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BCM SENSOR最近发布了一款新开发的倒装芯片压力传感器模具,用于量产。该倒装芯片传感器模具,型号SE105,基于压阻工作原理,采用6英寸硅微加工工艺制造。
由于SE105压力传感器模具采用MEMS制造工艺实现了倒装结构,因此SE105倒装压力传感器模具与传统压力传感器模具相比具有以下优点:
SE105倒装芯片压力传感器模具还具有0.2%fs的出色非线性和0.1%fs/年的出色长期稳定性。
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