我们的高精度定位器被用于许多化学实验中。他们实现了最高的定位精度,可达一些纳米的范围,以及非常一致的运动与多相驱动DSP 50。光学传感器可选择性地检测运动,并允许在某些纳米范围内的重复性。
因此,该压电惯性驱动器是微/纳米压痕应用以及纳米摩擦学实验的理想元件。
例如,我们最小的定位器MS15作为xyz组合用于各种压头。
化学用产品:
CH30电动机控制器
CU30电动机控制器
我们的高精度定位器和actor被用于许多光学,物理上的非接触实验以及应用
纳米计量。他们提供了所有技术改进的定位精度在亚纳米范围内,以及非常一致的运动与多相驱动DSP50。光学传感器可选择性地检测运动,并允许在某些纳米范围内的重复性。
压电驱动器和来自力学的纳米测量传感器是物理中各种实验的理想定位器。
例如,与线性测量系统PS30连接的精密定位器MS30允许在延迟线中定位光学,具有最高的精度和可重复性。
用于物理学的产品:
CH30控制器
CU30控制器
微型翻译阶段MS30
这些压电惯性驱动器应用于许多工业领域,在这些领域中零件必须定位在亚微米范围内。
例如,微定位器ms30被用于许多工业激光器的光学定位-甚至在激光器的腔。
集成计量系统具有纳米和亚纳米范围的分辨率,可与usb控制器进行闭环操作,应用于半导体工业。
此外,超紧凑微型定位器MS15用于扫描电镜显微镜的探头运动和探头尖端的粗略定位。
最近生物技术和相关科学的进步增加了对高速、高精度定位系统的需求。请继续阅读一些例子。
我们的压电驱动器可以用于长行程精确聚焦显微镜物镜超过30毫米,他们也可以帮助细胞快速排序。药物筛选应用需要纳升的调剂能力,而另一个应用是力学压电执行器的精度和极端寿命。
扫描光学显微镜——DNA研究的前沿工具之一——没有压电定位系统是不可行的。
特别是我们的微定位台MS30与线性测量系统PS30的组合,为您提供了优于50纳米的重复性。
摩尔定律不断压缩IC线的宽度和特征尺寸。为了跟上这一趋势,前端生产和计量工具中嵌入的纳米定位机构和精密运动控制系统必须提供比特征尺寸高10到1000倍的精度。传统的定位系统不能提供所需的稳定性和精度。
mechOnics提供各种各样的基于压电的解决方案:从非常紧凑的微型定位器MS15到超高性能的长行程纳米定位压电stage MS30。
其他精密运动产品包括用于光束稳定/校正的压电倾斜平台MT25。
PS30系列的光学纳米传感器测量到纳米范围内的运动,具有很高的带宽。
压电定位系统是纳米技术应用的基本工具。它们的极高精度使它们在纳米压印、纳米组装、纳米数据存储和纳米制造等应用中成为重要的组成部分。
除了具有长行程范围的微定位器外,机械公司还设计了先进的压电控制器,提供非常高的带宽来驱动多相驱动器,如DSP50。
压电驱动器的力学提供了很长的行程范围,在准静态应用中需要很少到不需要动力。这在真空中执行这些执行器的工作,这种情况可以在空间应用或许多新的物理实验中发现。
我们的所有阶段都可从10真空6mbar 109mbar。在与我们的客户合作中,定位器也被设计为可工作10个-11年mbar。
压电驱动器的力学提供了很长的行程范围,在准静态应用中需要很少到不需要动力。它执行执行器的工作
在非常低的温度下——在太空应用中可以找到的条件。
还有许多新的物理实验,我们的微定位器可以在氦温度(4K)下完成,以避免布朗运动。
在光学实验中,我们的压电惯性驱动器可用于以下应用。
一方面,您可以调整光学元件的线性定位工作台MS38,它为您提供了10毫米的自由孔径在完整的旅行范围8毫米。
另一方面,你可以使用压电倾斜平台MT25在光路中非常精确地调整两个正交轴上的光束。MT25的费用光学孔径为您提供了使用传输光学的可能性。