Zygo公司是全球领先的先进光学测量系统和超精密光学元件和组件的设计和制造企业。
我们的使命是通过提供超出预期的创新精密光学和计量解决方案，使客户获得成功。
ZYGO由以下小组组成:
光学计量学是一种非常通用的实验室检验工具，在质量和设计意图的验证中起着重要的作用。今天，它已成为“首选”计量解决方案，受益于它是非接触、非破坏性、快速、高灵敏度，并具有卓越的分辨率和准确性。
ZYGO的3D光学轮廓仪仪器能够实现精确、定量、符合iso标准的非接触式表面测量和微纳米尺度表面特征的表征，在短短几秒钟内捕获多达200万数据点。应用范围从地形和波纹到样品的粗糙度和微结构表征，从超光滑的亚埃光学表面到极其粗糙和弥漫的3D打印表面。
选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
ZeGage™Pro和ZeGage™Pro HR 3D光学轮廓仪提供多种类型表面的微纳米尺度特征的非接触式测量和表征，确保制造环境中的质量控制和过程监控。
我们行业领先的ZeGage pro系列为台式工业非接触式表面轮廓仪的性能、易用性、灵活性和精度设定了标准。基于ZYGO专有的CSI技术，ZeGage Pro提供创新技术，实现精确、可靠、简单和自信的表面测量。
独家功能包括用于振动稳健计量的SureScan™技术，零件查找器和简化零件设置和优化测量的智能设置。测量各种各样的表面和零件从来没有这么简单，快速和容易。
主要特点:
NewView™9000 3D光学表面轮廓仪提供了强大的非接触式光学表面轮廓的通用性。通过该系统，可以轻松快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式。所有测量都是无损的，快速的，不需要样品制备。
该系统的核心是ZYGO的相干扫描干涉测量(CSI)技术，该技术在所有放大倍率下都能提供亚纳米精度，并且比其他商用技术更快、更精确地测量更广泛的表面，从而优化您的投资回报。
主要特点:
Nexview™NX2 3D光学剖面仪专为最苛刻的应用而设计，将卓越的精度，先进的算法，应用灵活性和自动化结合到一个单一的包中，代表了ZYGO最先进的相干扫描干涉(CSI)剖面仪。
这种完全非接触式技术通过在所有放大倍率下提供亚纳米精度来优化投资回报，并且比其他商用可比技术更快、更精确地测量更广泛的表面。应用如平面度，粗糙度和波纹度，薄膜，台阶高度等几乎任何表面和材料，Nexview NX2真正是不妥协的轮廓仪。
作为最新一代旗舰产品，Nexview NX2提供了一系列差异化的功能，旨在让用户的计量更好、更快、更可靠:
您是否需要精确、高速、非接触式表面计量和检验?您是OEM制造商或系统集成商，希望与经验丰富的领先公司合作以确保您的成功吗?ZYGO的3D光学剖面仪现在是一种完全可集成的解决方案，具有长期成功的生产集成历史。
我们拥有数十年与OEM制造商合作的经验，为先进制造应用提供关键的在线计量、检测和过程控制服务。主要服务行业包括:
现在，您可以在具有挑战性的环境条件下满足最严格的精密计量标准。我们的Guardian™外壳将计量核心与周围环境隔离，因此您可以在需要时随时随地获得最佳性能。由ZYGO专门为我们的光学轮廓仪设计和建造，Guardian™外壳的建造性能和耐用性。
该系统被设计成一个独立的单元，可以站着或坐着操作。所有用户界面外设都可以定位和调整。一个大的前侧开口，使装卸测试零件和夹具的任务简单，高效。该单元的内部照明也方便地照亮了工作区域。为了方便使用，机组周围还配备了访问面板。
Nexview™650计量系统是一种检测工具，用于自动测量注塑模具，pcb，玻璃面板和其他样品，需要扩展的工作体积高达650 x 650毫米。它提供了亚纳米垂直精度和亚微米横向精度的各种表面特征的2D和3D测量。
强大的性能
相干扫描干涉测量(CSI)是Nexview™650系统的核心测量技术。
这种非接触技术提供了高精度和高价值的表面测量优势，包括:
ZYGO的Compass™测量系统为离散微透镜和模具的自动化、非接触式3D表面测量和过程控制设定了基准，这对紧凑型成像系统(如汽车视觉系统和智能手机和平板电脑的相机)至关重要。
Compass™系统有两种型号，根据您的计量需求。
ZYGO激光干涉仪支持并实现从半导体和光刻到星载成像系统，尖端消费电子产品，国防相关的红外和热成像系统以及眼科等行业中最苛刻的计量应用。
在选择干涉仪时，有许多因素需要考虑——主要是它将被用来测量什么以及它将在其中工作的环境。ZYGO提供一系列干涉仪，从具有成本效益的生产水平到针对困难环境优化的仪器，以及用于中空间频率表征的最高分辨率商用干涉仪。请参阅下面的最新仪器、技术和功能，以及我们所服务的应用程序和行业。
Verifire™干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。
一个真正的激光菲索设计，Verifire™系统扩展了ZYGO在表面形状测量方面无与伦比的经验。ZYGO制造的HeNe激光源与ZYGO的专利采集算法和功能齐全的Mx™计量软件相结合，实现高精度计量，易于使用的分析功能
近年来，光学计量技术有了长足的发展。在过去，为了实现可靠的测量，需要仔细控制环境影响。如今，ZYGO提供的技术可以在恶劣的环境中实现可靠的测量，振动和空气湍流会使传统的光学测量变得困难或不可能。
动态计量…自信:最高水平的表现。可靠的计量，即使在极端振动和空气湍流。
新型ZYGO DynaFiz®动态激光干涉仪是一款高度优化的光学仪器，专门用于在空气湍流和极端振动的情况下进行光学的精确测量。
DynaFiz®干涉仪光学系统的高光效率，结合其长寿命，高功率，HeNe激光源，可以在高相机快门速度下运行，“冻结”振动。这种动态能力在对传统时间相移技术来说过于激烈的环境中提供了可靠的计量。
DynaFiz®动态干涉仪中的低噪声、高分辨率相机和光学放大倍率能够清晰地显示测试工件表面的中空间频率特征。
光学系统测试也可以受益于DynaFiz®干涉仪的独特功能及其捕获实时数据的能力。LivePhase™采集提供实时Zernike反馈，用于主动监测光学系统的对准情况。这种功能是电影模式的基础，它将大量动态图像组合成一个电影剪辑，提供光学或系统随时间变化的历史。
新!QPSI™抗振动采集现在已成为DynaFiz干涉仪的标配。控制你的计量与任何水平的振动。与动态采集相比，QPSI允许更快的振动鲁棒测量，无需校准或改变腔体。
获得最从您的计量投资与独特的功能和无与伦比的多功能性的DynaFiz®干涉仪。您可以信赖的可靠性，只有ZYGO。
主要特点:
ZYGO公司的Verifire™HD干涉仪系统可提供平面或球面的快速高分辨率测量，以及光学元件和组件的透射波前测量。干涉腔长度被精确地调制，同时高速摄像机捕捉到几个条纹图像，软件对这些图像进行分析，以创建被测部件的高度详细测量。
中空间频率特征不能再隐藏了。Verifire HD系统拥有高分辨率摄像头和优化的光学设计，可以可靠地测量过去难以识别的表面特征。此外，Mx™软件包还提供了强大的功率谱密度(PSD)和衍射模拟工具来量化中空间频率含量。
QPSI技术消除了由常见振动源(如研磨和抛光设备、电机、泵、鼓风机和人员)引起的脉动和相位噪声，这意味着您可以在生产车间使用Verifire HD系统，而无需使用隔振台。
QPSI由强大的新型专有激光器和高帧率摄像机实现。不需要校准或特殊设置。简单更改菜单选项就可以启用/禁用QPSI技术。
Verifire™MST采用波长移动激光和专利数据采集方法，可以同时测量透明光学的正面和背面，厚度变化(包括楔形)和简单的两步均匀性测量，而无需困难的零件制备或混乱的涂层。
Verifire™MST多重表面测试激光干涉仪系统提供光学元件和透镜系统的表面形式和透射波前的高精度测量。它是唯一一种可以用一次测量测量多个表面的商用干涉仪系统。
其他重要的能力包括光学材料均匀性和总厚度变化(TTV)的测量，以及薄于1毫米的平面玻璃的测量。除了标准的633 nm波长外，该系统还提供1.064 μ m, 1.053 μ m和1.55 μ m波长，用于近红外和短波红外材料和系统的鉴定。
Verifire™MST干涉仪采用创新和差异化技术，包括ZYGO专利的傅里叶变换相移干涉测量(FTPSI)和波长移动技术。这些技术使其与众不同，使其非常适合于最具挑战性的应用，例如平面平行光学元件的测量，其中多次反射经常使传统移相干涉仪混淆。
Verifire MST系统的差分技术使您能够自信地测量光学系统的前后表面，内部腔和厚度变化-所有这些都是在一次测量中完成的。不需要特殊的校准，零件设置或表面准备。所有数据由ZYGO用户友好的Mx™软件自动收集和分析，该软件可提供任何或所有测量表面的详细分析。
在系统的设计波长进行测试对于最终的校准和鉴定至关重要。ZYGO提供一系列干涉仪，用于在其工作波长下测试光学系统和材料，从近红外到SWIR, MWIR和LWIR -包括光学参考和附件。
光学成像的应用是广泛而多样的。在系统的设计波长进行测试对于最终的校准和鉴定至关重要，用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定代表了广泛变化的波长要求，所有这些都受益于在红外干涉仪系统的设计波长进行测试。
ZYGO长期以来一直被公认为干涉测试仪器的世界领导者，设计和建造了许多专门配备的干涉仪系统，包括近红外，SWIR, MWIR和LWIR波长。ZYGO还为这些波长设计和制造了一系列参考光学器件(传输球和传输平面)。
除了特定的波长要求外，许多光学测试应用必须在振动和空气湍流极端的困难环境中进行。这些环境影响会使精确计量变得困难或不可能。ZYGO开发了独特的采集技术，能够在这些苛刻的环境中实现自信的计量，并适用于所有近红外、SWIR和MWIR干涉仪。
verisfire™XL干涉仪是一款独立工作站，专为直径达12英寸(300毫米)的大型平面进行简单可靠的计量而设计。例子包括前表面反射器，窗户，和半导体晶圆或晶圆卡盘。
这种完全集成的系统易于使用，具有重型尖端/倾斜工作台，可提供可重复的部件放置，而无需定制夹具。紧凑的占地面积，内置隔振，需要最小的生产地板空间。
Verifire XL系统包含ZYGO专利的QPSI™采集技术，可以在振动存在的情况下进行可靠的高精度测量。QPSI能够实现真正的轴上表面形式计量，而不会因典型的生产振动而退化。
verfire XL系统中的高性能传动平面设计对重力凹陷的敏感性最小，并包括一个全区域校准文件，以实现最佳的系统精度。
ZYGO的水平轴大孔径系统提供了独特的能力，以维持两个独立的计量腔;一个是标称干涉仪孔径(4”)，另一个是四个扩束器直径(12”，18”24”和32”)中的一个。当配置适当的附件时，大口径系统可以用来测量表面形状和透射波前质量。
大孔径系统由…
大孔径系统组件可以从干涉仪主机中单独购买。请联系您当地的ZYGO代表，以帮助您配置系统以满足您的计量需求。
ZYGO的Verifire VTS是专门建造的球形光学干涉仪工作站。垂直向上的工作站通过重力工作来保持测试部件到位，从而实现快速取放测量。集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能实现峰值性能。机动z型工作台行程为1米，可快速自动放置测试部件，以及点对点曲率半径。
VTS与一系列干涉仪大型机兼容，选择适合您的生产或开发需求的性能水平。紧凑的占地面积可带或不带安全外壳，带光幕运动联锁，满足CE机器的安全要求。
立式工作站套件使垂直方向干涉仪的灵活性在一个无装饰的成本效益的包。请查看激光干涉仪附件指南，以获得有关配置和可用选项的更多信息。
ZYGO位置传感器广泛应用于闭环运动控制系统，主要用于光刻和检测工具分期系统。30多年来，我们在位移位置传感器领域一直处于领先地位，我们与要求最高精度和可靠性的应用程序密切合作。我们的应用专家团队已经准备好并能够帮助您解决您的位置计量需求。
激光
ZMI™激光器提供高度稳定的双频输出，为高精度位置测量提供了坚实的基础。这些激光器基于可靠的氦氖技术，具有高可靠性，并被用作仪表的标准定义。
干涉仪
ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量场景。大多数干涉仪可以支持直通式或直角测量方向，并可以在真空中工作。
测量电子
测量电子学利用激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。我们专利的循环误差校正选项自动无缝地消除了DMI系统固有的常见非线性错误。
ZYGO的新型ZPS™系统使用超紧凑光学传感器测量绝对位置，该传感器易于集成到高精度应用中，如变形镜和镜头定位。
光学传感器系统提供多达64个同步通道的高精度，非接触式，绝对位置测量，测量范围为1.2 mm。测量分辨率0.01 nm，测量稳定性≤1 nm/天。
光学传感器不产生热量，对电磁干扰不敏感，使ZPS系统成为可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑型传感器通过光纤电缆连接到紧凑的中央外壳。ZYGO的免费ZPS™软件在ZPS系统和您的计算机之间提供了即插即用的连接，使您能够快速轻松地启动和运行您的系统。
ZPS系统通常用于需要来自多个传感器的连续高精度位置数据流的闭环反馈系统，以补偿漂移并保持精确的定位和对准。该系统还可以作为RD&E和制造环境中的工具，用于测试夹具的校准或量化动态机械性能。
点击下面的每个缩略图，查看示例应用程序的插图。
凭借30多年的经验，ZYGO的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一，提供持续运行的卓越性能。ZYGO是位移传感器的市场领导者，在OEM的基础上为闭环伺服控制提供反馈。目前生产中的半导体和平板制造和过程控制工具依靠ZYGO传感器提供大批量制造环境所需的精度和可靠性。
我们的ZMI™位移测量干涉仪传感器用于测量这些系统中十字线/掩模和晶圆级的相对运动到纳米级。我们的模块化组件可以配置为您的特定应用提供所需的所有自由度，以实现成功的纳米级运动控制。单个ZMI激光头能够测量2到22轴之间的测量，允许在所有轴上进行完全同步测量。
作为您在运动控制领域的合作伙伴，ZYGO将为您持续的系统改进提供支持，并为您的下一代需求提供前进的道路。
ZPS™提供了多达64个小型传感器的大规模并行排列，可直接测量镜子或其他光学元件的正面或背面表面，允许您重建表面变形，以实现最佳的像差校正。该系统实现了对光学元件的实时现场监测，并结合闭环控制，可以确定地保持光学元件的形状或变形。
镜面形状可以随热负荷、致动器漂移或机械蠕变而无意中改变。某些自适应光学应用不能在不中断操作或影响光学系统性能的情况下监测光学的性能。其他可能的解决方案要么不实际，要么测量速度不够快，无法有效。输入它™。
ZPS的高可重复绝对位置意味着您能够存储已知的良好变形状态，并动态地驱动到这些状态，从而实现光学配置的快速调整，并避免通常涉及的缓慢迭代过程。
应用实例
随着技术的进步，表面正在以严格的控制制造，对高精度和高精度测量表面纹理的需求变得更加关键。当涉及到粗糙度测量时，有3个重要因素:测量表面、处理数据和报告结果。
测量表面
以足够的精度测量表面是确保粗糙度值准确的关键。ZYGO的3D光学轮廓仪系统通过SmartSetup™技术等易于使用的功能，可以快速简单地收集精确的数据，该技术可以发现焦点，调整测量参数，并在一个按钮点击下进行测量。
数据分析
在任何粗糙度测量中，都需要对原始数据进行处理或过滤，以将粗糙度与表面的波纹度和形状分开。ZYGO的Mx™软件可以轻松过滤您的表面与iso兼容的过滤。
光学系统，如望远镜、相机镜头和激光系统的性能取决于系统内光学元件的质量。从侧面看，许多平面光学元件看起来完全平行，但在两侧之间通常有一些楔形。在极其精确的系统中，了解窗户的楔形程度是至关重要的。
有多种非接触方法来测量楔形或平行度。自准直器是光学工业中常用的一种设备。当光穿过光楔时，光束会发生一定角度的偏转，δ，由玻璃的折射率来定义，n，以及玻璃的机械楔角，α．计算公式如下:δ = 2(n-1)·α．
虽然这种方法是有用的，但结果的准确性和再现性取决于有一个熟练的操作员。也有必要有一个目标镜是平坦的λ/4或更好，以确保返回的图像是足够好的聚焦。除了干涉仪所具有的所有测量功能外，它还可以在某些条件下测量窗口的楔形。
ZYGO激光干涉仪是用于光学元件和系统测量和表征的强大而精确的仪器。最常见的应用之一包括曲率半径的测量。曲率半径是球面光学曲面的基本参数和功能参数，在制造过程中需要对曲率半径进行质量控制。
干涉仪通常是光学制造商的首选解决方案，因为它们具有关键属性和优势，包括:
球面的曲率半径通常使用相位测量干涉仪来确定测试光学的最佳拟合球面(共焦)和曲率中心(猫眼)的零位置。线性导轨提供这些位置之间的运动，一个或多个位移传感器用于记录猫眼和共聚焦位置之间的距离，因此，曲率半径。
透射波前误差(TWE)是用来衡量光学元件在光通过时的性能。
与表面形状测量不同，透射波前测量包括来自前表面和后表面的误差、楔形和材料的均匀性。这一整体性能指标提供了一个更好的理解光学的现实世界的性能。
虽然许多光学元件都是根据表面形状或TWE规格单独测试的，但这些元件不可避免地被构建成具有自身性能要求的更复杂的光学组件。在某些应用中，依靠组件测量和公差来预测最终性能是可以接受的，但对于要求更高的应用，重要的是测量组装时的性能。
TWE测量用于确认光学系统是否符合规格并按预期运行。此外，TWE测量可用于主动对齐系统，减少装配时间，同时确保实现预期性能。
在许多应用中，薄膜和涂层的沉积和控制对于实现设备的功能或效率至关重要，包括消费电子产品、半导体、光学等。这种先进的设备通常需要精确的薄膜形貌和层厚表征，以确保高质量和性能。
基于非破坏性、非接触式面基光学技术(CSI -相干扫描干涉测量法)，我们的多功能和精确的3D计量仪器和传感器可以测量具有不同地形和层厚的各种透明表面，从50纳米到150微米，面积从微米到毫米。
人造表面可以有许多形状和大小。对于形状表征是功能关键的表面，ZYGO激光干涉仪和3D光学轮廓仪在非接触式表面数据的亚纳米重复性方面表现突出。将形状和平整度的行业标准整合到Mx™分析软件中，创建了用于表面检测的单站测量工具。探索解决方案，为您的应用在表面形式和平面度计量下面。
形状计量学可以概括为表面相对于基本形状的绝对或相对测量。ZYGO产品涵盖一般应用，如球体和圆柱体，使用标准产品进行测量，以及用于更复杂形式(如非球面或薄玻璃)的专业应用和工具。
ZYGO在形状计量方面的应用空间广泛，我们的工具灵活。斜面上的半径，棱镜的角度或表面之间的角度，或表面曲率只是几个例子。笛卡尔和旋转对称拟合函数伴随在给定表面上的数百万个数据点，以确保我们的形式计量的信心。
平面度测量在整个ZYGO产品线中以各种方式进行。高质量的传输平面(高达λ/50)允许ZYGO激光干涉仪测量空间望远镜的平面到地面钢表面。Mx™软件通过掠入射测量的方式扩展了超大(大于4至6英寸)矩形表面的平面度测量应用空间。
带有电动分期的光学轮廓仪通过拼接和图形移动克服了小视野测量，以探索和呈现表面的平整度结果。同样，我们的显微镜物镜的工作距离范围允许测量凹腔中的平座和密封件。
凭借一系列解决方案和强大的应用空间，ZYGO以其在表面形状和平面度测量领域的领导者而自豪。了解ZYGO如何满足表面规格，同时超出您的期望。
非球面和自由曲面光学的应用正在增长，通常用于需要改进成像性能和较少光学元件的地方。这些复杂光学系统的设计及其精密制造方法已成为先进光学系统商业化的推动者，这些系统用于各种应用，如LED照明、激光束整形、消费电子设备、成像传感器、望远镜、头戴式显示器、相机和光刻步进透镜。
不像传统的曲面光学，表面形状是名义上的球形，非球面和自由曲面表现出典型的复杂，高纵横比，倾斜表面的非对称光学表面。一种将球面、非球面和环面设计成一个部件的自由曲面光学，从而使它们具有挑战性的设计、测量和制造。
对于这些类型的复杂表面，精确的计量在制造过程中提供必要的质量控制和反馈方面起着关键作用。ZYGO激光干涉仪和3D光学轮廓仪通过表征和量化关键表面参数，如形状误差、波纹度、缺陷和表面粗糙度，确保制造过程中的质量和过程监控。
与光学表面的触觉测量方法相比，ZYGO干涉仪具有更有效的质量控制和良率优化的几个关键优势:
光学元件的一个重要特性是制造光学元件的材料折射率的变化，广义上称为同质性。材料的不均匀性会导致玻璃折射率的变化，这种变化可以是尖锐的绳状区域，称为条纹，也可以是折射率在样品中更大区域的梯度。材料指标的变化必须经过认证，以确保其影响在材料使用的特定光学设计的允许范围内。
ZYGO激光干涉仪产品在综合Mx数据采集和分析软件中提供了一系列检测光学材料均匀性以及内置分析的能力。
Verifire MST -多重表面测试干涉仪非常适合通过同时测量窗口的透射波前和去除表面变形的影响(实现精确的材料测量所需)来检测平面平行窗口的材料均匀性。MST测量的同时性降低了最精确结果的测量不确定度，并保持了均匀性的重要线性成分，信息丢失与其他计量方法。
Verifire和Dynafiz干涉仪通过专门为材料均匀性测量设计的采集和分析软件包，实现了类似的楔形光学测量功能。
测量表面的体积特性最常用于润滑表面的磨损分析，但在许多其他应用中也有用途，如粘附性、孔隙率和颗粒分布。
在摩擦学研究中，理解和量化磨损疤痕对于理解整体情况至关重要。ZYGO的3D光学轮廓仪系统可以快速地从未磨损区域分割出磨损疤痕，从而提供定量指标。常见的一些指标包括:
无效
材料俯卧撑
ZYGO的高精度，多功能，非接触式3D测量系统应用于广泛的行业。我们为许多计量应用提供标准和定制的解决方案，包括表面形状和粗糙度的测量和表征，零件几何形状和尺寸，透射波前和光学性能，透明薄膜和涂层，磨损和体积分析，缺陷和图像分析，仅举几例。
ZYGO在全球范围内备受信赖，为最高精度、先进的应用提供光学窗。45年来，我们专注于将最具挑战性的光学设计带到生活中。ZYGO作为您的设计合作伙伴，确保您的窗户符合您最严格的要求。
光学窗是一种经过抛光的材料，它在电磁光谱的某些部分是透明的，这使得所需的光谱部分可以不受改变地进入光学仪器。
ZYGO采用严格控制的制造工艺制造精密光学反射镜，使其能够在各种极端环境中可靠地工作。我们的镜子在水下、沙漠中、高海拔地区和绕地球轨道运行。我们定制每一面镜子，以满足或超过您的要求。
镜子也可以轻量化的应用，重量是至关重要的，这在航空航天应用中很常见。轻量化是通过机械加工或其他方法从光学组件中去除材料，同时仍然保留镜子的光学性能的过程。
ZYGO的光学业务部门生产精密球体和透镜，直径从50毫米到700毫米，半径从12.7毫米到8米。
我们的传输球的标准产品线有100毫米和150毫米的透明孔径，范围从f/。65到f/11，波前误差为λ/10或λ/20。我们的新系列Ultrasphere™传输球可在λ/40。各种收敛器和分流器也是我们标准产品线的一部分。我们是一家合格的高激光透镜供应商。
现代国防、航空航天和新空间客户需要高性能光学系统，以最小化尺寸、重量和功率(SWaP)，同时最大限度地提高光学性能。实现苛刻的SWaP要求的一种经过验证的技术是要求轻质光学器件。
轻量化是通过机械加工或其他方法将材料从光学组件中去除，同时保持光学性能的过程。这通常是用低膨胀的陶瓷和玻璃来完成的，必须仔细注意轻量化结构，以确保光学性能和刚性。ZYGO专家可协助我们的合作伙伴设计这些组件的可制造性。
ZYGO为我们的半导体，工业和研究客户提供非传统的玻璃和低膨胀组件和系统，这些组件和系统不属于传统的“光学”定义。例如，用于半导体光刻的轻型晶圆级，用于精密定位控制的零膨胀计量参考系，以及传统的直边反射镜和参考系。我们通常生产这些尺寸高达1.25米的产品，具有纳米精度(当需要时!)。
在精密光学领域，ZYGO制造世界一流的平面，非球面和球面，以及精密加工结构。
我们的精密光学团队拥有20多名具有杰出传统的工程师。他们的项目经验包括用于修复哈勃太空望远镜的非球面光学系统，以及用于当今最苛刻的光刻系统的亚纳米精密EUV光学系统的开发。无论您是需要我们开发工作范围，构建原型系统，还是重新设计以提高性能，ZYGO都准备好迎接您最苛刻的光学挑战。