用于高真空的LPS-24系列的微型定位台:小且亚纳米精度为10-6 hPa
图片来源:PI Physik Instrumente
在低至10-6 hPa的真空条件下，宽度只有24毫米的微型级在15毫米的行程范围内实现了亚纳米分辨率。
因此，它们满足了光学和机械部件定位或在密闭空间的真空中调整和操作样品的重要要求。
该位置由一个集成线性编码器测量，其分辨率为150 nm或20 nm。PI自己的线性编码器PIOne甚至实现了0.5 mm的分辨率和1 nm的最小步长。
LPS-24可用于高达10-9 hPa的超高真空。它允许40纳米的最小增量运动。
平滑纳米步进模式
在舞台系列中，LPS-24 PI使用直接驱动的NEXACT®步进驱动器。它们结合了压电驱动器在分辨率、刚度和长行程真空兼容性方面的优点。具有NEXACT®驱动器的位置控制系统允许沿着预定义的运动轮廓到目标位置的恒定和一致的纳米步进模式。由于这一功能原理，LPS-24线性定位台不仅具有较高的定位精度，而且具有较高的路径精度。
在步进运动过程中，单个执行机构与移动杆之间的接触仅基于静摩擦。此外，这将大大增加驱动器的寿命和可靠性。
易于系统集成和广泛的软件
E-861控制器可用于操作微型定位台容易和准确:它支持压电步进驱动的运动类型，并适应于机械系统的要求。由于控制器的联网能力，最多可以通过一个计算机接口同时驱动16个控制器。
所有参数均可通过软件进行设置和检查。对于启动和系统配置，PIMikroMove®程序包括在交付范围内。可以通过LabVIEW驱动程序和dll连接到定制软件。
如需更多信息，请访问http://www.physikinstrumente.com．
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