针对工业用途进行了优化，并在光学距离和厚度测量方面提供了前所未有的精度-这就是Micro-Epsilon的新型白光干涉仪。该产品组合包括三种不同的干涉仪版本，用于不同的应用领域。这些系统在亚纳米范围内实现稳定的测量结果。
Micro-Epsilon的创新干涉仪分辨率< 30皮米，实现了光学测量技术精度的新水平。根据应用程序的不同，有三个不同的版本。IMS5400-DS用于高精度和工业距离测量;IMS5400-TH用于精确的厚度测量;IMS5600-DS采用真空适用设计，可实现亚纳米精度的距离测量。
高精度IMS5400-TH用于薄透明材料的厚度测量。测量只使用一个传感器进行，而不管与测量对象的距离如何，该测量对象可以容忍振动或移动的测量对象。近红外光源还可以测量防反射镀膜玻璃的厚度。
IMS5400-DS用于工业距离测量。测量系统提供绝对测量值，并在没有信号损失的情况下可靠地检测步长和边缘。这些紧凑而坚固的传感器可以在有限的安装空间内集成。
IMS5600-DS适用于洁净室和真空环境(最高特高压)的距离测量。特殊的控制器校准可实现亚纳米分辨率，例如在校准传感器或定位舞台时，这是必需的。
干涉仪由控制器、传感器和光纤电缆组成。它们专为工业测量任务而设计，因此配备了坚固的金属外壳和高度灵活的电缆。
大量的模拟和数字接口，如以太网和EtherCAT，使连接方便。通过友好的web界面进行初始操作和参数设置。
如需更多信息，请访问http://www.micro-epsilon.com。
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