HEIDENHAIN, ETEL, NUMERIK JENA和RSF Elektronik以“精度满足吞吐量”为座右铭，在SEMICON West上展示了半导体制造和电子应用的前端和后端流程的新解决方案。除了高精度的位置测量外，重点将放在驱动系统技术、位置测量技术和控制技术集成到高生产率的机电一体化生产解决方案中。
ETEL的运动系统具有绝对位置精度低于1 μ m的特点，结合了极高的加速度和精密运动。这些特点适用于新开发的TELICA(在SEMICON West上首次亮相)，以及经过现场验证的VULCANO和CHARON 2平台。这些运动系统的特殊特性在很大程度上归功于海德汉的光学编码器:
•动态精度
HEIDENHAIN编码器的低插值误差提高了直线电机的性能，从而减少了对机器的热传递，即使在高动态应用中也是如此。通过减少热致误差，系统显示出更高的精度和相同的最高动态。编码器的非热膨胀ZERODUR刻度进一步提高了测量精度。低位置噪声和5毫米间隔内小于±0,175 μ m的低基线误差也有助于这些运动系统的卓越精度和高动态。
•位置稳定，在高吞吐量操作
运动系统的设计考虑到了极端的位置稳定性。HEIDENHAIN和ETEL密切合作，开发了一种用于集成测量系统的特殊解决方案。这种设计成功地保护了编码器免受可能的加热，例如通过驱动系统，从而屏蔽了测量环路免受热诱导线性误差的影响。
在SEMICON West, NUMERIK JENA展示了其LIKgo暴露增量线性编码器。由于其紧凑的尺寸，小光栅周期，非常小的测量步骤，和其他特点，这种编码器非常适合在半导体行业的生产和检测设备中使用。扫描头只有28毫米长，13毫米宽，7.5毫米高。测量标准宽仅8mm，光栅周期为20µm。因此，可以实现小到78.125 nm的测量步长。
对于力矩电机的位置测量和速度控制，RSF Elektronik开发了MCR 15绝对模块化角度编码器。它有多种外径59.93毫米至350.23毫米的变体，并具有各种串行接口。根据直径的不同，MCR 15角度编码器的系统精度可达±10角秒，测量步骤可小至0.038角秒。
欲了解更多信息，请访问http://www.heidenhain.de．
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