本公司生产的高精度定位机广泛应用于化学实验中。它们通过多相驱动DSP 50实现了最高的定位精度,达到了一些纳米的范围,以及极其均匀的运动。光学传感器可以选择性地检测运动,并允许在一些纳米范围内的重复性。
因此,压电惯性驱动器是微/纳米压痕应用和纳米摩擦学实验的理想元件。
例如,最小的定位器MS15是在各种缩进中使用的xyz组合。
化学用产品:
CH30电动机控制器
CU30电动机控制器
我们的高精度定位器和演员用于许多光学,非接触的实验,在物理以及应用
纳米计量。他们提供了亚纳米范围内的所有技术改进定位精度,以及与多相驱动器DSP50极其均匀的运动。光学传感器可以选择性地检测运动,并允许在一些纳米范围内的重复性。
机械领域的压电致动器和纳米计量传感器是各种物理实验的理想定位器。
例如,精密定位器MS30与线性测量系统PS30相连接,可以在延迟线中以最高的精度和可重复性进行光学定位。
用于物理的产品:
CH30控制器
CU30控制器
微型翻译台MS30
这些压电惯性驱动器应用于工业的许多领域,其中部件必须定位在子μ m范围内。
例如,微定位器ms30被用于许多工业激光器的光学定位,甚至在激光器的腔内。
集成计量系统具有纳米级和亚纳米级的分辨率,可通过usb控制器进行闭环操作,在半导体工业中得到广泛应用。
此外,MS15微型定位器可用于SEM显微镜中探针的运动和探针头的粗定位。
生物技术和相关科学的最新进展增加了对高速、高精度定位系统的需求。请继续阅读一些例子。
我们的压电驱动器用于长途旅行,可以用于精确聚焦一个显微镜物镜超过30毫米,他们也可以帮助快速分类细胞。药物筛选应用需要纳米升的配药能力,这也是机械压电致动器的精度和寿命的另一个应用。
扫描光学显微镜是DNA研究的尖端工具之一,如果没有压电定位系统,它是不可实现的。
特别是我们的微定位平台MS30与线性测量系统PS30的组合,为您提供了达到超过50纳米的重复性的可能性。
摩尔定律不断压缩集成电路的线宽和特征尺寸。为了跟上这一趋势,嵌入在前端生产和计量工具中的纳米定位机构和精密运动控制系统必须提供比特征尺寸高10到1000倍的精度。传统的定位系统不能提供所需的稳定性和精度。
mechanics提供多种基于压电的解决方案:从非常紧凑的微型定位器MS15到超高性能的长距离纳米定位压电级MS30。
其他精密运动产品包括用于光束稳定/校正的压电倾斜平台MT25。
PS30系列的光学纳米传感器可以以非常高的带宽测量到纳米范围内的运动。
压电定位系统是纳米技术应用的基本工具。其极高的精度使其成为纳米压印、纳米组装、纳米数据存储和纳米制造等应用领域的重要组成部分。
除了具有长行程范围的微定位器,还设计了先进的压电控制器,提供非常高的带宽,以驱动多相驱动器,如DSP50。
机械压电致动器的行程范围很长,在准静态应用中几乎不需要功率。这执行这些驱动器的工作在真空条件下,可以发现在空间应用或许多新的物理实验。
我们所有的阶段都可以从10真空6mbar 109mbar。与我们的客户合作,也定位设计工作多达10-11年mbar。
机械压电致动器的行程范围很长,在准静态应用中几乎不需要功率。这执行这些驱动器的工作
在极低的温度下——可以在太空应用中找到的条件。
此外,许多新的物理实验中使用了我们的微定位器,可以在氦温度(4K)下进行,以避免布朗运动。
在光学实验中,我们的压电惯性驱动器可用于以下方面。
一方面,您可以通过MS38的线性定位平台调整光学元件,该平台为您提供了一个10毫米的自由孔径,整个行程范围为8毫米。
另一方面,你可以使用压电倾斜平台MT25在一个光路调整光束在两个正交轴非常精确。MT25的收费光学孔径为您提供了使用传输光学的可能性。