Safran Sensing Technologies挪威
业务资料
自2003年夏天以来一直是Infineon技术的一部分之后，Sensonor从2009年3月1日起回到了与挪威投资者的独立公司一起作为一家独立公司。对于高精度应用。
Sensonor位于挪威奥斯陆以南约100公里处的霍顿（Horten），Sensonor已有25年以上在全球MEMS行业的发展中发挥了重要作用。多年来，已将超过2.5亿台压力传感器，超过2.5亿加速度计和超过200万个陀螺仪运送到客户中，以用于多种类型的应用程序。取得成功的最重要原因可能是客户在Sensonor产品上传递的失败率极低；一千万个零件运输的零件少于1个故障。
Sensonor的基于硅传感器的遗产甚至更远。在六十年代中期，母亲公司AME从压力传感器和加速度计，基于压电微机械硅应变测量值，以及七十年代后期，带有蚀刻的diaphragm硅传感器。
令人印象深刻的世界“第一”清单清楚地表明了为全球客户提供创新解决方案的奉献精神和能力：
飞机发动机控制的第一个MEMS压力传感器（AE880-1985）
安全气囊系统的首个MEMS加速度计（S64A -1987）
下孔井监测的第一个光压传感器（PP05-1990）
首先低成本安全气囊加速度计（SA20-1992）
轮胎压力测量的第一个集成微型系统（SP13-1998）
首次低成本汽车陀螺仪（SAR10-2003）
在过去的十年中，MEMS技术在汽车和消费量应用中发挥了越来越高的作用。与传统技术相比，MEMS的优势优势是显而易见的，并解释了原因：
较低的成本 - 较小的尺寸 - 较低的重量 - 功率更少 - 更强大
与汽车和消费者中的MEMS成功相反，很少有示例MEM在高精度传感应用中发挥重要作用。Sensonor已面临挑战，为使用高精度产品运行的客户带来了相同的能力和可靠的好处。
在90年代初期，Sensonor开发了其三重堆栈密封晶片粘合技术，该技术表现出非常好的长期特性。简而言之，该技术基于微加工的单晶硅和微型加工玻璃晶片的组合。然后，使用阳极键合，将这些晶圆粘合在一起，并通过使用埋在外延硅层下的半导体扩散，从而形成电气连接到粘结腔中。
