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世界上第一台超高真空(UHV)真绝对光学编码器

RESOLUTE™UHV是雷尼绍最新的超高真空兼容读头,为线性和旋转应用提供真正的绝对位置反馈,亚微米精度和1纳米分辨率。RESOLUTE特高压编码器的新系列由清洁的真空兼容材料和粘合剂构成,可提供低放气率和经过验证的清洁残余气体分析(RGA),使其适用于需要真空兼容性为10-10 Torr的高性能,半导体和科学应用。

如RESOLUTE的标准范围true-绝对编码器,新的超高真空变体在打开后立即确定位置,无需任何运动或备用电池。即时换向意味着轴在断电后立即处于完全控制之下,从而消除了未受控制的运动或碰撞的风险;这一优势在晶圆处理等应用中至关重要,在这些应用中,安全提取高价值晶圆至关重要。

安全是由一个内置的独立和独立的位置检查算法保证。它主动检查每个读数,确保任何潜在的问题在到达控制器之前就被标记出来。RESOLUTE UHV使用带有CRC(循环冗余检查)的纯串行通信,消除了对辅助1 Vpp信号的需要,提供更高的抗噪声能力并检测数据损坏。RESOLUTE UHV具有广泛的串行协议,包括bis, FANUC,三菱和松下,可与工业标准控制器兼容。

雷尼绍在为特高压环境提供高精度光学编码器方面拥有十多年的经验,精心选择材料以确保低放气率和经过验证的清洁RGA,并且是唯一一家发布代表性RGA测试结果的编码器公司。所有特高压编码器还提供了一个RFI筛选特高压兼容电缆,在清洁的条件下制造,并在特别设计的包装,以避免污染。

RESOLUTE特高压系统可用于线性和旋转位置反馈,并且由于RESOLUTE系统使用单一轨道刻度代码,因此每个安装都紧凑,设置公差宽,可快速,轻松安装和长期运行。所有的刻度格式都是无涂层的,如果需要,可以进行专业的清洁和脱脂。

设计人员可以选择各种线性刻度,无论是不锈钢还是ZeroMet™低热膨胀合金,精度优于±1微米,长度可达1.13米。安装可以是不干胶,机械或轨道安装,即使是不干胶尺度已经证明干净的RGA光谱。不锈钢旋转环具有大通孔和专利锥度安装快速,容易和精确的调整偏心,同时最大限度地减少轴的准备成本。

所有雷尼绍编码器, RESOLUTE UHV符合RoHS标准,并以真正响应迅速的全球销售和支持网络为后盾。