的制造环境中的质量控制和过程监控。
我们行业领先的ZeGage pro系列为台式工业非接触式表面轮廓仪的性能、易用性、灵活性和精度设定了标准。基于ZYGO的专有CSI技术，ZeGage Pro提供了创新的技术，实现了精确、可靠、简单和自信的表面测量。
独家功能包括用于振动鲁棒计量的SureScan™技术、零件查找器和用于简化零件设置和优化测量的智能设置。测量各种各样的表面和零件从来没有这么简单，快速和容易。
主要特点:
NewView™9000 3D光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓中具有强大的多功能性。有了该系统，可以方便快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式。所有的测量都是无损的，快速的，不需要样品准备。
该系统的核心是ZYGO的相干扫描干涉测量(CSI)技术，该技术在所有放大倍率下都能提供亚纳米级的精度，与其他商业化技术相比，可以更快、更精确地测量更广泛的表面，从而优化您的投资回报。
主要特点:
Nexview™NX2 3D光学剖面仪专为最苛刻的应用而设计，将卓越的精度、先进的算法、应用灵活性和自动化结合到一个包中，代表了ZYGO最先进的相干扫描干涉(CSI)剖面仪。
这种完全非接触式技术通过在所有放大倍率下提供亚纳米级的精度，并比其他商业化的同类技术更快、更精确地测量更大范围的表面，优化了投资回报。Nexview NX2的应用范围包括平面度、粗糙度和波纹度、薄膜、台阶高度等，几乎适用于任何表面和材料，Nexview NX2确实是一款不妥协的剖面仪。
作为最新一代旗舰，Nexview NX2提供了广泛的差异化功能，旨在使用户的计量更好，更快，更可靠:
您是否需要精确、高速、非接触式表面计量和检测?您是OEM制造商还是系统集成商，希望与经验丰富的领先公司合作以确保您的成功?ZYGO的3D光学剖面仪是一种完全可集成的解决方案，具有长期成功的生产集成历史。
我们拥有数十年与OEM制造商合作的经验，为先进的制造应用提供关键的在线计量、检验和过程控制服务。服务的主要行业包括:
现在，您可以在具有挑战性的环境条件下满足最严格的精密计量标准。我们的Guardian™外壳将计量核心与周围环境隔离，因此无论何时何地，您都可以获得最佳性能。由ZYGO专门为我们的光学剖面仪设计和建造，Guardian™外壳是为了执行和持久而建造的。
该系统被设计成一个独立的单元，可以站着或坐着操作。所有的用户界面外设都可以定位和调整。一个大的正面开口使装载和卸载测试零件和夹具的任务简单和高效。该单元的室内照明也方便地照亮了工作区域。为了便于使用，单元周围还提供了访问面板。
Nexview™650计量系统是一种自动测量注塑模具，pcb，玻璃板和其他需要扩展工作量高达650 x 650毫米的样品的检测工具。它提供了各种表面特征的2D和3D测量，具有亚纳米的垂直精度和亚微米的横向精度。
强大的性能
相干扫描干涉测量技术(CSI)是Nexview™650系统的核心测量技术。
这种非接触技术提供了高精度和高价值的表面测量优点，包括:
ZYGO的Compass™测量系统为离散微透镜和模具的自动化、非接触式3D表面测量和过程控制奠定了基准，这些微型成像系统非常关键，如汽车视觉系统和智能手机和平板电脑的相机。
Compass™系统有两种型号，根据您的计量需求。
ZYGO激光干涉仪支持并实现从半导体和光刻到星载成像系统、尖端消费电子、国防相关红外和热成像系统和眼科等行业中最苛刻的计量应用。
在选择干涉仪时，有许多因素需要考虑——主要是它将被用来测量什么以及它将在其中工作的环境。ZYGO提供了一系列干涉仪，从成本效益高的生产水平到针对困难环境优化的仪器，以及用于中空间频率表征的最高分辨率商用干涉仪。请参阅下面的最新仪器、技术和能力，以及我们服务的应用和行业。
Verifire™干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和传输波前。
一个真正的激光Fizeau设计，Verifire™系统扩展了ZYGO在表面形状测量方面无与伦比的经验。ZYGO制造的HeNe激光源结合了ZYGO的专利采集算法和功能齐全的Mx™计量软件，实现了高精度计量和易于使用的分析功能
近年来，光学计量技术有了长足的发展。在过去，为了获得可靠的测量结果，需要仔细控制环境影响。今天，ZYGO提供的技术可以在恶劣的环境中实现可靠的测量，在这些环境中，振动和空气湍流会使传统光学测量变得困难或不可能。
动态计量…自信:最高水平的表现。可靠的计量，即使在极端振动和空气乱流。
新型ZYGO DynaFiz动态激光干涉仪是一种高度优化的光学仪器，专门设计用于在空气湍流和极端振动存在下进行精确的光学测量。
DynaFiz®干涉仪的光学系统的高光效率，结合其长寿命，高功率，HeNe激光源，使操作在高相机快门速度“冻结”振动。这种动态能力在对传统的时间相移技术来说过于激烈的环境中提供了可靠的计量。
DynaFiz®动态干涉仪中的低噪声、高分辨率相机和光学放大功能能够清晰地显示测试工件表面的中空间频率特性。
光学系统测试还可以受益于DynaFiz®干涉仪的独特功能及其捕获实时数据的能力。LivePhase™采集提供实时Zernike反馈，用于主动监测光学系统的对准。该功能是电影模式的基础，它将大量动态图像组合成一个电影剪辑，提供了光学或系统如何随时间变化的历史。
新!QPSI™耐振动采集现在是DynaFiz干涉仪的标准。控制你的计量与任何水平的振动。QPSI允许比动态采集更快的振动鲁棒测量，不需要校准或腔体变化。
DynaFiz®干涉仪的独特功能和无与伦比的多功能性，从您的计量投资中获得最大的收益。您可以信赖的可靠性，只来自ZYGO。
主要特点:
ZYGO公司的Verifire™HD干涉仪系统可对平面或球面进行快速高分辨率测量，并可对光学元件和组件进行传输波前测量。干涉式空腔长度被精确调制，同时高速摄像机捕捉到一些条纹图像，软件对这些图像进行分析，生成被测试部件的高度详细测量结果。
中空间频率特征再也无法隐藏了。Verifire HD系统拥有高分辨率的摄像头和优化的光学设计，可以可靠地测量过去难以识别的表面特征。此外，Mx™软件包提供了通过强大的功率谱密度(PSD)和衍射模拟工具量化中空间频率内容的设施。
QPSI技术消除了由磨削和抛光设备、电机、泵、鼓风机和人员等常见振动源引起的纹波和相位噪声，这意味着您可以直接在生产车间使用Verifire HD系统，而无需费心和花费安装隔振台。
QPSI采用强大的新型专利激光器和高帧率摄像头。不需要校准或特殊设置。对菜单选项的简单更改可以启用/禁用QPSI技术。
Verifire™MST采用波长移动激光器和专利数据采集方法，可以同时测量透明光学的前后表面、厚度变化(包括楔)和简单的两步均匀性测量，无需复杂的零件制备或杂乱的涂层。
Verifire™MST多重表面测试激光干涉仪系统提供光学元件和透镜系统的表面形状和传输波前的高精度测量。这是唯一的商业干涉仪系统，可以测量多个表面-用一次测量。
其他重要的能力包括测量光学材料的均匀性和总厚度变化(TTV)，以及测量厚度小于1毫米的平面玻璃。该体系除标准波长633 nm外，还可提供1.064 m、1.053 m和1.55 m三种波长，用于近红外和短波红外材料和体系的鉴定。
verisfire™MST干涉仪采用了创新和差异化的技术，包括ZYGO的专利傅里叶变换相移干涉仪(FTPSI)和波长移动技术。这些技术使其有别于其他所有技术，使其非常适合最具挑战性的应用，如测量平面平行光学元件，其中多次反射常常使传统的移相干涉仪混淆。
Verifire MST系统的分辨技术使您能够自信地测量光学透镜的前后表面、内腔和厚度变化—所有这些都在一次测量中完成。不需要特殊的校准、部件设置或表面准备。所有数据都由ZYGO的用户友好的Mx™软件自动收集和分析，该软件可提供任何或所有测量表面的详细分析。
在系统设计波长下的测试对于最终的对准和确认是至关重要的。ZYGO提供一系列的干涉仪，用于测试光学系统和材料的工作波长，从近红外到SWIR, MWIR和LWIR -包括光学参考和附件。
光学成像的应用广泛而多样。在系统的设计波长进行测试对于最终的对准和确认是至关重要的，夜视、红外和热成像系统用于航空航天和国防、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料的确认代表了广泛不同的波长要求，所有都受益于红外干涉仪系统的设计波长测试。
ZYGO，长期以来被公认为干涉测量测试仪器的世界领导者，设计和建造了许多专门配备的干涉仪系统，包括近红外，SWIR, MWIR和LWIR波长。ZYGO还为这些波长设计和制造参考光学阵列(传输球体和传输平面)。
除了特定的波长要求外，许多光学测试应用必须在振动和空气湍流极端恶劣的环境中进行。这些环境影响会使精确计量变得困难甚至不可能。ZYGO开发了独特的采集技术，可以在这些苛刻的环境中进行可靠的测量，并可用于所有的近红外、SWIR和MWIR干涉仪。
verisfire™XL干涉仪是一种独立的工作站，设计用于直径达12英寸(300毫米)的大型平面的简单而可靠的测量。例子包括前表面反射镜、窗户和半导体晶圆片或晶圆夹头。
这种完全集成的系统使用方便，具有重型尖端/倾斜工作台，提供可重复的零件放置，而不需要定制固定。紧凑的占地面积，内置的隔振，需要最小的生产楼层空间。
Verifire XL系统包含ZYGO的专利QPSI™采集技术，可以在存在振动的情况下进行可靠的高精度测量。QPSI能够实现真正的轴上表面形状计量，不会因典型的生产振动而退化。
verfirexl系统中的高性能传动装置对重力下垂的敏感度最小，并包含一个完整的校准文件，以实现最佳的系统精度。
ZYGO的水平轴大孔径系统提供了独特的能力，以维持两个独立的计量腔;一个是公称干涉仪孔径(4”)，另一个是四个光束膨胀器直径(12”，18”24”和32”)中的一个选择。当配置了适当的附件，大孔径系统可以用来测量表面形式和传输波前质量。
大孔径系统包括…
大孔径系统组件可以从干涉仪主机中单独购买。联系您当地的ZYGO代表协助配置系统，以满足您的计量需求。
ZYGO的Verifire VTS是一种专门建造的球形光学干涉仪工作站。垂直向上的工作站可以通过重力工作来保持测试部件到位，从而实现快速取放测量。集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了坚固的计量平台，即使在生产环境中也能达到峰值性能。移动距离为1米的电动z级工作台能够快速自动放置测试部件，以及点对点的曲率半径。
VTS与一系列干涉仪主机兼容，选择适合您的生产或开发需要的性能水平。紧凑的占地面积可带或不带带光幕运动联锁的安全外壳，满足CE机器的安全要求。
立式工作站套件使垂直方向干涉仪的灵活性在一个简单的成本效益的包。查看激光干涉仪附件指南，了解有关配置和可用选项的更多信息。
ZYGO位置传感器广泛应用于闭环运动控制系统中，主要用于光刻和检测工具分级系统。我们在位移位置传感器方面的创新已经超过30年，我们与要求最高精度和可靠性的应用紧密合作。我们的应用专家团队已经准备好，能够帮助您解决您的职位计量需求。
激光
ZMI™激光器提供高度稳定的双频输出，为高精度位置测量提供了坚实的基础。这些激光器基于稳健的氦氖技术，具有高可靠性，并被用作仪表的标准定义。
干涉仪
ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量场景。大多数干涉仪可以支持直通式或直角测量方向，并可制造在真空中工作。
测量电子
测量电子学利用激光源驱动的干涉仪发出的光信号计算位移。我们的专利循环误差校正选项自动和无缝地消除DMI系统固有的常见非线性错误。
ZYGO的新型ZPS™系统使用超紧凑的光学传感器测量绝对位置，很容易集成到高精度应用中，如变形镜和镜头定位。
光学传感器系统提供多达64个同步通道的高精度，非接触式，绝对位置测量范围超过1.2毫米。测量分辨率为0.01 nm，测量稳定性≤1 nm/天。
光学传感器不产生热量，对电磁干扰不敏感，使ZPS系统成为可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑的传感器通过光纤连接到紧凑的集中机箱。ZYGO的免费ZPS™软件提供了ZPS系统和您的计算机之间的即插即用连接，允许您快速、轻松地启动和运行您的系统。
ZPS系统通常用于闭环反馈系统，需要来自多个传感器的连续高精度位置数据流来补偿漂移，并保持精确的定位和对准。该系统还可以作为RD&E和制造环境中的工具，用于校准测试夹具或量化动态机械性能。
单击下面的每个缩略图，查看示例应用程序的插图。
凭借超过30年的经验，ZYGO的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一，提供持续运行和卓越的性能。ZYGO是位移传感器的市场领导者，为闭环伺服控制提供OEM反馈。目前生产中的半导体和平板制造和过程控制工具依赖ZYGO传感器，以提供大批量制造环境所需的精度和可靠性。
我们的ZMI™位移测量干涉仪传感器用于测量这些系统中的线/掩膜和晶圆级的相对运动到纳米级。我们的模块化组件可以配置为您的特定应用程序提供所有必要的自由度，以实现成功的纳米级运动控制。单个ZMI激光头能够测量2到22轴之间的测量，允许在所有轴上进行完全同步测量。
作为您在运动控制方面的合作伙伴，您可以期待ZYGO在那里支持您的持续系统改进，并为您的下一代需求提供前进的路径。
ZPS™提供了多达64个小型传感器的大规模并行排列，可直接测量镜子或其他光学元件的前后表面，允许您重建表面变形，以获得最佳的像差校正。这使得实时的光学现场监测与闭环控制可以保持形状或确定变形。
反射镜的形状会因热负荷、执行机构漂移或机械蠕变而无意地改变。某些自适应光学应用无法在不中断操作或影响光学系统性能的情况下监测光学性能。其他可能的解决方案要么不实际，要么不够快速有效。输入它™。
ZPS的高可重复绝对位置意味着你能够存储已知的良好变形状态，并动态驱动到这些状态，实现快速调整光学配置，并避免通常涉及的缓慢迭代过程。
应用实例
随着技术的进步，表面的制造需要严格的控制，对表面纹理的高精度测量变得更加迫切。当谈到粗糙度测量时，有3个重要因素:测量表面，处理数据，报告结果。
测量表面
测量表面具有足够的精度是关键，以确保您的粗糙度值是准确的。ZYGO的3D光学剖面仪系统通过SmartSetup™技术等易于使用的功能，可以快速、简单地收集精确的数据，只需单击一个按钮即可找到焦点，调整测量参数，并进行测量。
数据分析
对于任何粗糙度测量，原始数据都需要处理或过滤，以将粗糙度从表面的波纹和形状中分离出来。ZYGO的Mx™软件可以轻松过滤你的表面与iso兼容的过滤。
光学系统(如望远镜、照相机镜头和激光系统)的性能取决于系统内光学元件的质量。从侧视图看，许多平面光学元件看起来完全平行，但两边之间通常有一些楔子。在非常精确的系统中，了解窗户的楔度是至关重要的。
有多种非接触方法来测量楔形或平行度。自准直仪是光学工业中常用的设备。当光穿过光楔时，光束会发生一定角度的偏转，δ，这是由玻璃的折射率定义的，n，以及玻璃的机械楔角，α．计算公式如下:δ = 2(n-1)·α．
虽然这种方法是有用的，但结果的准确性和可重复性取决于有熟练的操作员。也有必要有一个目标镜是平坦的λ/4或更好，以确保返回的图像是足够好的聚焦。除了干涉仪所具有的所有测量功能外，它还可以在特定条件下测量窗口的楔形。
ZYGO激光干涉仪是测量和表征光学元件和系统的强大和精确的仪器。其中最常见的应用包括曲率半径的测量。曲率半径是球面光学表面的基本参数和功能参数，在制造过程中需要对球面的质量进行控制。
干涉仪通常是光学制造商的首选解决方案，因为它们具有关键属性和优势，包括:
球面的曲率半径通常是用相位测量干涉仪确定的，以确定在最佳拟合球面(共焦)和曲率中心(猫眼)的零位测试光学。一个线性导轨提供这些位置之间的运动，一个或多个位移传感器被用来记录猫眼和共焦位置之间的距离，因此，曲率半径。
透射波前误差(TWE)是用来衡量光通过时光学元件的性能的。
与表面形状测量不同，透射波前测量包括来自前后表面、楔形和材料均匀性的误差。总体性能的这个指标可以更好地理解光学设备的实际性能。
虽然许多光学元件都是根据表面形状或TWE规格进行单独测试的，但这些元件不可避免地会被构建成更复杂的光学组件，具有各自的性能要求。在某些应用中，依靠组件的测量和公差来预测最终性能是可以接受的，但对于要求更高的应用，重要的是测量组件的建成。
TWE测量用于确认光学系统是按规格建造的，并将发挥预期的功能。此外，TWE测量可用于主动对齐系统，减少装配时间，同时确保实现预期性能。
在许多应用中，薄膜和涂层的沉积和控制对设备的功能或效率至关重要，包括消费电子、半导体、光学等。这种先进的器件通常需要精确的薄膜形貌和层厚的表征，以确保高质量和性能。
基于非破坏性、非接触式区域光学技术(CSI -相干扫描干涉术)，我们多功能和精确的3D测量仪器和传感器可以测量不同地形和层厚的透明表面，从50纳米到150微米，面积从微米到毫米。
制造出来的表面可以有多种形状和大小。对于形状表征至关重要的表面，ZYGO激光干涉仪和3D光学剖面仪在非接触面数据的亚纳米重复性方面表现突出。将形状和平面度的行业标准合并到Mx™分析软件中，创建了一个单站测量工具，用于表面检测。探索以下曲面形状和平面度测量应用的解决方案。
形状计量学可以概括为表面相对于基本形状的绝对或相对测量。ZYGO产品涵盖了一般应用，如球体和圆柱体，使用标准产品进行现成的测量，以及专业应用和工具，如非球面或薄玻璃等更复杂的形式。
ZYGO在形状计量方面的应用空间非常广阔，我们的工具也非常灵活。斜角上的半径，棱柱或表面之间的角度，或表面曲率只是几个例子。笛卡尔和旋转对称拟合函数伴随数百万个数据点穿过给定的表面，以确保我们的形式计量的信心。
在ZYGO产品线中，可以通过各种方式进行平面度测量。高质量的传输平面(λ/50)允许ZYGO激光干涉仪测量空间望远镜的平面，直到地面钢表面。Mx™软件通过掠入射测量的方式扩展了超大(大于4到6”)矩形表面的平面度测量应用空间。
带有电动分期的光学轮廓仪克服了小视场测量的拼接和模式移动，以探索和渲染表面的平整度结果。同样，我们的显微镜物镜的工作距离范围允许测量凹腔中的平座和密封。
凭借众多的解决方案和强大的应用空间，ZYGO自豪于自己是表面形状和平面度测量的领导者。了解ZYGO如何满足表面规格，同时超出您的预期。
非球面和自由曲面光学的应用正在增长，通常用于需要改进成像性能和较少光学元件的地方。这些复杂光学系统的设计及其精密制造方法已成为先进光学系统商业化的推动者，用于各种应用，如LED照明、激光束整形、消费电子设备、成像传感器、望远镜、头戴式显示器、相机和光刻步进透镜。
不像传统的曲面光学，表面形状名义上是球形的，非球面和自由曲面表现出典型的复杂，高展弦比，倾斜表面的非对称光学表面。一种将球面、非球面和环面设计成单一零件的自由曲面光学元件，因此对设计、测量和制造具有挑战性。
对于这些类型的复杂表面，精确的计量在制造过程中提供基本的质量控制和反馈起着关键作用。ZYGO激光干涉仪和3D光学剖面仪通过表征和量化关键表面参数，如形状误差、波纹度、缺陷和表面粗糙度，确保制造过程中的质量和过程监控。
与光学表面的触觉测量方法相比，ZYGO干涉仪为更有效的质量控制和良率优化提供了几个关键优势:
光学元件的一个重要特性是制成该元件的材料的折射率的变化，一般称为均匀性。材料的不均匀性导致玻璃的折射率发生变化，这种变化可以以被称为条纹的尖锐的绳状区域的形式出现，也可以以折射率梯度的形式通过样品的更大区域出现。材料指数变化必须是合格的，以确保它们的影响是在特定光学设计的材料使用的容忍范围内。
ZYGO激光干涉仪产品提供了一系列的能力，以确定光学材料的均匀性，以及内置分析在我们的综合Mx数据采集和分析软件。
Verifire MST -多重表面测试干涉仪非常适合通过同时测量窗口的传输波前和去除表面变形的影响(实现精确的材料测量所需)来确定平面平行窗口的材料均匀性。MST测量的同时性降低了测量的不确定度，以获得最精确的结果，并保持了重要的线性成分的同质性，信息丢失与其他计量方法。
Verifire和Dynafiz干涉仪具有与楔形光学类似的测量能力，具有专门为材料均匀性测量设计的采集和分析软件包。
测量表面的体积特性最常用于润滑表面的磨损分析，但也有许多其他应用，如粘附性，孔隙率和颗粒分布。
当涉及到摩擦学研究时，理解和量化磨损疤痕对于理解完整的图像是至关重要的。ZYGO的3D光学轮廓仪系统可以快速从未磨损区域分割出磨损疤痕，从而提供定量指标。一些经常被关注的指标包括:
无效
材料俯卧撑
ZYGO的高精度、多功能、非接触式3D测量系统广泛应用于各行业。我们为许多计量应用提供标准和定制的解决方案，包括表面形状和粗糙度的测量和表征，零件几何形状和尺寸，透射波前和光学性能，透明薄膜和涂层，磨损和体积分析，缺陷和图像分析，等等。
ZYGO在全球范围内为最高精度、先进的应用提供光学窗口。45年来，我们专注于为生活带来最具挑战性的光学设计。ZYGO是您的设计合作伙伴，确保您收到的窗口符合您最严格的规格。
光学窗口是一种经过抛光的材料，在电磁波谱的某些部分是透明的，它允许所需的波谱部分不受改变地进入光学仪器。
ZYGO使用严格控制的制造工艺制造出精密的光学反射镜，使其能够在各种极端环境中可靠地工作。我们的镜子可以在水下、沙漠中、高海拔地区和绕地球运行。我们定制每一面镜子，以满足或超过您的要求。
镜子也可以是轻重量的应用，在重量是关键的应用，如常见的航空航天应用。轻量化是通过机械加工或其他方法从光学元件中去除材料，同时仍然保留镜面的光学性能的过程。
ZYGO的光学业务部门生产直径从50毫米到700毫米，半径从12.7毫米到8米的精密球体和透镜。
我们的传输球体的标准产品线有100毫米和150毫米的透明孔径，范围f-number从f/。65到f/11，波前误差为λ/10或λ/20。我们的新系列Ultrasphere™传输球可在λ/40。各种收敛器和发散器也是我们标准产品线的一部分。我们是一个合格的高激光通量透镜供应商。
现代国防、航空航天和新航天客户需要高性能光学系统，在最大限度地提高光学性能的同时，最小化尺寸、重量和功率(SWaP)。实现苛刻的SWaP要求的一种经过验证的技术是需要轻型光学器件。
轻量化是在保留光学性能的情况下，通过机械加工或其他方法从光学元件中去除材料的过程。这通常是用低膨胀陶瓷和玻璃来完成的，必须特别注意轻量化结构，以确保光学性能和刚性。ZYGO的专家可以帮助我们的合作伙伴设计这些部件的可制造性。
ZYGO为我们的半导体，工业和研究客户提供非传统的玻璃和低膨胀元件和系统，不属于“光学”的传统定义。例子包括用于半导体光刻的轻型晶圆工作台，用于精确定位控制的零膨胀计量参考框架，以及传统的直边镜和参考。我们通常以纳米精度生产这些尺寸高达1.25米的产品(如果需要的话!)
在精密光学领域，ZYGO制造世界一流的平面、非球面和球面，以及精密加工结构。
我们的精密光学团队有超过20名工程师，他们有着杰出的传统。他们的项目经验从用于修理哈勃太空望远镜的非球面光学，到用于当今最苛刻的光刻系统的亚纳米精密EUV光学的开发。无论您是否需要我们开发一个工作范围，建立一个原型系统，或重新设计以提高性能，ZYGO已经准备好接受您最苛刻的光学挑战。